and the minimum number of steps has

and the minimum number of steps has driven the development of some new miniaturized methodologies [6],

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

และจำนวนต่ำสุดของขั้นตอนมีการพัฒนาบางวิธี miniaturized ใหม่ [6],

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

และจำนวนขั้นต่ำของขั้นตอนที่มีการขับเคลื่อนการพัฒนาของบางวิธีการขนาดเล็กใหม่ [6]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

และจำนวนขั้นต่ำของขั้นตอนที่มีการขับเคลื่อนการพัฒนาบางใหม่ขนาดเล็กวิธีการ [ 6 ]