Wet bulk micromachining of Si by me

Wet bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching (MaCE) has successfully been demonstrated. Based on the mechanism of defective etching results from Ag and Au metal catalyst experiments, the wettability of etchant solution, in addition to metal type, has been found to have profound effect on the etching process. Addition of low surface tension co-solvent, ethanol in this work, into conventional etchant formulation has enabled complete wetting of etchant on surface, which prevents hydrogen bubble attachment on sample surface during the etching. The complete elimination of bubble attachment guarantees very uniform etch rate on all over the sample surface, and thus prevents premature fragmentation/rupture of catalyst metal layer. Under the optimized etching conditions, the MaCE could be done for up to 12 h without any noticeable film rupture and thus etching defects. Thanks to very smooth surface of the etched patterns, conformal contact and direct bonding of elastomer on such surface has been easily accomplished. The method demonstrated here can pave the way for application of simple, low-cost MaCE process in the bulk micromachining of Si for various applications.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดงให้เห็น micromachining เปียกจำนวนมากของศรี โดยช่วยโลหะแกะสลักเคมี (กระบอง) เรียบร้อยแล้ว โดยใช้กลไกของการแกะสลักผลจากการทดลองเศษโลหะ Ag และ Au ชำรุด ความสามารถเปียกของ etchant นอกจากชนิดโลหะ พบมีผลอย่างยิ่งในกระบวนการแกะสลัก นอกเหนือจากตัวทำละลายร่วมแรงตึงผิวต่ำ เอทานอลในงานนี้ เป็นสูตรทั่วไป etchant งานเปียกสมบูรณ์ของ etchant บนพื้นผิว ซึ่งทำให้ที่แนบฟองไฮโดรเจนบนพื้นผิวตัวอย่างระหว่างการแกะสลัก การ กำจัดฟองรับประกันที่แนบมามากเหมือนกันกัดอัตราอยู่ทั่วพื้นผิวอย่าง และจึง ทำให้กระจายตัวก่อนวัยอันควรแตกออกของเศษโลหะชั้น ภายใต้เงื่อนไขการแกะสลักที่เหมาะสม กระบองที่ทำสำหรับไม่ร้าวใด ๆ เห็นฟิล์มและการแกะสลักจึง บกพร่องถึง 12 ชม ด้วยพื้นผิวที่เรียบมากรูปแบบที่ผ่านการเอทชิ่ง ติดต่อ conformal และยึดโดยตรงของยางบนพื้นผิวดังกล่าวได้ได้ได้สำเร็จ วิธีการแสดงนี่สามารถปูทางสำหรับการประยุกต์กระบวนกระบองอย่างง่าย ต้น ทุนต่ำใน micromachining จำนวนมากของศรีต่าง ๆ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ไมโครกลุ่มเปียกศรีโลหะช่วยแกะสลักเคมี (Mace) ได้รับการประสบความสำเร็จในการแสดงให้เห็น ขึ้นอยู่กับกลไกของการแกะสลักผลการชำรุดจาก AG และ Au ทดลองโลหะตัวเร่งปฏิกิริยาเปียกของการแก้ปัญหา etchant ที่นอกเหนือจากประเภทโลหะที่ได้รับพบว่ามีผลกระทบอย่างลึกซึ้งเกี่ยวกับขั้นตอนการแกะสลัก นอกเหนือจากพื้นผิวต่ำความตึงเครียดร่วมตัวทำละลายเอทานอลในงานนี้ลงในสูตร etchant ธรรมดาได้เปิดใช้งานเปียกสมบูรณ์ของ etchant บนพื้นผิวซึ่งจะช่วยป้องกันสิ่งที่แนบมาไฮโดรเจนฟองบนพื้นผิวของตัวอย่างในระหว่างการแกะสลัก กำจัดสมบูรณ์ของสิ่งที่แนบฟองรับประกันอัตราจำหลักเครื่องแบบมากในทั่วพื้นผิวตัวอย่างและจึงช่วยป้องกันการคลอดก่อนกำหนดการกระจายตัว / การแตกของชั้นโลหะตัวเร่งปฏิกิริยา ภายใต้เงื่อนไขการแกะสลักที่ดีที่สุด Mace สามารถทำได้ถึง 12 ชั่วโมงโดยไม่ต้องร้าวฉานภาพยนตร์เรื่องใด ๆ ที่เห็นได้ชัดและทำให้การแกะสลักข้อบกพร่อง ขอขอบคุณไปยังพื้นผิวเรียบมากของรูปแบบการแกะสลักติดต่อมาตราส่วนและพันธะโดยตรงของยางบนพื้นผิวดังกล่าวได้รับความสำเร็จได้อย่างง่ายดาย วิธีการที่แสดงให้เห็นถึงที่นี่สามารถปูทางสำหรับการประยุกต์ใช้ง่ายกระบวนการ Mace ต้นทุนต่ำในกลุ่มของไมโครศรีสำหรับการใช้งานต่างๆ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นกลุ่มของจังหวัด โดย micromachining เปียกเคมีแกะสลักโลหะช่วย ( คทา ) ได้แสดงให้เห็นถึง ตามกลไกของการบกพร่อง และผลจากการทดลองสารตัวเร่งปฏิกิริยาโลหะ AU , โซลูชั่นของ etchant นอกเหนือจากประเภทโลหะ ถูกพบว่ามีผลลึกซึ้งในกระบวนการกัด . เพิ่มแรงตึงผิวต่ำ Co ตัวทำละลายเอทานอล ในงานนี้ เป็นสูตร etchant ปกติทำให้เปียกที่สมบูรณ์ของ etchant บนพื้นผิวที่ป้องกันไม่ให้แนบฟองไฮโดรเจนบนพื้นผิวตัวอย่างในระหว่างการ . การกำจัดที่สมบูรณ์ของสิ่งที่แนบฟองรับประกันชุดมากกัดอัตราทั่วพื้นผิวตัวอย่าง จึงจะป้องกันไม่ให้แตกกระจาย / คลอดก่อนกำหนดของชั้นโลหะตัวเร่ง ภายใต้เงื่อนไขที่เหมาะสม กัด คทานี้จะสามารถทำได้ถึง 12 ชั่วโมง โดยไม่มีการใด ๆและดังนั้นจึง พบข้อบกพร่องที่เห็นได้ชัดฟิล์ม . ขอบคุณที่พื้นผิวที่เรียบมากของแกะสลักลวดลาย ติดต่อ conformal และเชื่อมโดยตรงของยางบนพื้นผิวดังกล่าวได้สำเร็จได้อย่างง่ายดาย . วิธีการแสดงที่นี่สามารถปูทางสำหรับการประยุกต์ใช้ง่าย ต้นทุนต่ำ คทาในกระบวนการ micromachining เป็นกลุ่มจังหวัดสำหรับโปรแกรมประยุกต์ต่าง ๆ