tWe have fabricated Ru and Pt nanoc

tWe have fabricated Ru and Pt nanocomposite films using plasma-enhanced atomic layer depo-sition (PE-ALD), and characterized their structure by means of analytical electron microscopy. Ptand Ru were deposited in Ar/O2plasma using trimethyl(methylcyclopentadienyl) platinum(IV) andbis(cyclopentadienyl)Ru(II) or bis(ethylcyclopentadienyl)Ru(II) as precursors, respectively. The resisti-vity of a Pt film deposited on a Si substrate at 300◦C was 16.2  cm, and that of a Ru film was as lowas 11  cm, showing the film to be metallic and not oxidized. It was revealed that the film prepared bysuccessive PE-ALDs of Pt and Ru on a thin amorphous carbon substrate for electron microscopy analy-sis is a nanocomposite of Ru ribbons and PtRu (7:3) alloy ribbons with 2–3 nm in width. The Ru ribboncomprised small particles with poor crystallinity of the hcp A3 structure and the PtRu ribbon comprisedcrystallites with good crystallinity of the fcc Al structure. The atomic layer deposition would be one ofpotential techniques to produce Ru/Pt nanocomposites for fuel cell catalysts.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

tWe มีหลังสร้าง Ru และ Pt สิตฟิล์มใช้พลาสม่าเพิ่มชั้นอะตอม depo-sition (PE-ALD), และลักษณะโครงสร้างโดยวิธี microscopy อิเล็กตรอนที่วิเคราะห์ Ptand Ru ได้ฝากใน Ar/O2plasma ใช้ trimethyl(methylcyclopentadienyl) platinum(IV) andbis(cyclopentadienyl)Ru(II) หรือ bis(ethylcyclopentadienyl)Ru(II) เป็น precursors ตามลำดับ Resisti-vity ฟิล์ม Pt ที่ฝากบนสีพื้นผิวที่ 300◦C 16.2 ซม. และที่ฟิล์ม Ru ที่เป็น lowas 11 ซม. แสดงฟิล์มโลหะ และตกแต่งไม่ มันถูกเปิดเผยว่า ฟิล์มเตรียม bysuccessive PE ALDs Pt และ Ru บนกับพื้นผิวคาร์บอนบางไปสำหรับอิเล็กตรอน microscopy analy sis สิต Ru ทุกรุ่นและทุกรุ่นล้อแม็ก PtRu (7:3) มี 2-3 นาโนเมตรในความกว้าง อนุภาคขนาดเล็กของ ribboncomprised Ru มี crystallinity จนโครงสร้าง hcp A3 และ PtRu ริบ comprisedcrystallites กับดี crystallinity ของ fcc อัลโครงสร้าง สะสมชั้นอะตอมจะหนึ่ง ofpotential เทคนิคในการผลิตสิท Ru/Pt สำหรับสิ่งที่ส่งเสริมเซลล์เชื้อเพลิง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

TWE ได้ประดิษฐ์ Ru และ Pt ฟิล์มนาโนคอมโพสิตที่ใช้พลาสม่าเพิ่มชั้นอะตอม Depo-sition (PE-มรกต) และลักษณะโครงสร้างของพวกเขาโดยใช้วิธีการวิเคราะห์กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Ptand Ru ถูกฝากไว้ใน Ar / O2plasma ใช้ trimethyl (methylcyclopentadienyl) แพลทินัม (IV) andbis (ไซโค) Ru (II) หรือทวิ (ethylcyclopentadienyl) Ru (II) เป็นสารตั้งต้นตามลำดับ resisti-vity ของภาพยนตร์ Pt วางลงบนพื้นผิวที่ศรี300◦Cเป็น 16.2 ?? เซนติเมตรและที่ของภาพยนตร์ Ru เป็น lowas 11 ?? ซม. แสดงภาพยนตร์เรื่องนี้จะเป็นโลหะและไม่ได้ออกซิไดซ์ มันก็ถูกเปิดเผยว่าภาพยนตร์เรื่องนี้เตรียม bysuccessive PE-ALDS ของ Pt และ Ru บนพื้นผิวคาร์บอนอสัณฐานบางสำหรับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน analy-SIS เป็นนาโนคอมโพสิตของ Ru ริบบิ้นและ PtRu (7: 3) ริบบิ้นโลหะผสม 2-3 นาโนเมตรความกว้าง Ru ribboncomprised อนุภาคขนาดเล็กที่มีผลึกที่ดีของ hcp โครงสร้าง A3 และ comprisedcrystallites ริบบิ้น PtRu กับผลึกที่ดีของโครงสร้างอัล FCC การสะสมชั้นอะตอมจะเป็นหนึ่งในเทคนิคการผลิต ofpotential Ru / Pt nanocomposites ตัวเร่งปฏิกิริยาสำหรับเซลล์เชื้อเพลิง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สองครั้งได้ประดิษฐ์และ PT สำหรับภาพยนตร์ที่จะใช้พลาสมาเพิ่มอะตอมชั้น Depo sition ( pe-ald ) และศึกษาลักษณะโครงสร้างของพวกเขาโดยวิธีการของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องกราดวิเคราะห์ ptand ที่จะฝากเงินใน AR / o2plasma ใช้ไตร ( methylcyclopentadienyl ) แพลตตินั่ม ( IV ) andbis ( cyclopentadienyl ) รู ( II ) หรือทวิ ( ethylcyclopentadienyl ) รู ( 2 ) เป็นสารตั้งต้น ตามลำดับการ vity resisti ของ PT ฟิล์มฝากบนพื้นผิวที่◦ศรี 300 C 16.2   ซม. และที่ของเกมภาพยนตร์เป็น lowas 11   เซนติเมตร แสดงภาพยนตร์ เป็นโลหะ และไม่สลายตัว . พบว่าฟิล์มที่เตรียม bysuccessive PE alds ของ PT และรูในบางคาร์บอนอสัณฐานพื้นผิวสำหรับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนเครื่องพี่เป็น นาโนคอมโพสิตของริบบิ้น RU และ ptru ( 7 :3 ) โลหะผสมริบบิ้น 2 – 3 nm ในความกว้าง การ ู ribboncomprised อนุภาคขนาดเล็กที่มีผลึกที่น่าสงสารของ HCP A3 โครงสร้างและ ptru ริบบิ้น comprisedcrystallites กับผลึกของ FCC ล โครงสร้าง การเคลือบชั้นอะตอมจะใช้เทคนิคการผลิต RU / PT นาโนคอมโพสิตสำหรับเซลล์เชื้อเพลิงตัวเร่ง