This article discusses an analytica

This article discusses an analytical method for characterizations of TiO2 thin films and determinations of the
degree of their inhomogeneity. The TiO2 films were prepared by a pulsed dc magnetron sputtering with an
operating pressure as a main experimental parameter. The obtained films were primarily characterized for
film crystallinity, microstructures and optical properties by spectroscopic ellipsometry. The measured
ellipsometric data were analyzed by the single-, the double, and the triple-layer models in order to match with
the inhomogeneous film structure proposed in the Thornton structure zone model. The results were then
compared with those obtained from grazing-incidence X-ray diffraction, field-emission scanning electron
microscopy and high-resolution transmission electron microscopy. The study revealed that the pulsed dc
sputtered TiO2 films could be best described by the inhomogeneous triple-layer physical model. Although the
films deposited at lower operating pressure had a dense structure with a mirror-like surface topography, the
films deposited at higher operating pressure had the porous structure with the rough surface and the void.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บทความนี้อธิบายวิธีการวิเคราะห์สำหรับ characterizations ของฟิล์มบาง TiO2 และ determinations ของการ
ระดับของ inhomogeneity ของพวกเขา ฟิล์ม TiO2 ถูกเตรียม โดย magnetron พัล dc ที่พ่นด้วยการ
แรงดันเป็นพารามิเตอร์หลักทดลองใช้งาน ภาพยนตร์ได้รับมีลักษณะเป็นหลักสำหรับ
ฟิล์ม crystallinity คุณสมบัติแสง โดยด้าน ellipsometry และ microstructures ที่วัด
ellipsometric ข้อมูลได้วิเคราะห์ ทางเดียว- พยัญชนะ รุ่นทริปเปิลชั้นเพื่อจับคู่กับ
โครงสร้างงานภาพยนตร์ที่นำเสนอในแบบโซนธอร์นตันโครงสร้าง ผลลัพธ์ได้แล้ว
เมื่อเทียบกับผู้ที่ได้รับจาก grazing-เกิดการเลี้ยวเบนการเอ็กซ์เรย์ อิเล็กตรอนสแกนฟิลด์มลพิษ
microscopy และ microscopy อิเล็กตรอนส่งความละเอียดสูง การศึกษาการเปิดเผยที่ dc พัล
sputtered TiO2 ฟิล์มอาจจะดีที่สุดอธิบาย โดยแบบจำลองทางกายภาพทริชั้นใช้งานได้ แม้ว่าการ
ภาพยนตร์ฝากที่ความดันต่ำทำงานที่มีโครงสร้างที่หนาแน่น ด้วยภูมิประเทศเป็นพื้นผิวเช่นกระจก การ
ภาพยนตร์ฝากที่ความดันสูงที่ปฏิบัติงานที่มีโครงสร้างพื้นผิวหยาบและโมฆะ porous

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทความนี้กล่าวถึงวิธีการวิเคราะห์สำหรับการตรวจสอบของของ TiO2 ฟิล์มบางและการตรวจวัดของ
ระดับของ inhomogeneity ของพวกเขา ฟิล์ม TiO2 ถูกจัดทำขึ้นโดยสปัตเตอร์ dc แมกชีพจรกับ
ความดันการดำเนินงานเป็นพารามิเตอร์การทดลองหลัก ภาพยนตร์ที่ได้รับมีลักษณะหลักสำหรับ
ผลึกภาพยนตร์จุลภาคและคุณสมบัติทางแสงโดย ellipsometry สเปกโทรสโก วัด
ข้อมูล ellipsometric การวิเคราะห์เดียวสองและรุ่นสามชั้นเพื่อให้ตรงกับ
โครงสร้างภาพยนตร์ inhomogeneous นำเสนอในรูปแบบทอร์นตันโซนโครงสร้าง ผลการวิจัยแล้ว
เมื่อเทียบกับผู้ที่ได้รับจากทุ่งเลี้ยงสัตว์-อุบัติการณ์ X-ray diffraction ฟิลด์ปล่อยอิเล็กตรอนสแกน
กล้องจุลทรรศน์และความละเอียดสูงกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน การศึกษาพบว่า dc ชีพจร
พ่นฟิล์ม TiO2 สามารถอธิบายได้ดีที่สุดโดยสามชั้นแบบจำลองทางกายภาพ inhomogeneous แม้ว่า
ภาพยนตร์ฝากที่ความดันการดำเนินงานที่ลดลงมีโครงสร้างที่หนาแน่นไปด้วยเหมือนกระจกพื้นผิวภูมิประเทศ,
ภาพยนตร์ฝากที่ความดันการดำเนินงานที่สูงขึ้นมีโครงสร้างที่มีรูพรุนที่มีพื้นผิวที่ขรุขระและเป็นโมฆะ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

บทความนี้อธิบายถึงวิธีการวิเคราะห์สำหรับการศึกษาคุณสมบัติของฟิล์มบาง TiO2 และปัจจัยกำหนดของ
ระดับความไม่สม่ําเสมอของพวกเขา นําภาพยนตร์เตรียมโดยการสปัตเตอร์ดีซีแมกนีตรอนกับ
ความดันเป็นหลักจำนวนพารามิเตอร์ นำภาพยนตร์ที่ถูกหลักสำหรับ
ลักษณะผลึกของฟิล์มโครงสร้างจุลภาคและสมบัติทางแสง โดยทางลิปโซมิตรี . วัด
ellipsometric วิเคราะห์ข้อมูลโดยเดี่ยว , คู่ , และชั้นสามรูปแบบเพื่อให้ตรงกับ
inhomogeneous ภาพยนตร์โครงสร้างที่เสนอใน Thornton โครงสร้าง Zone รุ่น ผลลัพธ์ที่ได้แล้ว
เมื่อเทียบกับที่ได้จากการแทะเล็มเทคนิคการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์สนามจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด
และมีความละเอียดสูงส่งกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน . ผลการศึกษาพบว่า พัล DC
sputtered ฟิล์ม TiO2 สามารถอธิบายที่ดีที่สุดโดย inhomogeneous สามชั้นกายภาพแบบ แม้ว่า
ภาพยนตร์ฝากไว้ที่ลดความดันมีโครงสร้างหนาแน่นกับกระจกเหมือนพื้นผิวภูมิประเทศ ,
ฝากงานภาพยนตร์ที่ความดันสูงกว่าได้โครงสร้างรูพรุนที่มีพื้นผิวขรุขระ และถือเป็นโมฆะ