Electron Beam Machining5.3.1 Introd

Electron Beam Machining

5.3.1 Introduction

The earliest work of material removal utilizing an electron beam wasattributed to Steigerwald who designed a prototype machine in 1947.Electron beam machining (EBM) has been used in industry since the1960s, initially in nuclear and aerospace welding applications. Drilling small holes, cutting, engraving, and heat treatment are a set of modernapplications used in semiconductor manufacturing as well as micro-machining areas.Basic equipment and removal mechanism

The main components of EBM installation, shown in Fig. 5.43 arehoused in a vacuum chamber, evacuated to about 10–4torr. The tungstenfilament cathode is heated to about 2500 to 3000°C in order to emitelectrons. Ameasure of this effect is the emission current, the magni-tude of which varies between 20 and 100 mA. Corresponding currentdensities lie between 5 and 15 A/cm2. Emission current depends on thecathode material, temperature, and the high voltage that is usuallyabout 150 kV. Such a high voltage accelerates a stream of electrons inthe direction of the workpiece. After acceleration, electrons, focused bythe field, travel through a hole in the anode. The electron beam isthen refocused by a magnetic or electronic lens system so that thebeam is directed under control toward the workpiece. The electronsmaintain the velocity (228 × 103km/s) imparted by the accelerationvoltage until they strike the workpiece, over a well-defined area, typ-ically 0.25 mm in diameter.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลำแสงอิเล็กตรอนเครื่องจักรกล

5.3.1 การแนะนำ

ทำงานที่เก่าแก่ที่สุดของการกำจัดวัสดุที่ใช้ลำแสงอิเล็กตรอน wasattributed จะ Steigerwald ผู้ออกแบบเครื่องต้นแบบใน 1947.electron คานเครื่องจักรกล (EBM) ได้รับการใช้ในอุตสาหกรรมตั้งแต่ the1960s, ครั้งแรกในนิวเคลียร์และ การใช้งานที่เชื่อมการบินและอวกาศ เจาะรูเล็ก ๆ ตัดแกะสลักและการรักษาความร้อนเป็นชุดของ modernapplications ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รวมทั้งอุปกรณ์ areas.basic ไมโครเครื่องจักรกลและกลไกการกำจัด

ส่วนประกอบหลักของการติดตั้ง ebm แสดงในมะเดื่อ 5.43 arehoused ในห้องสูญญากาศอพยพไปประมาณ 10-4torr แคโทด tungstenfilament ร้อนประมาณ 2,500-3,000 องศาเซลเซียสเพื่อ emitelectronsameasure ของผลกระทบนี้เป็นปัจจุบันปล่อย Magni-tude ที่แตกต่างกันระหว่าง 20 และ 100 ma currentdensities ที่เกี่ยวข้องอยู่ระหว่าง 5 และ 15 a/cm2 การปล่อยในปัจจุบันขึ้นอยู่กับวัสดุ thecathode อุณหภูมิและแรงดันไฟฟ้าสูงที่เป็น usuallyabout 150 กิโลโวลต์ เช่นไฟฟ้าแรงสูงเร่งกระแสของอิเล็กตรอน inthe ทิศทางของชิ้นงาน หลังจากเร่งอิเล็กตรอนเน้น bythe สนามเดินทางผ่านหลุมในขั้วบวก ลำแสงอิเล็กตรอนเป้าหมาย isthen โดยระบบเลนส์แม่เหล็กหรืออิเล็กทรอนิกส์เพื่อให้ thebeam เป็นผู้กำกับภายใต้การควบคุมที่มีต่อชิ้นงาน electronsmaintain ความเร็ว (228 × 103km / s) imparted โดย accelerationvoltage จนกว่าพวกเขาจะตีชิ้นงานที่ผ่านพื้นที่ที่กำหนดไว้ทั่วไป-ically 0.25 มม. .

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เครื่องจักรกลลำแสงอิเล็กตรอน

5.3.1 แนะนำ

งานแรกสุดของเอาวัสดุที่ใช้เป็น wasattributed ลำแสงอิเล็กตรอนเพื่อ Steigerwald ผู้ออกแบบเครื่องต้นแบบในการคาน 1947.Electron มีการใช้ในอุตสาหกรรมชิ้น (EBM) ตั้งแต่ the1960s เริ่มต้นในงานเชื่อมนิวเคลียร์ และการบินและอวกาศ เจาะรูเล็ก ๆ ตัด แกะ สลัก และรักษาความร้อนชุดของ modernapplications ที่ใช้ในสารกึ่งตัวนำในการผลิตและเครื่องจักรไมโครพื้นที่กลไกพื้นฐานอุปกรณ์และเอา

ส่วนประกอบหลักของการติดตั้ง EBM แสดงในการ arehoused Fig. 5.43 ในห้องสุญญากาศ ที่อพยพไปเกี่ยวกับ 10–4torr แคโทด tungstenfilament เป็นความร้อนประมาณ 2500-3000° C ตามลำดับเพื่อ emitelectrons Ameasure ของลักษณะนี้คือ มลพิษที่ปัจจุบัน tude magni ที่แตกต่างกันระหว่าง 20 และ 100 mA Currentdensities สอดคล้องอยู่ระหว่าง 5 และ 15 A/cm2 ปัจจุบันการปล่อยก๊าซขึ้นอยู่กับวัสดุ thecathode อุณหภูมิ และแรงดันสูงที่ usuallyabout 150 kV แรงสูงเพิ่มความเร็วกระแสของอิเล็กตรอนในทิศทางของเทคโนโลยี หลังจากเร่งความเร็ว อิเล็กตรอน โดยเน้นฟิลด์ เดินผ่านขั้วบวก Isthen ลำแสงอิเล็กตรอนที่ refocused ระบบเลนส์แม่เหล็ก หรือทางอิเล็กทรอนิกส์เพื่อให้ thebeam เป็นผู้กำกับควบคุมต่อการขึ้นรูปชิ้นงาน Electronsmaintain ความเร็ว (228 × 103km/s) imparted โดย accelerationvoltage จนกว่าจะตีขึ้นรูปชิ้นงาน ผ่านพื้นที่กำหนดไว้อย่างดี ชนิด ically เส้นผ่าศูนย์กลาง 0.25 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อิเลคตรอนกลึง ลำแสง

5.3.1 แนะนำ

ที่เร็วที่สุดของวัสดุเชื่อมต่อในการใช้ประโยชน์จากการที่อิเลคตรอนลำแสง wasattributed เพื่อ steigerwald ที่ได้รับการออกแบบด้วยเครื่องในปี 1947 .อิเลคตรอนกลึงลำแสง( EBM )ได้รับการใช้งานในอุตสาหกรรมนับ ตั้งแต่ 1960 S ,แรกในอวกาศนิวเคลียร์และการเชื่อมแอปพลิเคชัน. เจาะรูขนาดเล็กใบมีดแกะสลักและความร้อนได้รับการตั้งค่าของ modernapplications ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นอย่างดีเป็นการติดตั้ง micro - กลึงพื้นที่.พื้นฐานอุปกรณ์และกลไกการถอด

คอมโพเนนต์หลักของ EBM ที่แสดงในรูปที่ เมื่อเปิดเครื่อง 5.43 arehoused ดูดฝุ่นในช่องเก็บเศษหนวดที่อพยพไปยังเกี่ยวกับ 10-4 torr . ภาพ tungstenfilament ที่จะเป็นสระน้ำอุ่นประมาณ 2500 ถึง 3000 ° C ในการสั่งซื้อเพื่อ emitelectronsameasure ผลนี้คือการที่ปัจจุบัน magni - ความซึ่งจะแตกต่างกันไประหว่าง 20 และ 100 mA currentdensities ที่เกี่ยวข้องอยู่ระหว่าง 5 และ 15 / 2 ซ.ม. การปล่อยคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าในปัจจุบันจะขึ้นอยู่กับวัสดุ thecathode แรงดันไฟฟ้าและ อุณหภูมิ ที่สูงมี usuallyabout 150 kv. แรงดันไฟฟ้าสูงเช่นสตรีมที่เร่งความเร็วของทิศทาง inthe อิเล็กตรอนไปกระทบกับจอของ workpiece ได้ หลังจากการเร่งความเร็วอิเล็กตรอนไปกระทบกับจอฟิลด์ราชบาตรที่มุ่งเน้นการเดินทางผ่านรูที่อยู่ในขั้วทางบวกได้ isthen ลำแสงอิเลคตรอนที่ refocused โดยระบบเลนส์ของสนามแม่เหล็กหรือระบบอิเล็กทรอนิกส์เพื่อที่ว่า thebeam ถูกส่งไปอยู่ ภายใต้ การควบคุมไปยัง workpiece ได้ electronsmaintain ที่ความเร็ว( 228 × 103 กิโลเมตร/ s )โดย accelerationvoltage จนกว่าจะเกิด workpiece ที่เหนือพื้นที่ที่กำหนดไว้ที่ทั่วไป - โดยอาการ 0.25 มม.ที่อยู่ในเส้นผ่านศูนย์กลาง.