The basic structure of MEMS switch

The basic structure of MEMS switch consists of three layers which are Glass-Silicon- Glass, as shown
Fig. 2. It has a SPST contact configuration, “1a”, normally open type. The top glass part is used for
protecting the actuator and hermetic sealing. The middle silicon section contains the actuator and
movable electrode. A capacitor is built up between the fixed electrode and movable electrode. The
signal line and fixed electrode are made on a glass base. When applying the voltage between Fixed
Electrode and Movable Electrode, an electrostatic force is generated and it pulls in the Movable
Electrode (actuator). When the driving voltage becomes OFF, the electrostatic force will disappear, and
then the actuator will go back to the original position because of a self-restoring force. The signal line
and the movable contact consist of pure metal wiring, and serve as a mechanical switch which can
handle DC to High Frequency signals

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โครงสร้างพื้นฐานของ MEMS สวิตช์ประกอบด้วยสามชั้นซึ่งเป็นแก้วซิลิคอนแก้ว แสดงFig. 2 มี SPST ติดต่อการตั้งค่าคอนฟิก "1a" โดยปกติเปิดชนิด ส่วนกระจกด้านบนใช้สำหรับปกป้อง actuator และซีล hermetic Actuator ที่ประกอบด้วยส่วนกลางซิลิคอน และอิเล็กโทรดที่สามารถเคลื่อนย้าย ตัวเก็บประจุถูกสร้างขึ้นระหว่างไฟฟ้าถาวรและไฟฟ้าสามารถ ที่สายสัญญาณและไฟฟ้าถาวรบนแก้วฐานการจะ เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้าระหว่างคงอิเล็กโทรดและอิเล็กโทรดที่สามารถเคลื่อนย้าย แรงไฟฟ้าสถิตถูกสร้างขึ้น และมันดึงในสามารถอิเล็กโทรด (actuator) เมื่อแรงขับจะปิด แบบไฟฟ้าสถิตแรงจะหายไป และแล้ว actuator ที่จะกลับไปตำแหน่งเดิมเนื่องจากแรงที่คืนค่าด้วยตนเอง เส้นสัญญาณและผู้ติดต่อสามารถเคลื่อนย้ายประกอบด้วยสายโลหะบริสุทธิ์ ทำหน้าที่เป็นสวิตช์ทางกลซึ่งสามารถจัดการ DC สัญญาณความถี่สูง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โครงสร้างพื้นฐานของสวิทช์เมมส์ประกอบด้วยสามชั้นซึ่งเป็นกระจกแก้ว Silicon-
ดังแสดงรูป 2. มีการกำหนดค่าการติดต่อ SPST "1a" พิมพ์เปิดได้ตามปกติ
ส่วนที่กระจกด้านบนจะใช้สำหรับการปกป้องตัวกระตุ้นและการปิดผนึกสุญญากาศ
ส่วนซิลิกอนตรงกลางมีตัวกระตุ้นและอิเล็กโทรดที่สามารถเคลื่อนย้าย ตัวเก็บประจุที่ถูกสร้างขึ้นระหว่างขั้วไฟฟ้าคงที่และอิเล็กโทรดที่สามารถเคลื่อนย้าย
สายสัญญาณและขั้วไฟฟ้าคงที่จะทำบนฐานแก้ว เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้าคงที่ระหว่างไฟฟ้าและอิเลคโทรเคลื่อนที่, แรงไฟฟ้าสถิตถูกสร้างขึ้นและจะดึงในที่สามารถเคลื่อนย้ายขั้วไฟ(กระตุ้น) เมื่อแรงดันไฟฟ้าขับรถจะกลายเป็น OFF แรงไฟฟ้าสถิตจะหายไปและจากนั้นกระตุ้นจะกลับไปที่ตำแหน่งเดิมเพราะแรงตนเองการเรียกคืน สายสัญญาณและการติดต่อที่สามารถเคลื่อนย้ายประกอบด้วยสายไฟโลหะบริสุทธิ์และทำหน้าที่เป็นสวิทช์กลที่สามารถจัดการกับDC สัญญาณความถี่สูง