5. ConclusionIt can be concluded th

5. Conclusion
It can be concluded that the physical forces generated by bubbles
in a sound field on a surface are maximized when the standing
wave component is minimized. The sound emission spectra do not
show a clear trend, which indicates that bubble activity in the bulk
of the fluid is not influenced to a large extend. Nevertheless, particle
removal increased considerably around the transmission angle
of the Si wafer. It is likely that an increase in the number of bubbles
at the wafer surface results in an improved cleaning. The resonant
bubbles cannot be trapped in nodes and antinodes when a traveling
wave is applied, and as a result, those bubbles can be transported
to the wafer surface by primary Bjerkness forces. The
resonant fast moving streamer bubbles are probably responsible
for the improved cleaning and have been observed before for a
230 kHz sound field [17]. This is an important finding for applications
that rely on microbubble-surface interactions.
Acknowledgements
The authors thank Geert Doumen for his technical support and
Entegris and ProSys Inc. for their hardware support.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

5. บทสรุปจึงสามารถสรุปได้ว่า กองกำลังทางกายภาพที่สร้างขึ้น โดยฟองในฟิลด์เสียงบนพื้นผิวจะขยายใหญ่สุดเมื่อยืนที่ส่วนประกอบคลื่นถูกย่อเล็กสุด ไม่มีแรมสเป็คตรามลพิษเสียงแสดงแนวโน้มชัด ซึ่งบ่งชี้กิจกรรมฟองจำนวนมากของน้ำเป็นไม่มีอิทธิพลต่อการขยายขนาดใหญ่ อย่างไรก็ตาม อนุภาคเอาเพิ่มรอบมุมส่งมากของแผ่นเวเฟอร์ซิ มีแนวโน้มที่เพิ่มจำนวนฟองอากาศที่ผลลัพธ์ผิวแผ่นเวเฟอร์ในการปรับปรุงทำความสะอาด การคงไม่ติดกับฟองอากาศในโหนและ antinodes เมื่อการเดินทางมีใช้คลื่น และเป็นผล ฟองอากาศดังกล่าวสามารถขนส่งพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์โดยหลัก Bjerkness กอง ที่ฟอง streamer การเคลื่อนไหวอย่างรวดเร็วที่คงคงรับผิดชอบสำหรับการปรับปรุงทำความสะอาด และการสังเกตก่อนสำหรับการ230 kHz เสียงฟิลด์ [17] นี่คือการค้นหาที่สำคัญสำหรับการใช้งานที่อาศัยผิว microbubble โต้ถาม-ตอบผู้เขียนขอขอบคุณดูเม็น Geert สำหรับสนับสนุนทางเทคนิค และEntegris และ ProSys Inc. สำหรับการสนับสนุนฮาร์ดแวร์ของพวกเขา

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

5. สรุป
มันสามารถสรุปได้ว่ากองกำลังทางกายภาพที่เกิดจากฟองอากาศ
ในสนามเสียงบนพื้นผิวจะสูงสุดเมื่อยืน
องค์ประกอบคลื่นจะลดลง สเปกตรัมการปล่อยเสียงไม่ได้
แสดงให้เห็นแนวโน้มที่ชัดเจนซึ่งบ่งชี้ว่ากิจกรรมฟองในกลุ่ม
ของของเหลวไม่ได้รับอิทธิพลที่มีขนาดใหญ่ขยาย อย่างไรก็ตามอนุภาค
กำจัดเพิ่มขึ้นอย่างมากทั่วมุมส่ง
ของเวเฟอร์ศรี มันเป็นไปได้ว่าการเพิ่มขึ้นของจำนวนของฟองอากาศ
ที่ผลพื้นผิวเวเฟอร์ในการทำความสะอาดที่ดีขึ้น จังหวะ
ฟองไม่สามารถติดอยู่ในโหนดและ antinodes เมื่อเดินทาง
คลื่นถูกนำไปใช้และเป็นผลให้ฟองอากาศที่สามารถเคลื่อนย้าย
ไปยังพื้นผิวเวเฟอร์โดยกองกำลัง Bjerkness หลัก
เคลื่อนไหวฟองลำแสงรวดเร็วจังหวะอาจจะรับผิดชอบ
สำหรับการทำความสะอาดที่ดีขึ้นและได้รับการปฏิบัติก่อนที่จะหา
สนามเสียง 230 เฮิร์ทซ์ [17] นี่คือการค้นพบที่สำคัญสำหรับการใช้งาน
ที่ต้องพึ่งพาการปฏิสัมพันธ์ microbubble ผิว.
กิตติกรรมประกาศ
ผู้เขียนขอขอบคุณฝน Doumen สำหรับการสนับสนุนทางเทคนิคของเขาและ
Entegris และ ProSys อิงค์สำหรับการสนับสนุนฮาร์ดแวร์ของพวกเขา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

5 . สรุป
สรุปได้ว่าร่างกายกำลังสร้างฟอง
ในด้านเสียงบนพื้นผิวเป็น maximized เมื่อยืนอยู่
คลื่นเป็นองค์ประกอบที่ลดลง การปล่อยสเปกตรัมเสียงไม่
แสดงแนวโน้มที่ชัดเจน ซึ่งบ่งชี้ว่า กิจกรรมในกลุ่ม
ฟองของของเหลวไม่ได้มีผลต่อการขยายขนาดใหญ่ . อย่างไรก็ตาม อนุภาค
การกำจัดเพิ่มขึ้นอย่างมากๆ ส่งมุม
ของชีเวเฟอร์ มันคือโอกาสที่เพิ่มปริมาณฟอง
ที่พื้นผิวเวเฟอร์ ผลลัพธ์ในการทำความสะอาด ฟอง ก้อง
ไม่สามารถติดอยู่ในโหนดและแอน ติ โนด เมื่อคลื่นเดินทาง
) และเป็นผลให้ฟองอากาศที่สามารถขนส่ง
ไปยังพื้นผิวเวเฟอร์โดยกองกำลัง bjerkness หลัก
จังหวะรวดเร็วเคลื่อนย้ายลำแสงฟองอาจจะรับผิดชอบ
สำหรับปรับปรุงทำความสะอาดและได้รับการตรวจสอบก่อนสำหรับ
230 kHz เสียงสนาม [ 17 ] นี้คือการหาที่สำคัญสำหรับการใช้งานที่ต้องพึ่งพาของพื้นผิว microbubble
.
ขอบคุณ
เขียนขอบคุณ Geert doumen สำหรับการสนับสนุนของเขาทางด้านเทคนิคและด้าน prosys อิงค์สำหรับการสนับสนุนและ

ฮาร์ดแวร์ของพวกเขา