This paper presents the design of a

This paper presents the design of a multi-axis micro force-torque sensor. The sensor is able to measure forces along two axes and a torque perpendicular to these forces. The load is measured by capacitive comb drives which provide a high sensitivity. The microfabrication process, the sensor readout electronics as well as the calibration procedure are presented. The sensor was used to measure the force and torque on a magnetically actuated microrobot. This microrobot is assembled from microfabricated nickel parts for directed drug delivery inside the human body. Precise knowledge load on the microrobot is required for accurate positioning and control of the robot. The three-axis micro sensor is used to simultaneously measure the forces and torques acting on the microrobot in a magnetic field and thus provides valuable data for magnetic control methods of microrobots.

Published in:

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เอกสารนี้นำเสนอการออกแบบของเซนเซอร์หลายแกนไมโครแรงแรงบิด เซนเซอร์สามารถวัดกำลังสองแกนและแรงบิดที่ตั้งฉากกับกองกำลังเหล่านี้ได้ การโหลดถูกวัด โดยหวีควบคุมไดรฟ์ที่มีความไวสูง มีแสดงการ microfabrication อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เซนเซอร์ readout ตลอดจนวิธีการปรับเทียบ ใช้เซนเซอร์วัดแรง และแรงบิดบน microrobot actuated ชำระ Microrobot นี้เป็นการรวบรวมจากส่วนนิกเกิล microfabricated สำหรับการจัดส่งยาเสพติดโดยตรงภายในร่างกายมนุษย์ โหลดความรู้แม่นยำบน microrobot จำเป็นสำหรับการวางตำแหน่งที่แม่นยำและการควบคุมหุ่นยนต์ได้ เซ็นเซอร์ขนาดเล็กสามแกนใช้พร้อมวัดกองและ torques กระทำการ microrobot ในสนามแม่เหล็ก และทำ ให้ข้อมูลที่มีค่าสำหรับวิธีควบคุมแม่เหล็ก microrobotsเผยแพร่ใน:

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทความนี้นำเสนอการออกแบบของหลายแกนเซ็นเซอร์แรงบิดขนาดเล็ก เซ็นเซอร์ที่สามารถวัดความพร้อมกองกำลังสองแกนและแรงบิดตั้งฉากกับกองกำลังเหล่านี้ โหลดวัดจากไดรฟ์หวี capacitive ที่ให้ความไวสูง กระบวนการชิ้นงานขนาดเล็ก, อิเล็กทรอนิกส์หน้าปัดเซ็นเซอร์เช่นเดียวกับขั้นตอนการสอบเทียบที่นำเสนอ เซ็นเซอร์ถูกใช้ในการวัดแรงและแรงบิดในการกระตุ้นแม่เหล็ก Microrobot Microrobot นี้เป็นที่ประกอบจากชิ้นส่วนนิกเกิล microfabricated สำหรับการส่งมอบยาเสพติดกำกับภายในร่างกายมนุษย์ โหลดความรู้ที่แม่นยำใน Microrobot เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับตำแหน่งที่ถูกต้องและการควบคุมของหุ่นยนต์ เซ็นเซอร์ขนาดเล็กสามแกนที่ใช้ในการวัดพร้อมกันกองกำลังและแรงบิดที่กระทำต่อ Microrobot ในสนามแม่เหล็กจึงให้ข้อมูลที่มีค่าสำหรับวิธีการควบคุมแม่เหล็กของ microrobots. ตีพิมพ์ใน:

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

บทความนี้นำเสนอการออกแบบหลายแกนไมโครเซ็นเซอร์แรงบิด . เซ็นเซอร์สามารถวัดแรงได้ตามสองแกนและแรงบิดตั้งฉากกับกองกำลังเหล่านี้ โหลดเป็นวัดโดยไดรฟ์หวี capacitive ซึ่งมีความไวสูง กระบวนการอ่าน รองรับชิ้นงานขนาดเล็ก เซนเซอร์อิเล็กทรอนิกส์รวมทั้งการสอบเทียบจะนำเสนอเซ็นเซอร์ที่ใช้วัดแรงและแรงบิดในสนามแม่เหล็กกระตุ้น microrobot . microrobot นี้ประกอบจากชิ้นส่วน microfabricated นิกเกิลสำหรับการนำส่งยาในร่างกายมนุษย์ โหลด microrobot ความรู้ที่จำเป็นสำหรับตำแหน่งที่ถูกต้องและแม่นยำในการควบคุมหุ่นยนต์การใช้พร้อมกันบนไมโครเซนเซอร์วัดแรงและแรงบิด การแสดงบน microrobot ในสนามแม่เหล็กจึงให้ข้อมูลที่มีค่าสำหรับวิธีการควบคุม microrobots แม่เหล็ก

ที่ตีพิมพ์ใน :