Slurry waste flowing from CMP tools

Slurry waste flowing from CMP tools in the cleanroom first accumulates in the slurry lift tank. When this tank fills, the liquid is pumped through a series of filters. The first filter is the “pre-filter,” and consists of a steel drum containing a polyester “bag filter” and is intended to remove large sediments (15 μm pores).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

น้ำเสียที่ไหลจากมือ CMP ในคลีนรูมแรกสะสมในถังสารละลายยก เมื่อถังนี้เต็ม ของเหลวถูกสูบผ่านชุดของตัวกรอง ตัวแรกเป็นตัว "ก่อนกรอง และประกอบด้วยกลองเหล็กประกอบด้วยโพลีเอสเตอร์"ถุงกรอง" และมีวัตถุประสงค์เพื่อเอาตะกอนขนาดใหญ่ (15 μm รูขุมขน)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เสียถนนลาดยางไหลจากเครื่องมือ CMP ในคลีนรูมแรกสะสมอยู่ในถังผสมลิฟท์ เมื่อถังนี้เติมของเหลวจะถูกสูบผ่านชุดของตัวกรอง กลั่นกรองแรกคือ "กรองก่อน" และประกอบด้วยกลองเหล็กที่มีโพลีเอสเตอร์ "ถุงกรอง" และมีวัตถุประสงค์ที่จะเอาตะกอนขนาดใหญ่ (15 ไมโครเมตรรูขุมขน)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กากของเสียที่ไหลจากเครื่องมือประสิทธิภาพในแบบแรก สะสมในสารละลาย ยกถัง เมื่อถังนี้เติมของเหลวจะถูกสูบผ่านตัวกรองชุด . ตัวกลั่นกรองแรก คือ " ไส้กรอง " และประกอบด้วยเหล็กกลองที่มี " ถุงกรองโพลีเอสเตอร์ " และมีวัตถุประสงค์เพื่อขจัดตะกอนขนาดใหญ่ ( 15 μ M รู )