, - capacitance-to-digital conver

, - capacitance-to-digital converter (CDC). Then the experiment
set-up is configured and experimental results indicate that when a 0.3 mm probing head is used,
the probing system has a resolution of better than 10 nm along axial direction and better than 25 nm
along radial direction. With the low residual nonlinear error, the proposed system can therefore be used
for submicron measurement of small structures with dimension larger than 0.3 mm and depth down
to 2.3 mm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

, -ความดิจิตอลแปลง (CDC) จากนั้นทดลองตั้งค่าคอนฟิกการตั้งค่า และผลการทดลองบ่งชี้ว่า เมื่อใช้ mm 0.3 ที่อาศัยหัวระบบ probing มีของดีกว่า 10 nm ตามทิศทางตามแนวแกน และกว่า 25 nmตามทิศทางรัศมี ต่ำเหลือไม่เชิงเส้นข้อผิดพลาด การเสนอดังนั้นสามารถใช้ระบบสำหรับวัดระดับซับไมครอนโครงสร้างขนาดเล็กกับขนาดใหญ่กว่า 0.3 มม.และลึกลงการ 2.3 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

? -? ความจุเป็นดิจิตอลแปลง (CDC) จากนั้นทดสอบ
การตั้งค่าการกำหนดค่าและผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าเมื่อ 0.3 มมแหย่หัวจะใช้
ระบบการพิสูจน์มีความละเอียดดีกว่า 10 นาโนเมตรตามทิศทางตามแนวแกนและดีขึ้นกว่า 25 นาโนเมตร
ตามทิศทางรัศมี ด้วยข้อผิดพลาดเชิงเส้นต่ำที่เหลือระบบที่นำเสนอจึงสามารถนำมาใช้
สำหรับการวัด submicron ของโครงสร้างขนาดเล็กที่มีมิติที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตรและความลึกลง
ไป 2.3 มิลลิเมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

 - ,  ความจุดิจิตอลแปลง ( CDC ) แล้วการทดลอง
การถูกปรับและผลการทดลองพบว่า เมื่อแหย่หัว 0.3 มม. ใช้
การเจาะระบบมีความละเอียดที่ดีกว่า 10 nm ตามแนวแกนทิศทางกว่า 25 nm
ในแนวรัศมี กับต่ำที่เหลือค่าข้อผิดพลาด ระบบนี้จึงสามารถใช้
สำหรับวัดเปลี่ยนแปลงโครงสร้างขนาดเล็กที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตร และลึกลงไป
2.3 mm .