The pulsed magnetron sputtering (PM

The pulsed magnetron sputtering (PMS) process has
transformed the production of highly insulating "lms,
particularly oxides such as alumina. Oxide coatings can
be produced by the reactive magnetron sputtering of
a metallic target in a controlled oxygen atmosphere.
They can also be produced by the direct RF (radio
frequency; usually 13.56 MHz) sputtering of an oxide
target. However, both of these processes are problematic.
RF sputtering can produce high-quality "lms, but deposition
rates are very low (typically in the lm/h range).
Also, RF sputtering systems are complex and di$cult to
scale up for commercial applications.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีการผลิตกล่องจากกระดาษที่พัลสปัตเตอร์ (PMS) กระบวนการเปลี่ยนการผลิตสูงฉนวน "lmsโดยเฉพาะออกไซด์เช่นอลูมินา สามารถเคลือบออกไซด์ผลิต โดยสปัตเตอร์ปฏิกิริยาผลิตกล่องจากกระดาษของเป้าหมายโลหะในบรรยากาศออกซิเจนควบคุมพวกเขาสามารถผลิต โดย RF โดยตรง (วิทยุความถี่ ปกติ 13.56 MHz) สปัตเตอร์ของออกไซด์เป้าหมาย อย่างไรก็ตาม กระบวนการเหล่านี้ทั้งสองมีปัญหาสปัตเตอร์ RF สามารถผลิตคุณภาพ "lms แต่สะสมราคาจะต่ำมาก (โดยปกติในช่วงชม. lm)ระบบสปัตเตอร์ RF ยังซับซ้อนและ di$ ลัทธิการปรับมาตราส่วนค่าสำหรับการใช้งานเชิงพาณิชย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แมกพัลสปัตเตอร์กระบวนการ (PMS) ได้
เปลี่ยนการผลิตสูงฉนวน "LMS ที่
โดยเฉพาะอย่างยิ่งออกไซด์เช่นอลูมิ. เคลือบออกไซด์สามารถ
ได้รับการผลิตโดยสปัตเตอร์แมกปฏิกิริยาของ
เป้าหมายโลหะในบรรยากาศที่มีออกซิเจนควบคุม.
พวกเขายังสามารถผลิตได้โดย RF โดยตรง (วิทยุ
ความถี่มัก 13.56 MHz) สปัตเตอร์ของออกไซด์
. เป้าหมายอย่างไรก็ตามทั้งสองของกระบวนการเหล่านี้มีปัญหา.
สปัตเตอร์ RF สามารถผลิตที่มีคุณภาพสูง "LMS แต่ทับถม
อัตราที่ต่ำมาก (โดยทั่วไปใน LM ช่วง / ชั่วโมง ).
นอกจากนี้ RF ระบบสปัตเตอร์มีความซับซ้อนและดิลัทธิ $ เพื่อ
ไต่ขึ้นสำหรับการใช้งานเชิงพาณิชย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แมกนีตรอนสปัตเตอริง Pulsed ( PMS ) กระบวนการได้เปลี่ยนการผลิตสูงฉนวน " LMS ,โดยเฉพาะอย่างยิ่งออกไซด์เช่นอลูมินา สามารถเคลือบออกไซด์ผลิตโดยปฏิกิริยาของแมกนีตรอนสปัตเตอริงชิ้นงานโลหะควบคุมออกซิเจนในบรรยากาศพวกเขายังสามารถผลิตโดย RF โดยตรง ( วิทยุความถี่ 13.56 MHz ) ; มักจะทำงานของออกไซด์เป้าหมาย อย่างไรก็ตาม ทั้งคู่มีกระบวนการเหล่านี้มีปัญหาRF สปัตเตอริงสามารถผลิตที่มีคุณภาพสูง " แต่การสอนราคาต่ำมาก ( โดยทั่วไปในช่วง LM / H )นอกจากนี้ ระบบสปัตเตอริง RF มีความซับซ้อนและ Di $ ลัทธิที่จะขนาดสำหรับการใช้งานเชิงพาณิชย์