The plasma polymer coatings were de

The plasma polymer coatings were deposited in a laboratory
scaled device equipped with a SHC module. The assembly of the
laboratory devices and the principle working method are described
elsewhere [4]. Two substrates sized 300 mm×650 mm were attached
face to face in the device to form a hollow cathode assembly. In
contrast to former works [14], where substrates were held on
negative potential, substrates were grounded in this work. The size
of the coated area on the substrates was 280 mm×240 mm. The
plasma discharge was fed by pulsed direct current (dc) with discharge
power of 1.2 kW. Tetramethylsilane (TMS, 99.9% by ABCR GmbH & Co.
KG) with a flow rate of 400 sccm was used as precursor, carried by
argon (Ar, 99.999% by Linde) with a flow rate of 200 sccm, resulting in
a gas pressure of 0.4 Pa in the device chamber. The coating thickness
was adjusted by the control of deposition time, e.g. after an operating
time of 11 s a coating thickness of 300 nm was obtained.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เคลือบพอลิเมอร์พลาสม่าได้ฝากไว้ในห้องปฏิบัติการปรับอุปกรณ์ที่ประกอบ ด้วยโมดูล SHC แอสเซมบลีของการอุปกรณ์ห้องปฏิบัติการและวิธีการทำงานหลักไว้อื่น ๆ [4] แนบสองพื้นผิวขนาด 300 × 650 มม.หน้าในอุปกรณ์แบบแอสเซมบลีที่แคโทดกลวง ในเพื่อทำงานที่จัดขึ้นพื้นผิวในอดีต [14],ค่าลบอาจเกิดขึ้น พื้นผิวต่อสายดินในงานนี้ ขนาดพื้นที่เคลือบบนพื้นผิวที่ถูก 280 มม. × 240 mm.พลาสมาถูกเลี้ยง โดยสร้างกระแสตรง (dc) พร้อมจำหน่ายพลังงานของ 1.2 kW Tetramethylsilane (TMS, 99.9% โดย ABCR GmbH & Co.กก.) กับการไหล ของ 400 sccm ถูกใช้เป็นสารตั้งต้น โดยอาร์กอน (Ar, 99.999% โดย Linde) มีอัตราการไหล 200 sccm ในความดันแก๊ส 0.4 Pa ในห้องอุปกรณ์ ความหนาถูกปรับปรุง โดยการควบคุมของสะสมเวลา เช่นหลังจากการดำเนินงานเวลา 11 s ความหนาเคลือบ 300 nm ได้รับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เคลือบพอลิเมอพลาสม่าถูกฝากไว้ในห้องปฏิบัติการ
อุปกรณ์ปรับขนาดพร้อมกับโมดูล SHC การชุมนุมของ
อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการและวิธีการทำงานที่มีการอธิบายหลักการ
อื่น ๆ [4] สองพื้นผิวขนาด 300 มิลลิเมตร× 650 มมติด
ตัวต่อตัวในอุปกรณ์ในรูปแบบการชุมนุมแคโทดกลวง ใน
ทางตรงกันข้ามกับอดีตผลงาน [14] ที่พื้นผิวที่ถูกจัดขึ้นในวัน
ที่มีศักยภาพเชิงลบพื้นผิวที่ได้รับการต่อสายดินในงานนี้ ขนาด
ของพื้นที่ที่เคลือบบนพื้นผิวได้ 280 มม× 240 มม
พลาสมาถูกเลี้ยงโดยกระแสตรงชีพจร (DC) ที่มีการปลดปล่อย
พลังงาน 1.2 กิโลวัตต์ Tetramethylsilane (TMS, 99.9% โดย ABCR GmbH & Co.
KG) ที่มีอัตราการไหล 400 SCCM ถูกนำมาใช้เป็นสารตั้งต้นดำเนินการโดย
อาร์กอน (Ar, 99.999% โดย Linde) ที่มีอัตราการไหล 200 SCCM ส่งผลให้ใน
ความดันก๊าซ 0.4 ต่อปีในห้องอุปกรณ์ ความหนาเคลือบ
ปรับโดยการควบคุมของเวลาการสะสมเช่นหลังจากการดำเนินงาน
ช่วงเวลาของความหนาของสี 11 SA 300 นาโนเมตรที่ได้รับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

พลาสมาพอลิเมอร์เคลือบฝากไว้ใน ห้องปฏิบัติการปรับอุปกรณ์ติดตั้งกับ SHC โมดูล สภาของห้องปฏิบัติการอุปกรณ์ และหลักการทำงานวิธีการอธิบายที่อื่น ๆ [ 4 ] 2 ) ขนาด 300 มม. × 650 มม. ถูกผูกติดหน้าในอุปกรณ์รูปแบบประกอบหลอดกลวง . ในตรงกันข้ามกับอดีตทำงาน [ 14 ] ที่ถูกจัดขึ้นบนพื้นผิวศักยภาพเชิงลบพื้นผิวถูกกักบริเวณในงานนี้ ขนาดของพื้นที่ที่เคลือบบนพื้นผิวเป็น 280 มม. × 240 มม. ที่พลาสมาดิสถูกเลี้ยงโดยพัลส์กระแสตรง ( DC ) กับตกขาวพลังของ 1.2 กิโลวัตต์ เตตร้าเมทิลไซเลน ( TMS 99.9% โดย abcr GmbH & Co .กิโลกรัม ) ด้วยอัตราการไหลของ 400 sccm ถูกใช้เป็นสารตั้งต้น โดยอาร์กอน ( AR , 99.999 % โดย Linde ) ด้วยอัตราการไหล 200 sccm ที่เกิดในแก๊สแรงดัน 0.4 PA ในอุปกรณ์ห้อง ความหนาผิวเคลือบมันปรับได้โดยการควบคุมเวลาการสะสม เช่น หลังผ่าตัดเวลา 11 เป็นเครื่องวัดความหนา 300 nm ได้ .