We demonstrate the use of photosens

We demonstrate the use of photosensitive epoxy laminate TMMF S2045 for the fabrication
and sealing of tapered microfluidic channels. The 45 μm thick resist enables the fabrication of
shallow sealed cavities featuring extreme aspect ratios of less than 1:40 (h = 45 μm, w =
2000 μm). It also provides high resolution and enables minimum feature sizes of 10 μm. For
the fabrication of free-standing structures, an aspect ratio of up to 7:1 was achieved. The
dry-film photoresist can be applied easily by lamination onto structured substrates. The total
thickness variation of the resist across a 100 mm wafer was determined to be less than
±0.6 μm. Process parameters for the fabrication and sealing of various micro-channels are
discussed and optimized in this paper. The main focus was to minimize thermal impact during
lamination, soft-bake, exposure and post–exposure bake, which could lead to lid sagging or
channel clogging due to liquefaction of uncured resist. We tested TMMF according to ISO
10995-5 and found it to be non-cytotoxic, enabling its use for biological applications.
Swelling of less than 5% for incubation of the dry-film resist in several biologically relevant
solvents, buffers and cleaning solutions was observed.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เราแสดงให้เห็นถึงการใช้ลามิเนตเรซินสังเคราะห์ photosensitive TMMF S2045 สำหรับการผลิตและยาแนวรอยต่อของช่อง microfluidic เรียว การต่อต้านหนา 45 μm ช่วยให้ผลิตของตื้นปิดสนิทฟันผุที่มีอัตราส่วนกว้างยาวมากน้อยกว่า 1:40 (h = 45 μm, w =2000 μm) นอกจากนี้ยังให้ความละเอียดสูง และช่วยให้คุณลักษณะต่ำขนาด 10 μm สำหรับผลิตโครงสร้างยืนฟรี มีอัตราส่วนกว้างยาวถึง 7:1 ได้สำเร็จ ที่photoresist ฟิล์มแห้งสามารถใช้ได้ โดยเคลือบบนพื้นผิวโครงสร้าง ผลรวมเปลี่ยนแปลงความหนาของการต่อต้านทั่วแผ่นเวเฟอร์เป็น 100 มม.กำหนดให้น้อยกว่า±0.6 μm พารามิเตอร์กระบวนการผลิตและยาแนวรอยต่อต่าง ๆ ไมโครช่องหารือ และปรับในเอกสารนี้ โฟกัสหลักที่จะ ลดผลกระทบความร้อนระหว่างเคลือบ อบอ่อน เปิดรับแสง และลง – แสงอบ ซึ่งอาจทำให้ฝาหย่อนคล้อย หรือช่อง clogging จาก liquefaction ต้านทาน uncured เราทดสอบ TMMF มาตรฐาน iso10995-5 และพบว่ามันจะไม่ใช่-cytotoxic เปิดใช้งานใช้สำหรับการใช้งานทางชีวภาพบวมน้อยกว่า 5% การฟักตัวของฟิล์มแห้งต่อต้านในหลายชิ้นที่เกี่ยวข้องหรือสารทำละลาย บัฟเฟอร์ และโซลูชั่นทำความสะอาดได้ดำเนินการ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เราแสดงให้เห็นถึงการใช้งานของลามิเนตอีพ็อกซี่แสง TMMF S2045 สำหรับการผลิต
และการปิดผนึกของช่องทางไมโครเรียว 45 ไมครอนหนาต่อต้านการช่วยให้การผลิตของ
ฟันผุปิดผนึกตื้นที่มีอัตราส่วนมากน้อยกว่า 1:40 (h = 45 ไมโครเมตร W =
2,000 ไมครอน) นอกจากนี้ยังมีความละเอียดสูงและช่วยให้ขนาดคุณลักษณะขั้นต่ำ 10 ไมโครเมตร สำหรับ
การผลิตของโครงสร้างยืนฟรี, อัตราส่วนถึง 7: 1 ได้สำเร็จ
ไวแสงฟิล์มแห้งสามารถนำมาใช้อย่างง่ายดายโดยการเคลือบบนพื้นผิวโครงสร้าง รวม
การเปลี่ยนแปลงความหนาของต่อต้านทั่วแผ่นเวเฟอร์ขนาด 100 มมมุ่งมั่นจะเป็นน้อยกว่า
± 0.6 ไมโครเมตร พารามิเตอร์กระบวนการผลิตและการปิดผนึกของช่องทางไมโครต่างๆมีการ
หารือและการเพิ่มประสิทธิภาพในบทความนี้ เน้นหลักคือการลดผลกระทบต่อความร้อนในระหว่างการ
เคลือบนุ่มอบสัมผัสและอบการโพสต์การสัมผัสซึ่งอาจนำไปสู่การลดลงหรือฝา
อุดตันช่องทางเนื่องจากเหลวของแห้งต่อต้าน เราได้ทดสอบ TMMF ตามมาตรฐาน ISO
10995-5 และพบว่ามันไม่เป็นพิษต่อเซลล์ช่วยให้การใช้งานสำหรับการใช้งานทางชีวภาพ.
บวมน้อยกว่า 5% สำหรับการบ่มแห้งฟิล์มต้านทานในทางชีวภาพหลาย
ตัวทำละลายบัฟเฟอร์และการแก้ปัญหาการทำความสะอาดที่ถูก สังเกต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เราแสดงให้เห็นถึงการใช้แสงอีพ็อกซี่ลามิเนต tmmf s2045 สำหรับการประดิษฐ์
และปิดผนึกของเรียวไมโครฟลูอิดิกช่อง 45 μม. หนาต่อต้านช่วยให้การผลิตของ
ตื้นปิดผนึกโพรงที่มีมากอัตราส่วนน้อยกว่า 40 ( H = 45 μ M , W =
2000 μ M ) นอกจากนี้ยังมีความละเอียดสูงและช่วยให้มีขนาดอย่างน้อย 10 μสำหรับ
Mการประดิษฐ์โครงสร้างที่สุด อัตราส่วนกว้างยาวถึง 7 : 1 พบว่า
ระบบฟิล์มแห้งสามารถใช้ได้อย่างง่ายดาย โดยเคลือบลงบนโครงสร้างท ความหนารวม
รูปแบบของต่อต้านข้าม 100 มิลลิเมตร เวเฟอร์ ตั้งใจจะน้อยกว่า 0.6 เมตร ±μ
พารามิเตอร์กระบวนการสำหรับการผลิตและซีลต่างๆ
ช่องไมโครกล่าวถึง และเหมาะในกระดาษนี้ เน้นหลักคือการลดผลกระทบทางความร้อนระหว่าง
เคลือบอ่อนอบ การเปิดรับและการโพสต์และอบ ซึ่งอาจนำไปสู่การอุดตัน
ฝาหย่อน หรือช่องทาง เนื่องจากการแปรรูป uncured ต่อต้าน เราทดสอบตามมาตรฐาน ISO tmmf
10995-5 และพบว่ามันจะไม่ทำลายเซลล์มะเร็ง ส่งผลให้การใช้งานสำหรับการใช้งานทางชีวภาพ
บวมน้อยกว่า 5% เพื่อบ่มฟิล์มแห้งชีวภาพต่อต้านในหลายที่เกี่ยวข้อง
สารละลายบัฟเฟอร์และทำความสะอาดโซลูชั่นถูกสังเกต