Figure 7 shows three-dimensional (3

Figure 7 shows three-dimensional (3D) and cross-section images of the central region of the
pressure sensor package assembled with the dam-ring approach. Free space for the sensing-channel
was completely reserved in the central area of the plastic pressure sensor package. The top surface of
the silicon membrane was free of EMC contamination, as shown in Figure 7(b). Therefore, the damring
parts successfully shields the inner space of the dam-ring from the overflowing or leakage of fluid
EMC at a high molding temperature of 165 °C. The injected molding pressure pushed the fluid EMC
which squeezed the outer sidewall of the dam-ring during transfer molding process so that the
peripheral borders of the dam-ring had a slight inward deformation. However, the dam-ring was still
tightly bound to the top surface of the pressure sensor. The fluid EMC did not bleed to cover the top
surface of the silicon membrane through the interface between the dam-ring and the top surface of the
pressure sensor. Therefore, the dam-ring performed its function. The slight deformation of the damring
walls can be improved by employing a thicker dam-ring sidewall to enhance its bending strength.
The packaging dimensions of the packaged pressure sensors, sacrifice-replacement and dam-ring
approaches, are 4 × 4 × 1.5 mm3 and Table 1 shows the basic dimensions of the both packaged
pressure sensors. Table 2 shows the dimension comparisons between our proposed two packaged
pressure sensors and the commercialized pressure sensor packages. Both packaging volumes of the
proposed two packaged pressure sensors are about seven times less than the commercialized pressure
sensor packages.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รูปที่ 7 แสดงสามมิติ (3D) และภาพหน้าตัดรายขวางของภาคกลางของการแพคเกจเซ็นเซอร์ความดันประกอบกับแนวเขื่อน-แหวน เนื้อที่ว่างสำหรับสถานีตรวจวัดถูกสงวนไว้อย่างสมบูรณ์ในพื้นที่ส่วนกลางของแพคเกจเซ็นเซอร์แรงดันพลาสติก พื้นผิวด้านบนของเมมเบรนซิลิคอนถูกฟรีการปนเปื้อนของ EMC ดังที่แสดงในรูป 7(b) ดังนั้น damringชิ้นส่วนสำเร็จปกป้องพื้นที่ภายในของวงแหวนเขื่อนจากการล้นหรือรั่วไหลของของเหลวEMC ที่ปั้นสูงอุณหภูมิ 165 องศาเซลเซียส EMC ของเหลวผลักดันปั้นฉีดซึ่งบีบแก้มยางด้านนอกของเขื่อนแหวนในระหว่างกระบวนการถ่ายโอนเพื่อให้การเส้นขอบรอบนอกของเขื่อนแหวนมีแมพเข้าด้านในเล็กน้อย เขื่อน-แหวนก็ยังคงผูกแน่นกับพื้นผิวด้านบนของเซ็นเซอร์ความดัน EMC ของเหลวไม่มีเลือดออกไม่ครอบคลุมด้านบนพื้นผิวของเยื่อหุ้มซิลิโคนผ่านอินเทอร์เฟซระหว่างเขื่อน-แหวนและพื้นผิวด้านบนของตัวเซ็นเซอร์ความดัน ดังนั้น เขื่อน-แหวนทำหน้าที่ของมัน ความผิดปกติเล็กน้อยของ damringผนังสามารถปรับปรุง โดยการใช้แก้มยางเขื่อน-แหวนหนาเพื่อเพิ่มความแข็งแรงดัดขนาดบรรจุภัณฑ์ของเซนเซอร์ความดันบรรจุ เสียสละแทน และเขื่อน-แหวนวิธี มี 4 × 4 × 1.5 เดือน 3 และตารางที่ 1 แสดงขนาดพื้นฐานของทั้งสองที่บรรจุเซนเซอร์ความดัน ตารางที่ 2 แสดงการเปรียบเทียบขนาดระหว่าง 2 เสนอบรรจุเซ็นเซอร์แรงดันและแพคเกจเซ็นเซอร์ความดันรายได้เชิงพาณิชย์ ปริมาณบรรจุภัณฑ์ทั้งสองเสนอสองเซ็นเซอร์ความดันบรรจุอยู่ประมาณเจ็ดครั้งน้อยกว่าความดันรายได้เชิงพาณิชย์แพคเกจเซ็นเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

รูปที่ 7 แสดงให้เห็นสามมิติ (3D) และตัดภาพของภาคกลางของ
แพคเกจเซ็นเซอร์ความดันประกอบกับวิธีการสร้างเขื่อนแหวน พื้นที่ว่างสำหรับการตรวจวัดช่องทางที่
ถูกสงวนไว้อย่างสมบูรณ์ในพื้นที่ภาคกลางของแพคเกจเซ็นเซอร์ความดันพลาสติก พื้นผิวด้านบนของ
เมมเบรนซิลิกอนเป็นอิสระของการปนเปื้อนของอีเอ็มซีดังแสดงในรูปที่ 7 (ข) ดังนั้น damring
ชิ้นส่วนประสบความสำเร็จโล่พื้นที่ด้านในของเขื่อนแหวนจากล้นหรือการรั่วไหลของของเหลว
อีเอ็มซีที่อุณหภูมิปั้นสูง 165 ° C ความดันปั้นฉีดผลักดันน้ำอีเอ็มซี
ซึ่งบีบแก้มยางด้านนอกของเขื่อนแหวนในระหว่างขั้นตอนการปั้นการถ่ายโอนเพื่อให้
เส้นขอบต่อพ่วงของเขื่อนแหวนมีความผิดปกติภายในเล็กน้อย อย่างไรก็ตามเขื่อนแหวนก็ยังคง
ผูกพันแน่นกับพื้นผิวด้านบนของเซ็นเซอร์ความดัน น้ำอีเอ็มซีไม่ได้มีเลือดออกเพื่อให้ครอบคลุมด้านบน
พื้นผิวของเยื่อหุ้มซิลิกอนที่ผ่านการเชื่อมต่อระหว่างเขื่อนแหวนและพื้นผิวด้านบนของ
เซ็นเซอร์ความดัน ดังนั้นเขื่อนแหวนทำหน้าที่ของมัน การเสียรูปเล็กน้อย damring
ผนังสามารถปรับปรุงโดยการจ้างแก้มเขื่อนแหวนหนาเพื่อเพิ่มความแข็งแรงดัดของ.
ขนาดบรรจุภัณฑ์ของเซ็นเซอร์ความดันบรรจุเสียสละทดแทนและเขื่อนแหวน
แนวทางเป็น 4 × 4 × 1.5 mm3 และ ตารางที่ 1 แสดงให้เห็นถึงมิติพื้นฐานของแพคเกจทั้ง
เซนเซอร์ความดัน ตารางที่ 2 แสดงให้เห็นถึงการเปรียบเทียบระหว่างมิติที่นำเสนอแพคเกจของเราสอง
เซนเซอร์ความดันและแพคเกจเซ็นเซอร์ความดันเชิงพาณิชย์ ทั้งปริมาณการบรรจุภัณฑ์ของ
ที่นำเสนอสองเซนเซอร์ความดันบรรจุอยู่ประมาณเจ็ดครั้งน้อยกว่าความดันเชิงพาณิชย์
แพคเกจเซ็นเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 7 แสดงแบบสามมิติ ( 3D ) และตัดภาพในภาคกลางของเซ็นเซอร์แรงดันเกจประกอบกับเขื่อนแหวน ) ฟรีพื้นที่สำหรับตรวจจับช่องทางสมบูรณ์สงวนในพื้นที่ภาคกลางของเซ็นเซอร์ความดันพลาสติกบรรจุภัณฑ์ บนพื้นผิวของซิลิกอนเมมเบรนฟรีการปนเปื้อนของอีเอ็มซี ดังแสดงในรูปที่ 7 ( ข ) ดังนั้น damringส่วนโล่เรียบร้อยแล้วพื้นที่ด้านในของแหวนจากล้นเขื่อนหรือการรั่วไหลของของเหลวอีเอ็มซีในการปั้นสูงอุณหภูมิ 165 องศา ฉีดขึ้นรูปแรงดันผลักอีของเหลวที่บีบแก้มด้านนอกของแหวนดำในกระบวนการขึ้นรูปโอนแล้วว่าอุปกรณ์ต่อพ่วงที่พรมแดนของแหวนดำเล็กน้อย ด้านในมีรูป อย่างไรก็ตาม เขื่อนยังแหวนแน่นผูกกับพื้นผิวด้านบนของเซ็นเซอร์ด้วย EMC ของเหลวไม่ได้เลือดปกคลุมด้านบนผิวของซิลิกอนเมมเบรนผ่านทางอินเตอร์เฟซระหว่างเขื่อนแหวนและพื้นผิวด้านบนของเซ็นเซอร์วัดความดัน ดังนั้นแหวนดำแสดงหน้าที่ของมัน การเปลี่ยนรูปของ damring เล็กน้อยผนังที่สามารถปรับปรุงโดยการใช้ความหนาของแก้มยางเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพเขื่อน แหวนดัด .บรรจุภัณฑ์บรรจุขนาดของเซ็นเซอร์ความดัน เสียสละแทนแหวน และเขื่อนวิธีที่ 4 × 4 × , 1.5 มม. และ ตารางที่ 1 แสดงมิติพื้นฐานของทั้งบรรจุเซนเซอร์ความดัน ตารางที่ 2 แสดงการเปรียบเทียบระหว่างสองมิติของเราเสนอแพคเกจเซ็นเซอร์ความดันและระบบเซ็นเซอร์ความดันเกจ ทั้งปริมาณของบรรจุภัณฑ์เสนอ 2 แพคเกจความดันเซ็นเซอร์ 7 ครั้ง น้อยกว่าระบบความดันเซ็นเซอร์ แพคเกจ