Device fabricationThe fabrication p

Device fabrication
The fabrication process of the proposed sensing element is shown
in Fig. 2(a). The starting material was a silicon substrate patterned
with gold interdigital electrode pairs and interconnects (Fig. 2(a–i)). A
PMMA cap frame was placed on the substrate to confine the prepared
PDMS prepolymer, injected using a syringe (Fig. 2(a–ii)). The
prepolymer was composed of hexane, PDMS (Sylgard 184A, Dow
Corning), curing agent (Sylgard 184 B, Dow Corning), MWCNTs
(30 nm in diameter, 30 μm in length, Golden Innovation Business Co.,

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การผลิตอุปกรณ์กระบวนการผลิตขององค์ประกอบการตรวจวัดที่นำเสนอจะแสดงในรูปที่ 2 (ก) วัสดุที่เริ่มต้นเป็นพื้นผิวซิลิกอนที่มีลวดลายคู่กับอิเล็กโทร interdigital ทองและการเชื่อมต่อ (รูปที่ 2. (a-i)) กรอบหมวก PMMA ถูกวางลงบนพื้นผิวที่จะ จำกัด การเตรียมprepolymer PDMS ฉีดใช้เข็มฉีดยา (รูปที่ 2. (a-ii)) prepolymer ประกอบด้วยเฮกเซน PDMS (Sylgard 184A ดาวโจนส์Corning) ตัวแทนบ่ม (Sylgard 184 B, Dow Corning) MWCNTs (30 นาโนเมตรเส้นผ่าศูนย์กลาง 30 ไมโครเมตรยาวโกลเด้นธุรกิจนวัตกรรม จำกัด

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อุปกรณ์ประกอบ
การผลิตกระบวนการเสนอองค์ประกอบภาพจะแสดงในรูปที่ 2
( A ) ตั้งต้นเป็นซิลิคอนลวดลาย
ด้วยทอง interdigital ขั้วคู่และเชื่อม ( รูปที่ 2 ( ( มั้ง ) ) เป็นกรอบที่ถูกวางไว้บนฝา
PMMA ( ขังไว้
โดยพรีฉีดโดยใช้เข็มฉีดยา ( รูปที่ 2 ( ( 2 ) )
พรี ได้แก่ เฮกเซนโดย ( ของต้น 184a , Dow Corning (
) การบ่มตัวแทนของต้น 184 B , Dow Corning ) mwcnts
( 30 nm ขนาด 30 μ M ยาวสีทองนวัตกรรมทางธุรกิจบริษัท