In this paper, a piezoelectric MEMS

In this paper, a piezoelectric MEMS energy harvester was investigated and evaluated to scavenge power from ambient vibration source.
It was optimally designed to generate the electrical power from low level ambient vibration via the piezoelectric effect.
In order to generate the electricity at low vibration, the proposed energy harvester was fabricated by patterning platinum electrode into inter-digital geometry on top of the sol–gel-spin coated Pb(Zr,Ti)O3 thin film for d33 piezoelectric mode operation on the silicon cantilever with proof mass by using bulk micromaching technique.
The fabricated energy harvester has a 1.1uW of output power to 2.2MΩ of load resistance with 4.4Vpeak-to-peak from a vibration of 0.39g acceleration at its resonant frequency of 528Hz. The corresponding power density was 2.8mW·cm-3·g-1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในกระดาษนี้ การเก็บเกี่ยวพลังงาน MEMS ชั่นการตรวจสอบ และประเมินเพื่อเก็บพลังงานจากการสั่นสะเทือนโดยรอบแหล่ง มันเหมาะสมที่สุดถูกออกแบบมาเพื่อสร้างพลังงานไฟฟ้าจากระดับอุณหภูมิความสั่นสะเทือนต่ำผ่านผลชั่น เพื่อสร้างกระแสไฟฟ้าที่สั่นสะเทือนต่ำ เก็บเกี่ยวพลังงานเสนอถูกประดิษฐ์ โดยเลียนแบบอิเล็กโทรดแพลทินัมเป็นเรขาคณิตระหว่างดิจิตอลบนการโซลเจลหมุนเคลือบ Pb (Zr, Ti) O3 ฟิล์มบางสำหรับดำเนินงานชั่นโหมด d33 ใน cantilever ซิลิคอนกับมวลหลักฐานโดยใช้เทคนิค micromaching จำนวนมากเก็บเกี่ยวพลังงานประดิษฐ์มี 1.1uW ของพลังงานในการ 2.2MΩ ของความต้านทานโหลดกับ 4.4Vpeak-ไป-สูงสุดจากการสั่นของเร่ง 0.39 กรัมที่ความถี่เรโซแนนซ์ของ 528 Hz ความหนาแน่นของพลังงานที่สอดคล้องกันคือ 2.8mW·cm-3·g-1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในกระดาษนี้ piezoelectric นวดพลังงาน MEMS ถูกตรวจสอบและประเมินผลที่จะไล่พลังงานจากแหล่งที่มาของการสั่นสะเทือนโดยรอบ.
มันถูกออกแบบมาอย่างดีที่สุดในการสร้างพลังงานไฟฟ้าจากระดับต่ำการสั่นสะเทือนโดยรอบผ่านผล piezoelectric.
เพื่อที่จะผลิตกระแสไฟฟ้าที่สั่นสะเทือนต่ำ เก็บเกี่ยวพลังงานที่นำเสนอได้รับการประดิษฐ์โดยเลียนแบบอิเล็กโทรทองคำขาวลงในรูปทรงเรขาคณิตระหว่างดิจิตอลด้านบนของโซลเจลปั่นเคลือบตะกั่ว (Zr, Ti) O3 ฟิล์มบางสำหรับการดำเนินงาน D33 โหมด piezoelectric บนเท้าแขนซิลิกอนที่มีมวลหลักฐานโดยใช้ micromaching กลุ่ม เทคนิค.
เก็บเกี่ยวพลังงานประดิษฐ์มี 1.1uW ของการใช้พลังงานออกไป2.2MΩของความต้านทานโหลด 4.4Vpeak ต่อยอดจากการสั่นสะเทือนของการเร่งความเร็ว 0.39g หนึ่งที่สะท้อนความถี่ของ 528Hz คือความหนาแน่นของพลังงานที่สอดคล้องกัน 2.8mW · CM-3 · G-1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในกระดาษนี้ พลังงาน piezoelectric ซึ่งเกี่ยวการตรวจสอบและประเมิน เพื่อหาแหล่งพลังงานจากการสั่นสะเทือน แวดล้อมมันเป็นดีที่สุดที่ออกแบบมาเพื่อสร้างพลังงานไฟฟ้าจากระดับการสั่นสะเทือนอุณหภูมิผ่านผล piezoelectric .เพื่อสร้างกระแสไฟฟ้าที่แรงสั่นสะเทือนต่ำ เสนอพลังงานเก็บเกี่ยวถูกประดิษฐ์โดยเลียนแบบขั้วแพลทินัมในอินเตอร์เรขาคณิตดิจิตอลด้านบนของโซล - เจลหมุน PB เคลือบ ( ZR , Ti ) O3 ฟิล์มบางสำหรับ d33 piezoelectric โหมดปฏิบัติการในซิลิคอน cantilever ด้วยหลักฐานมวลโดยใช้เทคนิคกลุ่ม micromaching .ประดิษฐ์พลังงานเก็บเกี่ยวได้ 1.1uw ของพลังงานที่จะΩ 2.2m โหลดความต้านทานที่มี 4.4vpeak-to-peak จากการสั่นสะเทือนของการเร่ง 0.39g ที่ความถี่เรโซแนนซ์ของ 528hz . ความหนาแน่นของพลังงานที่สอดคล้องกัน คือ 2.8mw ด้วย cm-3 ด้วย G-1 .