the top of the cavityis the integra

the top of the cavity
is the integration membrane made by SOI top silicon.
When the sensor is operating in water, in order to
avoid the hydrolysis caused by a strong electric field
in the cavity, the vibration must be a vacuum-sealed
cavity. The top and bottom electrodes are deposited
on the membrane and substrate respectively.
Meanwhile, a MEMS capacitive ultrasonic transducer
is composed of many cells which are connected
parallel and distributed in a certain order

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ด้านบนของช่อง
เป็นการบูรณาการเมมเบรนโดยซอยด้านบน ซิลิคอน
เมื่อเซนเซอร์เป็นปฏิบัติการในน้ำ เพื่อหลีกเลี่ยงการย่อยสลายเกิดจาก

แรงสนามไฟฟ้าในโพรง การสั่นสะเทือนต้องสูญญากาศปิดผนึก
โพรง ขั้วไฟฟ้าที่ด้านบนและด้านล่างจะฝาก
บนเยื่อแผ่นตามลำดับ
ในขณะเดียวกัน , MEMS capacitive ultrasonic transducer
ด้านบนของช่อง
เป็นการบูรณาการเมมเบรนโดยซอยด้านบน ซิลิคอน
เมื่อเซนเซอร์เป็นปฏิบัติการในน้ำ เพื่อหลีกเลี่ยงการย่อยสลายเกิดจาก

แรงสนามไฟฟ้าในโพรง การสั่นสะเทือนต้องสูญญากาศปิดผนึก
โพรง ขั้วไฟฟ้าที่ด้านบนและด้านล่างจะฝาก
บนเยื่อแผ่นตามลำดับ
ในขณะเดียวกัน , MEMS capacitive ultrasonic transducer
ประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่เชื่อมต่อกัน
แบบขนานและกระจายอยู่ในลำดับที่แน่นอน