Low temperature magnetron sputterin

Low temperature magnetron sputtering deposition of hydrogenated
microcrystalline silicon thin films without amorphous incubation layers
on glass

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

อุณหภูมิต่ำ magnetron สปัตเตอร์สะสมของสังเคราะห์ฟิล์มบางซิลิคอนจุลไม่กกไข่ไปชั้นบนกระจก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การสะสมสปัตเตอร์แมกอุณหภูมิต่ำของไฮโดรเจน
microcrystalline
ฟิล์มบางซิลิคอนโดยไม่ต้องบ่มสัณฐานชั้นบนกระจก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตรอนสปัตเตอร์ต่ำอุณหภูมิสะสมของไฮโดรเจนแบบฟิล์มบางซิลิคอนอสัณฐานโดยไม่ต้องชั้น 1บนแก้ว