In order to start a discharge, some

In order to start a discharge, some charged particles are needed to start the
process of ionization and excitation of gas particles. This is provided to a large extent
by weak background radiation from radioactive minerals where some ionized
molecules and free electrons exist, and to a less extent from cosmic rays. By applying
an electric field these electrons gain enough energy for further ionization and
generation of secondary electrons, which in turn contributes to creating a so-called
Townsend discharge with a relatively low, but avalanching, current (Fig. 2).
If the current increases enough, exceeding the breakdown field for the gas, a glow
discharge is obtained. Figure 3 shows a photo of an Ar discharge for a sputtering
system with a Ta sputter source (target). In order to sustain the plasma, regeneration
of electrons is necessary [42]. This is often the most important means of maintaining
the plasma as electrons lose their energy to the gas in ionizing processes, and are
eventually lost to the surrounding chamber walls. Electrons also lose energy by elastic
collisions, transforming energy to neutral species thereby putting them in an excited
state, i.e., not all collisions result in ionization and secondary electrons generation
[41]. As a result, a range of kinetic energies is obtained for the electron population,
often described mathematically by a Maxwell-Boltzmann, a Bi-Maxwellian, or a
Druyvesteyn distribution. More on distributions is presented in section 2.3.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เพื่อเริ่มต้นการจำหน่าย charged อนุภาคบางอย่างจำเป็นต้องเริ่มต้น กระบวนการ ionization และในการกระตุ้นของอนุภาคก๊าซ มาขอบเขตขนาดใหญ่ โดยอ่อนแอพื้นหลังรังสีจากแร่กัมมันตรังสีบาง ionized โมเลกุลและอิเล็กตรอนอิสระอยู่ และระดับน้อยจากรังสีคอสมิก โดยการใช้ มีสนามไฟฟ้าอิเล็กตรอนเหล่านี้ได้รับพลังงานเพียงพอสำหรับการ ionization เพิ่มเติม และ รุ่นสองอิเล็กตรอน ซึ่งในการสร้างเรียกว่า ปล่อยจัหกับปัจจุบันค่อนข้างต่ำ แต่ avalanching (Fig. 2) ถ้าปัจจุบันเพิ่มพอ เกินแบ่งฟิลด์สำหรับก๊าซ การเรืองแสง รับจำหน่าย รูปที่ 3 แสดงภาพถ่ายของการปล่อยบัญชีลูกหนี้สำหรับการพ่น ระบบ มีแหล่ง sputter ตา (เป้าหมาย) เพื่อรักษาสม่า ฟื้นฟู ของอิเล็กตรอนไม่จำเป็น [42] นี้มักจะเป็นวิธีการสำคัญของการรักษา พลาสม่าเป็นอิเล็กตรอนสูญเสียพลังงานการปล่อยก๊าซในกระบวนการ ionizing และมี หายไปในที่สุดกำแพงหอพัก อิเล็กตรอนสูญเสียพลังงาน ด้วยยางยืด ตาม การเปลี่ยนพลังงานชนิดที่เป็นกลางจึงวางพวกเขาในความตื่นเต้น รัฐ เช่น ไม่ตามผลในรุ่น ionization และอิเล็กตรอนรอง [41] ผล รับช่วงของพลังงานจลน์สำหรับประชากรอิเล็กตรอน มักอธิบาย mathematically แมกซ์เวลล์ตัวโบลทซ์มานน์ แบบ Bi-Maxwellian หรือ Druyvesteyn การกระจายงาน ข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการกระจายการนำเสนอในหัวข้อ 2.3

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการเริ่มต้นการปล่อยอนุภาคเรียกเก็บบางส่วนที่มีความจำเป็นที่จะเริ่มต้น
กระบวนการของการไอออไนซ์และการกระตุ้นของอนุภาคก๊าซ นี้จะให้กับขอบเขตขนาดใหญ่
จากรังสีพื้นหลังที่อ่อนแอจากแร่ธาตุกัมมันตรังสีที่บางส่วนแตกตัวเป็นไอออน
โมเลกุลและอิเล็กตรอนอิสระอยู่และในระดับน้อยลงจากรังสีคอสมิก โดยใช้
สนามไฟฟ้าอิเล็กตรอนเหล่านี้ได้รับพลังงานเพียงพอสำหรับการไอออไนซ์ต่อไปและ
รุ่นของอิเล็กตรอนที่สองซึ่งจะมีส่วนช่วยในการสร้างสิ่งที่เรียกว่า
ปล่อยทาวน์เซนด์ที่มีค่อนข้างต่ำ แต่ avalanching ปัจจุบัน (รูปที่ 2)..
ถ้าจะเพิ่มขึ้นในปัจจุบัน พอเกินข้อมูลรายละเอียดสำหรับก๊าซเรืองแสง
จะได้รับการปลดปล่อย รูปที่ 3 แสดงให้เห็นภาพของการปล่อย Ar สำหรับสปัตเตอร์
ระบบที่มีแหล่งที่มาพ่นตา (เป้าหมาย) เพื่อที่จะรักษาพลาสม่า, การฟื้นฟู
ของอิเล็กตรอนเป็นสิ่งที่จำเป็น [42] นี้มักจะเป็นวิธีที่สำคัญที่สุดในการรักษา
พลาสม่าเป็นอิเล็กตรอนสูญเสียพลังงานของพวกเขาไปใช้ก๊าซโอโซนในกระบวนการและจะ
หายไปในที่สุดกับผนังห้องโดยรอบ อิเล็กตรอนยังสูญเสียพลังงานโดยการยืดหยุ่น
ชนเปลี่ยนพลังงานให้กับสายพันธุ์ที่เป็นกลางจึงวางไว้ในความตื่นเต้น
ของรัฐคือไม่ได้ชนกันทั้งหมดส่งผลให้เกิดไอออไนซ์และรุ่นอิเล็กตรอนรอง
[41] เป็นผลให้ช่วงของพลังงานจลน์จะได้รับสำหรับประชากรอิเล็กตรอน,
มักจะอธิบายทางคณิตศาสตร์โดย Maxwell-Boltzmann, Bi-Maxwellian หรือ
กระจาย Druyvesteyn เพิ่มเติมเกี่ยวกับการกระจายจะนำเสนอในส่วน 2.3

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อเริ่มออกบางอนุภาคที่มีประจุจะต้องเริ่มกระบวนการกระตุ้นอิออน
และอนุภาคของก๊าซ นี้มีไว้เพื่อขอบเขตขนาดใหญ่
โดยรังสีพื้นหลังอ่อนจากกัมมันตรังสีแร่ที่บางรุ่น
โมเลกุลและอิเล็กตรอนอิสระที่มีอยู่ และในขอบเขตที่น้อยกว่าจากรังสีคอสมิก . โดยการใช้
สนามไฟฟ้า อิเล็กตรอนเหล่านี้ได้รับพลังงานเพียงพอสำหรับวางเพิ่มเติมและ
รุ่นของอิเล็กตรอนทุติยภูมิ ซึ่งจะมีส่วนช่วยในการสร้างที่เรียกว่า
Townsend จำหน่ายที่มีค่อนข้างน้อย แต่ avalanching ปัจจุบัน ( รูปที่ 2 )
ถ้าเพิ่มปัจจุบันพอ เกิน สลายเขตข้อมูลก๊าซเรืองแสง
จำหน่ายจะได้รับรูปที่ 3 แสดงรูปถ่ายของผู้ป่วย AR สำหรับระบบสปัตเตอริง
กับตามิดหมีแหล่ง ( เป้าหมาย ) เพื่อที่จะรักษาพลาสมา , งอก
ของอิเล็กตรอนจำเป็น [ 42 ] นี้มักจะเป็นวิธีที่สำคัญที่สุดของการรักษา
พลาสมาเป็นอิเล็กตรอนที่สูญเสียพลังงานของก๊าซในกระบวนการผลิตชิ้นส่วนและ
หายไปในที่สุดผนังรอบห้องอิเล็กตรอนก็สูญเสียพลังงานโดยการชนแบบยืดหยุ่น
, เปลี่ยนพลังงานที่เป็นกลางชนิด จึงใส่ไว้ในตื่นเต้น
สภาพ เช่น ไม่มีการชนกันส่งผลให้ไอรองอิเล็กตรอนและรุ่น
[ 41 ] ผลคือ ช่วงของพลังงานจลน์ พลังงานที่ได้รับสำหรับอิเล็กตรอนประชากร
มักจะอธิบายทางคณิตศาสตร์โดยแมกซ์เวลล์โบลทซ์มันน์ , บี maxwellian หรือ
druyvesteyn แจกจ่าย เพิ่มเติมเกี่ยวกับการเสนอในส่วน 2.3