Thin films of cerium oxide were prep

Thin films of cerium oxide were prepared using e-beam evaporation. The starting material was CeO
pellets from Balzers (99.99% purity). The films were prepared in a Leybold L560 box coater pumped by a turbomolecular pump. The system was initially pumped to a base pressure of 1 ×10 Pa. Before deposition, the material was slowly outgassed, with a shutter blocking the vapor from the substrates. The films were deposited on unheated substrates. The substrates were rotating during the deposition, and the source-to-substrate distance was 40 cm. The deposition rate was 0.4 nm/s. The evaporation rate and thickness of the films were controlled by a quartz crystal thickness monitor. For different purposes of film characterization, the films were simultaneously deposited on BK7 glass (for X-ray diffraction, XRD), tantalum substrates (for X-ray photoelectron spectroscopy, XPS), fused silica substrates (for optical measurements), and alumina substrates (for gas-sensing measurements). After the films were deposited, they were removed fromthe coating chamber and exposed to the ambient atmosphere. Subsequently, all samples were annealed in air at 500 Cfor2h in order to thermally stabilize the films prior to sensing measurements.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บาง films ของซีเรียมออกไซด์จัดทำโดยใช้ลำแสงอีระเหยขึ้น วัสดุเริ่มต้นเป็นประธานเม็ดจาก Balzers (ความบริสุทธิ์ 99.99%) films ถูกเตรียมใน coater กล่อง Leybold L560 ที่สูบ โดยปั๊ม turbomolecular ระบบถูกเริ่มสูบให้แรงดันฐาน 1 × 10 บางปะอิน ก่อนสะสม วัสดุที่ใช้มีช้า outgassed กับชัตเตอร์ที่บล็อกไอจากพื้นผิว films ถูกฝากไว้ในพื้นผิวที่เย็น พื้นผิวถูกหมุนระหว่างการสะสม และแหล่งเพื่อพื้นผิวระยะทางก็ 40 ซม. อัตราการสะสมคือ 0.4 nm/s อัตราการระเหยและความหนาของ films ถูกควบคุม โดยจอภาพผลึกความหนา เพื่อวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันการจำแนกลักษณะภาพยนตร์ films มาพร้อมกันฝากบน BK7 แก้ว (สำหรับเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์ XRD), พื้นผิวแทนทาลัม (สำหรับ X-ray photoelectron เครื่อง XPS), หลอมรวมพื้นผิวซิลิกา (สำหรับการวัดแสง), และพื้นผิวอลูมินา (สำหรับวัดก๊าซเซนเซอร์) หลังจาก films มาฝาก พวกเขาถูกลบออกจากห้องเคลือบ และสัมผัสกับบรรยากาศโดยรอบ ต่อมา ตัวอย่างทั้งหมดถูกอบในอากาศ 500 Cfor2h เพื่อที่จะรักษาเสถียรภาพ films ก่อนการวัดตรวจจับความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

LMS Fi บางของซีเรียมออกไซด์ถูกเตรียมโดยใช้การระเหย E-คาน วัสดุที่เป็นซีอีโอเริ่มต้น
เม็ดจาก Balzers (99.99% บริสุทธิ์) LMS จะ Fi ได้จัดทำกล่อง Coater Leybold L560 สูบโดยปั๊ม turbomolecular ระบบแรกที่ถูกสูบไปยังฐานของความดัน 1 × 10 Pa. ทับถมก่อนที่วัสดุที่ถูก outgassed ช้ากับการปิดกั้นชัตเตอร์ไอจากพื้นผิวที่ LMS จะ Fi ถูกวางลงบนพื้นผิววัก พื้นผิวหมุนระหว่างการสะสมและระยะทางที่มาเพื่อเป็นสารตั้งต้น 40 ซม. อัตราการสะสมเป็น 0.4 นาโนเมตร / วินาที อัตราการระเหยและความหนาของ LMS Fi ที่ถูกควบคุมโดยการตรวจสอบความหนาของผลึกควอตซ์ เพื่อวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันของ Fi LM ลักษณะ LMS Fi ถูกฝากพร้อมกันบนกระจก BK7 (สำหรับการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์ XRD) พื้นผิวแทนทาลัม (สำหรับ X-ray โฟโตอิเล็กตรอนสเปกโทรสโก, XPS) ผสมพื้นผิวซิลิกา (สำหรับการวัดแสง) และพื้นผิวอลูมิเนียม (สำหรับการตรวจวัดก๊าซตรวจจับ) หลังจาก LMS Fi ถูกฝากพวกเขาถูกถอดออก fromthe ห้องเคลือบและสัมผัสกับบรรยากาศโดยรอบ ต่อจากนั้นกลุ่มตัวอย่างทั้งหมดถูกอบในอากาศที่ 500 Cfor2h เพื่อรักษาเสถียรภาพความร้อน LMS Fi ก่อนที่จะมีการวัดการตรวจจับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

บางจึง LMS ของซีเรียมออกไซด์ที่เตรียมใช้ e-beam การระเหย ตั้งต้นเป็นซีอีโอเม็ดจากบัลเซอร์ ( ความบริสุทธิ์ 99.99% ) จึงจัดเตรียมไว้ในกล่อง l560 จำหน่ายเครื่องเคลือบสูบโดยปั๊ม turbomolecular . ระบบก็เริ่มสูบกับฐานที่ความดัน 1 × 10 . ก่อนสะสม วัสดุก็ค่อยๆ outgassed กับชัตเตอร์ปิดกั้นไอน้ำจากท จึงเป็นเงินสด จัดท เมื่อมีการหมุนในการสะสม และแหล่งสารระยะทาง 40 เซนติเมตร อัตราการเคลือบคือ 0.4 nm / s อัตราการระเหยและความหนาของหนังจึงถูกควบคุมโดยความหนาของผลึกควอตซ์ จอภาพ เพื่อวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันของ LM ถ่ายทอดตัวละคร จึงถูกฝากไว้บนกระจก BK7 จัดพร้อมกัน ( สำหรับการเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์ , XRD ) , แทนทาลัมพื้นผิว ( สำหรับเครื่อง X-ray photoelectron spectroscopy , XPS ) , ซิลิกาหลอมพื้นผิว ( วัดแสง ) และอะลูมินา ( สำหรับตรวจวัดก๊าซแผ่นวัด ) หลังจากถ่ายทอด LMS ฝากเงินพวกเขาถูกเอาออกจากห้องเคลือบ และสัมผัสกับบรรยากาศโดยรอบ ต่อมาตัวอย่างอบในอากาศที่ 500 cfor2h เพื่อที่จะได้รับความมั่นคงจึง LMS ก่อนที่จะวัดจาก .