To better control the deposition pr

To better control the deposition process, it is important to gain insights into the properties and the dynamics of the HiPIMS plasmas. This thesis is associated with the investigations on HiPIMS plasmas using a number of electrical diagnostic tools including a Langmuir probe, a retarding eld energy analyser and a gridded quartz crystal microbalance.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การควบคุมดีกว่าการสะสม มันเป็นสิ่งสำคัญเพื่อความเข้าใจในคุณสมบัติและของ HiPIMS plasmas วิทยานิพนธ์นี้จะเกี่ยวข้องกับการตรวจสอบในการใช้เครื่องมือไฟฟ้าวินิจฉัยรวม ถึงโพรบแบบ Langmuir, analyser พลังงานของ eld retarding microbalance คริสตัลควอตซ์ gridded plasmas HiPIMS

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่ดีกว่าการควบคุมกระบวนการสะสมมันเป็นสิ่งสำคัญที่จะได้รับข้อมูลเชิงลึกในคุณสมบัติและการเปลี่ยนแปลงของพลาสมา HiPIMS วิทยานิพนธ์ฉบับนี้เป็นเรื่องที่เกี่ยวข้องกับการสืบสวนในพลาสมา HiPIMS โดยใช้หมายเลขของเครื่องมือวินิจฉัยไฟฟ้ารวมทั้งสอบสวน Langmuir วิเคราะห์พลังงานหน่วงไฟไหม้และไมโครคริสตัลควอตซ์ gridded

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ดีกว่าการควบคุมกระบวนการสะสม , มันเป็นสิ่งสำคัญที่จะได้รับข้อมูลเชิงลึกในคุณสมบัติและการเปลี่ยนแปลงของ hipims พลาสมา . วิทยานิพนธ์นี้เกี่ยวข้องกับการสอบสวน hipims พลาสมาโดยใช้หมายเลขของเครื่องมือไฟฟ้า รวมถึงการ  Langmuir Probe , สาขาพลังงาน วิเคราะห์ และ gridded ควอตซ์คริสตัล microbalance .