In particular, the interaction betw

In particular, the interaction between
electronics and mechanics can be accurately
studied: the deflection of the upper plate
initiates a positive feedback effect, since it
reduces the air gap. This increases the electrostatic
field between the plates and the
force, which causes the deflection to become
even stronger. A second effect is due to the
capacitance between the two plates. The capacitance
is calculated dynamically by an
integration over the bending line. Capacitance
rises when the plate is deflected. It is
parallel to the "storage" capacitance, and has
an influence on the electronic circuit, but its
effect is minor since it is two orders of
magnitude below the storage capacitance.
This effect is far more interesting in the
examination of capacitive pressure sensors.
The goal of the first simulation is to
extract the shape of the bending line. In Fig.
4, it is compared with the results of the
finite-element simulator ANSYS1" 181. The
discretization was set to 36 nodes for both
simulations. In both cases, the electromechanical
positive feedback effect was taken
into account. The shape of the bending line
is nearly identical. The displacement difference
is about 6 percent, and is due to the
different underlying approaches- finite
differences vs. finite elements-which pro-

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โดยเฉพาะ การโต้ตอบระหว่างอิเล็กทรอนิกส์และกลไกได้อย่างถูกต้องศึกษา: การโก่งของแผ่นด้านบนเริ่มมีผลตอบ ได้ลดช่องว่างของอากาศ เพิ่มการไฟฟ้าสถิตฟิลด์ระหว่างแผ่นและบังคับ ซึ่งทำให้เกิดการโก่งเป็นแข็งแรงยิ่งขึ้น ผลสองคือการความจุระหว่างแผ่นสอง ความจุการคำนวณแบบไดนามิกโดยการรวมสายดัดโค้ง ความจุเพิ่มขึ้นเมื่อนั้นแผ่น มันเป็นขนานการประจุ "เก็บ" และมีมีอิทธิพลต่อวงจรอิเล็กทรอนิกส์ แต่มันผลเป็นรองเนื่องจากเป็นคำสั่งที่สองของขนาดด้านล่างความจุจัดเก็บผลนี้เป็นที่น่าสนใจมากในการการตรวจสอบเทคโนโลยีเป้าหมายของการจำลองครั้งแรกคือการแยกรูปทรงของเส้นดัด ในรูปนี้4 ที่จะถูกเปรียบเทียบกับผลของการจำลององค์ประกอบจำกัด ANSYS1 " 181 การdiscretization ตั้ง 36 โหนทั้งจำลอง ในทั้งสองกรณี การไฟฟ้าถ่ายผลตอบเข้าบัญชี รูปร่างของเส้นดัดเป็นเกือบเหมือนกัน ปริมาณกระบอกสูบต่างกันประมาณ 6 เปอร์เซ็นต์ และเนื่องจากการวิธีจำกัดพื้นฐานแตกต่างกันความแตกต่างกับจำกัดซึ่งองค์ประกอบครั้ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โดยเฉพาะปฏิสัมพันธ์ระหว่างอิเล็กทรอนิกส์และกลศาสตร์ได้ถูกต้องศึกษา : การโก่งตัวของแผ่นบนเริ่มมีผลตอบรับที่ดี เพราะมันลดช่องว่างอากาศ . นี้เพิ่มไฟฟ้าสถิตช่องระหว่างแผ่นและบังคับ ซึ่งสาเหตุการเป็นที่แข็งแกร่ง ลักษณะที่สองคือ เนื่องจากการความจุระหว่างสองแผ่น และความจุมีการคำนวณแบบไดนามิกโดยบูรณาการผ่านการดัดเส้น ความจุไฟฟ้าขึ้นเมื่อแผ่นมีสุงสิง มันคือขนานกับ " กระเป๋า " ความจุ และมีการต่อวงจรอิเล็กทรอนิกส์ แต่ของผลคือ เพราะมันเป็นคำสั่งของรองสองขนาดด้านล่างกระเป๋าความจุ .ผลกระทบนี้จะไกลน่าสนใจมากขึ้นในการตรวจสอบเซ็นเซอร์ความดันแบบ .เป้าหมายของระบบแรกคือสารสกัดจากรูปร่างของโค้งเส้น ในฟิค4 มันเป็นเมื่อเทียบกับผลลัพธ์ของfinite-element จำลอง ansys1 " 181 . ที่ค่าตั้ง 36 จุดทั้งจำลอง . ในทั้งสองกรณี ไฟฟ้าผลตอบรับถ่ายลงในบัญชี รูปร่างของเส้นโค้งเป็นเหมือนกันเกือบ การเคลื่อนที่แตกต่างกันประมาณ 6 เปอร์เซ็นต์ และ เนื่องจากการที่แตกต่างกันภายใต้แนวทาง - จำกัดความแตกต่างกับองค์ประกอบซึ่งโปร - จำกัด