In order to discriminate the refere

In order to discriminate the reference zero point (trigger point) of the probing system for such an absolute micro gap measurement, the micrometer screw moves the part being measured to a position where the spherical probing head is touched by piezoelectric nano-positioning stage at the beginning of each experiment, and then the piezoelectric stage drives the moving part being controlled to scan at 5 nm step. Fig. 10 shows that a input/output characteristic curve and residual of fitting curve through axial approach and radial approach, respectively in the range of 1 m from touch point.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การเหยียดการอ้างอิง จุดศูนย์ (จุดทริกเกอร์) ของระบบ probing สำหรับดังกล่าวเป็นช่องว่างขนาดเล็กแบบประเมิน สกรูเกจย้ายส่วนการวัดไปที่ตำแหน่งที่ probing หัวกลมเป็นสัมผัส โดย piezoelectric นาโนตำแหน่งขั้นต้นของแต่ละการทดลอง แล้ว ระยะการ piezoelectric ไดรฟ์ในส่วนการควบคุมการสแกนในขั้นตอน 5 nm Fig. 10 แสดงที่เส้นโค้งลักษณะอินพุต/เอาท์พุตและส่วนที่เหลือจากของโค้งกระชับวิธีแกนและวิธีรัศมี ตามลำดับในช่วง 1 เมตรจากจุดสัมผัส

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อให้เห็นความแตกต่างจุดศูนย์อ้างอิง (จุด) ของระบบละเอียดสำหรับเช่นช่องว่างขนาดเล็กแน่นอนวัดกรูไมโครเมตรย้ายส่วนที่ได้รับการวัดตำแหน่งที่หัวละเอียดทรงกลมสัมผัสตามขั้นตอนนาโนตำแหน่ง piezoelectric ที่ จุดเริ่มต้นของการทดสอบในแต่ละครั้งและไดรฟ์แล้วขั้นตอน piezoelectric ส่วนที่ถูกควบคุมการเคลื่อนย้ายในการสแกนที่ขั้นตอนที่ 5 นาโนเมตร รูป 10 แสดงให้เห็นว่าเข้า / ส่งออกเส้นโค้งลักษณะและการตกค้างของเส้นโค้งผ่านวิธีการและแนวทางการแกนรัศมีตามลำดับในช่วง 1 เมตรจากจุดที่สัมผัส

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่ออ้างอิงศูนย์จุดแบ่งแยก ( จุดทริกเกอร์ ) ของระบบเช่นการสัมบูรณ์ไมโครการวัดช่องว่าง , ไมโครมิเตอร์วัดเกลียวย้ายส่วนที่เป็นวัดในตำแหน่งที่หัวเป็นทรงกลมการสัมผัสโดย piezoelectric นาโนตำแหน่งขั้นตอนที่จุดเริ่มต้นของแต่ละการทดลองแล้วเวที piezoelectric ไดรฟ์ย้ายส่วนหนึ่งถูกควบคุมด้วยการสแกนที่ 5 nm ขั้น รูปที่ 10 แสดงให้เห็นว่ามีอินพุต / เอาต์พุตเส้นโค้งลักษณะเฉพาะและตกค้างของเส้นโค้งผ่านวิธีการและแนวรัศมีแกนแบบ ตามลำดับในช่วง 1 เมตร จากสัมผัสจุด