The equipment modeling of a Plasma-

The equipment modeling of a Plasma-enhanced chemical vapor Deposition reactor containing argon and oxygen has been carried out using the Q-VT [2] software which is based on the plasma process simulator HPEM [3].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โมเดลอุปกรณ์ของสารเคมีเพิ่มพลาสม่าไอสะสมเครื่องปฏิกรณ์ที่มีอาร์กอน และออกซิเจนมีการดำเนินการโดยใช้ซอฟต์แวร์ Q-VT [2] ซึ่งขึ้นอยู่กับการจำลองกระบวนการพลาสมา HPEM [3]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แบบจำลองอุปกรณ์ของสารเคมีที่พลาสม่าเพิ่มไอสะสมเครื่องปฏิกรณ์ที่มีอาร์กอนและออกซิเจนได้รับการดำเนินการโดยใช้ Q-VT [2] ซอฟต์แวร์ที่อยู่บนพื้นฐานของการจำลองกระบวนการพลาสม่า HPEM เมื่อ [3]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อุปกรณ์สร้างแบบจำลองพลาสมาเพิ่มขึ้น chemical vapor deposition เครื่องปฏิกรณ์ที่มีอาร์กอนและออกซิเจนได้ถูกนำออกมาใช้ q-vt [ 2 ] ซึ่งเป็นซอฟต์แวร์บนพื้นฐานของพลาสมากระบวนการจำลอง hpem [ 3 ]