Modest RFpower of less than 1 kW at

Modest RF
power of less than 1 kW at 13.56 MHz has been applied
to two electrodes through a standard RF matching
network. Helium as the main carrier gas, argon as the
additional carrier gas, and oxygen as the reactive gas
are introduced into the plasma generation chamber
through mass flow controller. Gas temperatures are
obtained from rotational temperatures of OH molecules
by analysing ultraviolet (UV) molecular emission spectra w10,11x. Since intensities of oxygen radicals may
also be measured with optical emission spectroscopy
w2,3,8x, two different views for optical emission spectroscopy are provided as shown in Fig. 1b.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

RF เจียมเนื้อเจียมตัวใช้พลังงานน้อยกว่า 1 วัตต์ที่ 13.56 MHz มีการใช้ให้สองขั้วไฟฟ้าผ่าน RF ตรงมาตรฐานเครือข่าย ฮีเลียมเป็นหลักผู้ขนส่งก๊าซ อาร์กอนเป็นการผู้ให้บริการเพิ่มเติม และก๊าซออกซิเจนเป็นก๊าซทำปฏิกิริยาจะนำเข้าสู่ห้องรุ่นพลาสม่าผ่านการควบคุมการไหลเชิงมวล อุณหภูมิก๊าซจากอุณหภูมิหมุนของโมเลกุล OHโดยวิเคราะห์รังสีอัลตราไวโอเลต (UV) โมเลกุลปล่อยสเปกตรัม w10, 11 เท่านั้น เนื่องจากความเข้มของอนุมูลออกซิเจนอาจสามารถวัดกับสเปกโทรสโกปล่อยแสงw2, 3, 8 เท่า สองมุมมองที่แตกต่างกันสำหรับเครื่องปล่อยแสงไว้ดังแสดงในรูป 1b

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เจียมเนื้อเจียมตัว RF
พลังงานน้อยกว่า 1 กิโลวัตต์ที่ 13.56 MHz ได้ถูกใช้
ไปสองขั้วไฟฟ้าผ่านคลื่นความถี่วิทยุที่ตรงกับมาตรฐาน
เครือข่าย ฮีเลียมเป็นก๊าซหลักผู้ให้บริการอาร์กอนเป็น
ก๊าซเพิ่มเติมและออกซิเจนเป็นก๊าซปฏิกิริยา
จะนำเข้าไปในห้องรุ่นพลาสม่า
ผ่านตัวควบคุมการไหลของมวล อุณหภูมิก๊าซ
ที่ได้จากอุณหภูมิในการหมุนของโมเลกุล OH
โดยการวิเคราะห์รังสีอัลตราไวโอเลต (UV) โมเลกุลการปล่อยสเปกตรัม w10,11x เนื่องจากความเข้มของอนุมูลออกซิเจนอาจ
ยังวัดได้ด้วยการปล่อยแสงสเปกโทรสโก
w2,3,8x, สองมุมมองที่แตกต่างกันสำหรับการปล่อยแสงสเปกโทรสโกให้บริการดังแสดงในรูป 1b