In multichamber systems there is a

In multichamber systems there is a transfer system to move substrates inside the vacuum system between various deposition chambers through appropriate gate valves. Large-volume manufacturing systems typically do not have turbomolecular pumps due to their cost and maintenance.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในระบบ multichamber มีระบบโอนย้ายพื้นผิวภายในระบบสูญญากาศระหว่างหลายสะสมห้องผ่านวาล์วประตูที่เหมาะสม ระบบการผลิตปริมาณมากมักจะมี turbomolecular ปั๊มเนื่องจากต้นทุนและการบำรุงรักษา

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในระบบการ multichamber มีระบบการโอนจะย้ายพื้นผิวภายในระบบสุญญากาศระหว่างห้องต่างๆทับถมผ่านวาล์วประตูที่เหมาะสม ระบบการผลิตในปริมาณมากมักจะไม่ได้มีปั๊ม turbomolecular เนื่องจากค่าใช้จ่ายและการบำรุงรักษาของพวกเขา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในระบบ multichamber มีระบบการโอนย้ายระบบสุญญากาศระหว่างพื้นผิวภายในห้องแบบต่าง ๆผ่านวาล์วประตูที่เหมาะสม ระบบผลิตปริมาณมากมักจะไม่ได้มี turbomolecular ปั๊มเนื่องจากค่าใช้จ่ายและการบำรุงรักษาของพวกเขา