Source power Ws, bias power Wb, sub

Source power Ws, bias power Wb, substrate temperature, and processing times have all been varied to investigate a wide range of parameters. A throttle valve is used to adjust the processing pressure

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แหล่งพลังงาน Ws อคติพลังงาน Wb อุณหภูมิพื้นผิว และครั้งได้ทั้งหมดแล้วแตกต่างกันเพื่อตรวจสอบความหลากหลายของพารามิเตอร์ ใช้เค้นวาล์วปรับแรงดันการประมวลผล

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แหล่งที่มาของ Ws อำนาจ Wb อำนาจอคติอุณหภูมิพื้นผิวและเวลาการประมวลผลทั้งหมดได้รับแตกต่างกันในการตรวจสอบความหลากหลายของพารามิเตอร์ วาล์วปีกผีเสื้อจะใช้ในการปรับความดันในการประมวลผล

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แหล่งพลังงานคือ ตั้งค่า WB พลังงานอุณหภูมิพื้นผิวและเวลาการประมวลผลได้หลากหลายเพื่อศึกษาความหลากหลายของพารามิเตอร์ เค้นวาล์วปรับความดันที่ใช้ประมวลผล