สองประกอบวิธีการผลิตของ NEMS
1. บนลงวิธีใช้ microfabrication แบบดั้งเดิมในการผลิตอุปกรณ์ ในขณะที่ถูกจำกัด โดยความละเอียดของวิธีการเหล่านี้ ทำในระดับขนาดใหญ่การควบคุมโครงสร้างผล โดยทั่วไป อุปกรณ์ประดิษฐ์จากฟิล์มบางโลหะ หรือแกะสลักชั้นสารกึ่งตัวนำ
2. ล่างสาย วิธี ใน ใช้คุณสมบัติทางเคมีของโมเลกุลเดี่ยวทำให้เกิดโมเลกุลเดี่ยวประกอบเองประกอบเป็นโครงสร้างบางอย่างมีประโยชน์ วิธีเหล่านี้ใช้แนวคิดของโมเลกุลประกอบด้วยตัวเอง หรือการรับรู้โมเลกุล นี้ช่วยให้ผลิตของโครงสร้างขนาดเล็กมาก มักแม้ว่าค่าการจำกัดการควบคุมกระบวนการผลิต
3. ชุดวิธีการเหล่านี้อาจใช้ ใน nanoscale ซึ่งโมเลกุลจะรวมกรอบบนลง