Compared with other sensing mechani

Compared with other sensing mechanism such as piezoresistive, inductive, etc., capacitive sensing has advantage of high sensitivity, low dynamic mass, high inherent frequency, besides, gap-variable capacitive sensor has flexibility that sensitivity can be improved by sacrificing measurement range. In this paper, a tactile probing system based on capacitive sensor is proposed, the capacitive sensor is innovatively designed to differential capacitor to realize 3D measurement, besides, the capacitive sensor is fabricated by low cost MEMS technique, which ensures the manufacture precision. The project of capacitive sensing based on MEMS technique is originally adopted in this field. Experimental results indicate this probing system be used for submicron measurement of small structures with dimension larger than 0.3 mm and depth down to 2.3 mm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เมื่อเทียบกับกลไกอื่น ๆ sensing เช่น piezoresistive เหนี่ยว etc. ควบคุมตรวจมีประโยชน์ความไวสูง มวลต่ำแบบไดนามิก ความถี่โดยธรรมชาติสูง สำรอง ช่องว่างของตัวแปรควบคุมเซ็นเซอร์มีความยืดหยุ่นความไวที่สามารถปรับปรุงได้ โดยการวัดช่วงการเสียสละได้ ในเอกสารนี้ มีเสนอระบบ probing เพราะตามเซ็นเซอร์ควบคุม เซนเซอร์ควบคุมเป็น innovatively ออกแบบตัวเก็บประจุส่วนที่แตกต่างตระหนักประเมิน 3D สำรอง เซ็นเซอร์ควบคุมหลังสร้าง โดยต้นทุนต่ำ MEMS เทคนิค ความแม่นยำในการผลิตที่ เดิมมีนำโครงการควบคุมตรวจตามเทคนิค MEMS ในฟิลด์นี้ ผลการทดลองบ่งชี้ระบบ probing นี้ใช้สำหรับวัดระดับซับไมครอนโครงสร้างขนาดเล็กกับขนาดใหญ่กว่า 0.3 มม.และลึกลงไป 2.3 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เมื่อเทียบกับกลไกการตรวจวัดอื่น ๆ เช่น piezoresistive, อุปนัย ฯลฯ ตรวจจับ capacitive มีความได้เปรียบของความไวสูงแบบไดนามิกมวลต่ำโดยธรรมชาติความถี่สูงนอกจากนี้เซ็นเซอร์ capacitive ช่องว่างตัวแปรมีความยืดหยุ่นที่มีความไวสามารถปรับปรุงโดยการเสียสละช่วงการวัด ในบทความนี้ระบบสัมผัสละเอียดขึ้นอยู่กับเซ็นเซอร์ capacitive เสนอเซ็นเซอร์ capacitive ที่ถูกออกแบบมาเพื่อสร้างสรรค์ความแตกต่างตัวเก็บประจุที่จะตระหนักถึงการตรวจวัดแบบ 3 มิตินอกจากนี้เซ็นเซอร์ capacitive ถูกประดิษฐ์โดยค่าใช้จ่ายเทคนิค MEMS ต่ำซึ่งช่วยให้ความแม่นยำการผลิต โครงการตรวจวัด capacitive บนพื้นฐานของเทคนิค MEMS จะนำมาใช้ครั้งแรกในฟิลด์นี้ ผลการทดลองแสดงให้เห็นระบบนี้ละเอียดนำมาใช้สำหรับการวัด submicron ของโครงสร้างขนาดเล็กที่มีมิติที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตรและความลึกลงไป 2.3 มิลลิเมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เมื่อเทียบกับอื่น ๆใช้กลไกเช่น Piezoresistive แบบ capacitive sensing , ฯลฯ ได้ประโยชน์จากความไวสูง , มวลพลวัตต่ำ , สูงโดยธรรมชาติความถี่ นอกจากนี้ ช่องว่างตัวแปร capacitive เซ็นเซอร์มีความยืดหยุ่นที่สามารถปรับปรุงโดยการเสียสละความไวช่วงการวัด ในกระดาษนี้ สัมผัสละเอียดเกี่ยวกับระบบเซ็นเซอร์ capacitive จะเสนอเซ็นเซอร์ capacitive จะสร้างสรรค์ออกแบบให้ตัวเก็บประจุค่าตระหนักถึงการวัด , 3D นอกจากนี้ เซ็นเซอร์ capacitive ถูกประดิษฐ์โดย MEMS ต้นทุนต่ำเทคนิค ซึ่งช่วยให้การผลิตมีความแม่นยำ โครงการระบบตรวจจับโดยใช้เทคนิคเดิมซึ่งใช้ในเขตข้อมูลนี้ผลการทดลองบ่งชี้ว่าระบบนี้ใช้สำหรับการวัดการเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างที่มีขนาดเล็กกว่า 0.3 มม. มิติและความลึกลง 2.3 mm .