The probing force is normally requi

The probing force is normally required to be less than 1 mN [16]. According to above parameter, the structure is analyzed and validated by FEA method, the probing sphere will remove 2.96 m along z direction and 44.2 m along x direction, respectively under vertical and horizontal probing force of 1 mN, The stiffness of probing system can be calculated as 22.62 N/min the X and Y directions, and 337.84 N/m in the z direction. And the first and the second order resonant frequency of the system is calculated by 810 Hz, so the frequency of probing force should be avoided around 810 Hz to keep the stability of system when probing force calibration is made. The finite-element analysis is shown in Fig. 4.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แรง probing เป็นปกติจำเป็น น้อยกว่า 1 mN [16] ตามข้างบนพารามิเตอร์ โครงสร้างวิเคราะห์ และตรวจสอบ โดยวิธีการ FEA ทรงกลม probing จะเอา 2.96 เมตร ตามทิศทางของ z และ m 44.2 ตาม x ทิศทาง ตามลำดับภายใต้แนวตั้ง และแนวนอนโดยอาศัยแรงของ 1 mN พังผืดที่อาศัยระบบที่สามารถคำนวณเป็น 22.62 N min X และ Y เส้นทาง และ N 337.84 m ในทิศทาง z แรกและสองสั่งคงความถี่ของระบบจะคำนวณ 810 Hz ดังนั้นความถี่ของการอาศัยแรงควรหลีกเลี่ยงประมาณ 810 Hz ให้ความมั่นคงของระบบเมื่ออาศัยเทียบแรงทำ การวิเคราะห์องค์ประกอบจำกัดจะแสดงใน Fig. 4

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แรงละเอียดเป็นปกติต้องจะน้อยกว่า 1 mN [16] ตามพารามิเตอร์ข้างต้นโครงสร้างมีการวิเคราะห์และตรวจสอบโดยวิธี FEA ทรงกลมละเอียดจะลบ 2.96 เมตรตามทิศทางและ z 44.2 เมตรตามทิศทาง x ตามลำดับภายใต้แรงละเอียดในแนวตั้งและแนวนอนของ 1 mN ตึงของระบบแหย่สามารถ คำนวณเป็น 22.62 N / นาที X และ Y ทิศทางและ 337.84 N / m ในทิศทางซี และเป็นครั้งแรกและลำดับที่สองสะท้อนความถี่ของระบบคำนวณโดย 810 เฮิร์ตซ์เพื่อให้ความถี่ของแรงละเอียดควรหลีกเลี่ยงรอบ 810 เฮิร์ตซ์เพื่อให้ความมั่นคงของระบบเมื่อสอบเทียบแรงละเอียดจะทำ การวิเคราะห์องค์ประกอบ จำกัด แสดงในรูป 4

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โดยการบังคับจะต้องน้อยกว่า 1 ) [ 16 ] ตามข้างบนตัวแปรโครงสร้าง วิเคราะห์และตรวจสอบโดยวิธี FEA , ละเอียดทรงกลมจะลบ 2.96 เมตร ตามทิศทางและ 44.2 เมตร X Z ตามทิศทาง ตามลำดับ ภายใต้การบังคับของแนวตั้งและแนวนอน 1 และ ความแข็งของการระบบสามารถคำนวณเป็นกุมภาพันธ์ n / min X และ Y ทิศทางและ 337.84 N / M ใน Z ทิศทาง และใบที่สองความถี่เสียงของระบบก็คำนวณโดย 810 Hz ดังนั้นความถี่ของการบังคับควรหลีกเลี่ยงประมาณ 810 Hz เพื่อให้เสถียรภาพของระบบเมื่อมีการบังคับให้ปรับแต่งได้ . การวิเคราะห์ finite-element จะแสดงในรูปที่ 4