Fig. 5 shows the critical loads (LC

Fig. 5 shows the critical loads (LC1 and LC2) of CrCN coatings
deposited at various C2H2 flow rates. As for LC1, the value first
increases to 36 N at 15 sccm and then decreases to 28 N at 30 sccm.
The LC1 is gained by an acoustic signal which arises from the broken
micro-particle on the coating surface. The micro-particle consisting of
Cr is easier to break than CrN and Cr7C3, which may be attributed to a
lower hardness of the Cr micro-particle. Meanwhile, some acoustic
signals are formed by the crack propagating during the sliding process,
caused by the conical diamond tip extruding pin holes. As to LC2, the
value first increases to 86 N at 10 sccm and then decreases to the
lowest value of 63 N at 30 sccm. This is due to the amount of carbon
causing refinement of structure, increase of compressive stress and
decrease of critical load [38]. On the other hand, scratch results are
influenced by substrate and coating hardness, surface roughness,
coefficient of friction between coating and the scratch stylus, elastic
properties of the substrate, coating thickness [4,39]. The substrate
hardness, scratch stylus and elastic properties of the substrate are
constant, the surface roughness and coating thickness are listed in
Table 2, thus the coating hardness and coefficient of friction are tested.
The hardness, elastic modulus, H/E and H3
/E2 of the CrCN
coatings are shown in Fig. 6. The hardness, H/E and H3
/E2 show a
similar tendency with respect to the C2H2 flow rates. The hardness
first increases to 32 GPa at 10 sccm and then decreases to 22 GPa
at 30 sccm. Meanwhile, the elastic modulus, H/E and H3
/E2 reach a
maximum value at 10 sccm. It is obvious that the hardness of CrCN
coating is higher than that of CrN coating. This is due to the high
content of Cr–C and sp3 bonds in CrCN coatings. Wang [40]
pointed out that the hardness of coatings was closely related with
sp3 fraction i.e. higher sp3 fraction, higher hardness. Tong [20]
indicated that the increase of hardness with respect to carbon
content is attributed to the solid solution hardening effect of
carbon atoms. Meanwhile, Lim [41] and Jung [42] found that the
hardness increased with decreasing grain size. Thus, when the
C2H2 flow rate increased to 10 sccm, the hardness of coating is the
highest. As is known, the H/E or H3
/E2 ratios relate to the durability
and plastic deformation resistance of the coatings, respectively,
which provide close correlation with relative wear resistance [43].
As seen in Fig. 6, the CrCN coating deposited at 10 sccm shows the
highest H/E and H3
/E2 ratio, which has the excellent mechanical
and tribological properties.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รูป 5 แสดงสำคัญโหลด (LC1 และ LC2) เคลือบ CrCNฝากที่อัตราการไหลต่าง ๆ C2H2 สำหรับ LC1 ค่าแรกเพิ่มเป็น 36 N ที่ 15 sccm และลดที่ 28 N ณ 30 sccmLC1 ได้รับ โดยเป็นสัญญาณเสียงที่เกิดจากการแตกหักอนุภาคขนาดเล็กบนผิวเคลือบ อนุภาคขนาดเล็กที่ประกอบด้วยCr เป็นง่ายต่อการทำลายกว่า CrN และ Cr7C3 ซึ่งอาจเกิดจากการความแข็งที่ต่ำกว่าของอนุภาคไมโคร Cr ในขณะเดียวกัน บางเสียงสัญญาณเกิดขึ้น โดยการแตกกระจายในระหว่างกระบวนการเลื่อนเกิดจากกรวยเพชรปลายขาพ่น เป็น LC2 การค่าแรกเพิ่มขึ้นถึง 86 N ที่ sccm แล้วลดไป 10 ตัวค่าต่ำสุดของ 63 N ที่ 30 sccm ทั้งนี้เนื่องจากปริมาณของคาร์บอนก่อให้เกิดความประณีตของโครงสร้าง เพิ่มความเครียดอัด และลดการโหลดที่สำคัญ [38] บนมืออื่น ๆ มีผลรอยขีดข่วนได้รับอิทธิพลจากพื้นผิวและการเคลือบความแข็ง ความหยาบผิวค่าสัมประสิทธิ์ของแรงเสียดทานระหว่างการเคลือบและสไตเกา ยางยืดคุณสมบัติของพื้นผิว เคลือบหนา [4,39] พื้นผิวความแข็ง สไตลัสรอยขีดข่วน และคุณสมบัติยืดหยุ่นของพื้นผิวคง พื้นผิวที่ขรุขระและหนาอยู่ในตาราง 2 ดังนั้นความแข็งของเคลือบและสัมประสิทธิ์ของแรงเสียดทานผ่านทดสอบความแข็ง โมดูลัสยืดหยุ่น H/E และ H3/ E2 ของ CrCNเคลือบจะแสดงในรูปที่ 6 ความแข็ง H/E และ H3/ แสดง E2 เป็นแนวโน้มที่คล้ายกันเกี่ยวกับอัตราการไหล C2H2 ความแข็งก่อน เพิ่มเป็น 32 GPa ที่ sccm 10 และลดลงแล้วถึง 22 GPaที่โหวต 30 ในขณะเดียวกัน การยืดหยุ่นโมดูลัส H/E และ H3/ การเข้าถึง E2 เป็นค่าสูงสุดที่ 10 โหวต มันเห็นได้ชัดที่ความแข็งของ CrCNเคลือบจะสูงกว่าของเคลือบ CrN ทั้งนี้เนื่องจากสูงเนื้อหาของ Cr – C และ sp3 พันธบัตรในเคลือบ CrCN วัง [40]ชี้ให้เห็นว่า ความแข็งของเคลือบมีความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับเศษส่วนเศษส่วนเช่นสูงกว่า sp3 sp3 ความแข็งสูง ตอง [20]ระบุว่า การเพิ่มขึ้นของความแข็งเกี่ยวกับคาร์บอนเนื้อหามาประกอบกับโซลูชันแข็งแข็งผลของอะตอมของคาร์บอน ในขณะเดียวกัน Lim [41] และ Jung [42] พบว่าการความแข็งเพิ่มขึ้น ด้วยการลดขนาดเกรน ดังนั้น เมื่อการC2H2 อัตราเพิ่มขึ้นเป็น 10 sccm ความแข็งของเคลือบคือการสูงสุด เป็นรู้จักกัน H/E หรือ H3/ อัตราส่วน E2 เกี่ยวข้องกับความทนทานและความต้านทานการเปลี่ยนรูปแบบพลาสติกเคลือบ ตามลำดับซึ่งสามารถให้ความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับญาติสึกหรอ [43]เท่าที่เห็นในรูปที่ 6 การเคลือบ CrCN ฝากที่ 10 โหวตแสดงความสูงสุด H/E และ H3/ อัตราส่วน E2 ซึ่งมีเครื่องจักรกลยอดเยี่ยมและที่พัก tribological แห่ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มะเดื่อ. 5 แสดงให้เห็นถึงความสำคัญโหลด (LC1 และ LC2) ของการเคลือบ CrCN
ฝากในอัตราการไหลของ C2H2 ต่างๆ สำหรับ LC1 ค่าแรก
เพิ่มขึ้นถึง 36 N 15 SCCM และจากนั้นลดลงถึง 28 N วันที่ 30 SCCM.
LC1 ได้รับโดยสัญญาณอะคูสติกซึ่งเกิดขึ้นจากการหัก
ไมโครอนุภาคบนพื้นผิวเคลือบ ไมโครอนุภาคประกอบด้วย
Cr เป็นเรื่องง่ายที่จะทำลายกว่า CRN และ Cr7C3 ซึ่งอาจนำมาประกอบกับ
ความแข็งต่ำของ CR ไมโครอนุภาค ขณะที่บางอะคูสติก
สัญญาณที่เกิดขึ้นโดยขยายพันธุ์แตกในระหว่างกระบวนการเลื่อน
ที่เกิดจากรูปกรวยปลายเพชร extruding หลุมขา ในฐานะที่เป็น LC2 ที่
ค่าแรกเพิ่มขึ้นถึง 86 N 10 SCCM และจากนั้นลดลงไปที่
ค่าต่ำสุด 63 N วันที่ 30 SCCM นี่คือสาเหตุที่ปริมาณของคาร์บอนไดออกไซด์
ที่ก่อให้เกิดการปรับแต่งของโครงสร้างการเพิ่มขึ้นของความเครียดอัดและ
การลดลงของการโหลดที่สำคัญ [38] ในทางกลับกันผลการรอยขีดข่วนจะ
ได้รับอิทธิพลจากพื้นผิวและความแข็งเคลือบพื้นผิวที่ขรุขระ,
ค่าสัมประสิทธิ์ของแรงเสียดทานระหว่างการเคลือบและสไตลัสรอยขีดข่วน, ยืดหยุ่น
คุณสมบัติของพื้นผิวเคลือบหนา [4,39] พื้นผิว
แข็งสไตลัสรอยขีดข่วนและยืดหยุ่นคุณสมบัติของพื้นผิวที่มี
ค่าคงที่พื้นผิวที่ขรุขระและความหนาเคลือบมีการระบุไว้ใน
ตารางที่ 2 จึงมีความแข็งเคลือบและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานจะมีการทดสอบ.
ความแข็งโมดูลัสยืดหยุ่น H / E และ H3
/ E2 ของ CrCN
เคลือบจะแสดงในรูป 6. ความแข็ง H / E และ H3
/ E2 แสดง
แนวโน้มที่คล้ายกันด้วยความเคารพต่ออัตราการไหลของ C2H2 ความแข็ง
เป็นครั้งแรกเพิ่มขึ้นถึง 32 GPa ที่ 10 SCCM และจากนั้นลดลงถึง 22 จีพี
วันที่ 30 SCCM ในขณะที่โมดูลัสยืดหยุ่น H / E และ H3
/ E2 ถึง
ค่าสูงสุดอยู่ที่ 10 SCCM เป็นที่ชัดเจนว่าความแข็งของ CrCN
เคลือบที่สูงกว่าของการเคลือบ CRN นี่คือสาเหตุที่สูง
เนื้อหาของ Cr-C และพันธบัตร SP3 ในการเคลือบ CrCN วัง [40]
ชี้ให้เห็นว่ามีความแข็งของไม้แปรรูปที่เกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับ
SP3 ส่วนคือ SP3 ส่วนสูงความแข็งสูง ตอง [20]
ชี้ให้เห็นว่าการเพิ่มขึ้นของความแข็งที่เกี่ยวกับคาร์บอน
เนื้อหาประกอบกับสารละลายของแข็งแข็งผลของ
อะตอมของคาร์บอน ในขณะเดียวกันลิม [41] และจุง [42] พบว่ามี
ความแข็งเพิ่มขึ้นด้วยขนาดของเมล็ดข้าวลดลง ดังนั้นเมื่อ
อัตราการไหลของ C2H2 เพิ่มขึ้นถึง 10 SCCM ความแข็งของสารเคลือบผิวเป็น
สูงสุด เป็นที่รู้จักกันความ H / E หรือ H3
อัตราส่วน / E2 เกี่ยวข้องกับความทนทาน
และพลาสติกต้านทานผิดปกติของสารเคลือบตามลำดับ
ซึ่งจะให้ความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับความต้านทานการสึกหรอญาติ [43].
เท่าที่เห็นในรูป 6, เคลือบ CrCN ฝากที่ 10 SCCM แสดง
สูงสุด H / E และ H3
อัตราส่วน / E2 ซึ่งมีเครื่องจักรกลยอดเยี่ยม
และคุณสมบัติ tribological

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ภาพที่ 5 แสดงการโหลดที่สำคัญ ( และ crcn LC1 lc2 ) สีเคลือบฝากที่อัตราการไหล c2h2 ต่าง ๆ สำหรับ LC1 , ค่าแรกเพิ่มเป็น 36 ที่ 15 sccm แล้วลดลงถึง 28 - 30 sccm .โดย LC1 โดยจะได้รับเป็นสัญญาณเสียงที่เกิดจากการเสียอนุภาคขนาดเล็กบนพื้นผิวเคลือบ ไมโครอนุภาคประกอบด้วยCR เป็นเรื่องง่ายที่จะทำลายมากกว่า และ cr7c3 CRN ซึ่งอาจจะเกิดจากการลดความกระด้างของอนุภาคไมโคร CR . นอกจากนั้น อะคูสติกสัญญาณที่เกิดขึ้น โดยการแตกเดิมในการเลื่อนกระบวนการเกิดจากกรวยปลายเพชรอัดรูเข็ม เป็น lc2 ,เพิ่มค่าขึ้นแรก 86 ที่ 10 sccm แล้วลดลงไปค่าต่ำสุดของ 63 ที่ 30 sccm . นี้เป็นเพราะปริมาณของคาร์บอนทำให้การปรับแต่งโครงสร้าง การเพิ่มขึ้นของความเค้นอัดและลดการโหลด [ 38 ] บนมืออื่น ๆ , ผลเริ่มต้นเป็นอิทธิพลจากวัสดุและความแข็ง ความขรุขระของผิวเคลือบ ,สัมประสิทธิ์ของความเสียดทานระหว่างผิวเคลือบและรอยขีดข่วนสไตลัสยืดหยุ่นคุณสมบัติของพื้นผิว , [ ความหนาผิวเคลือบ 4,39 ] พื้นผิวความแข็ง , รอยขีดข่วนสไตลัสและยืดหยุ่นคุณสมบัติของพื้นผิวเป็นค่าความเรียบผิวและความหนาผิวเคลือบอยู่ในตารางที่ 2 จึงเคลือบความแข็งและสัมประสิทธิ์ของแรงเสียดทานจะทดสอบความแข็ง , โมดูลัสยืดหยุ่น , H3 H / E และ/ E2 ของ crcnเคลือบจะถูกแสดงในรูปที่ 6 ความแข็ง , h / H3 E และ/ E2 แสดงที่คล้ายกันแนวโน้มที่มีต่ออัตราการไหล c2h2 . ค่าความแข็งแรกเพิ่มเป็น 32 คะแนน 10 sccm แล้วลดลงถึง 22 คะแนนสะสมที่ 30 sccm . ในขณะเดียวกัน , โมดูลัสยืดหยุ่น h / H3 E และ/ E2 เข้าถึงมูลค่าสูงสุด 10 sccm . มันชัดเจนว่า ความแข็งของ crcnเคลือบสูงกว่าการเคลือบ CRN . นี้คือเนื่องจากการสูงเนื้อหาของ CR - C และพันธบัตร่ในการเคลือบ crcn . วัง [ 40 ]ชี้ให้เห็นว่า ความแข็งของผิวเคลือบมีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับ่่คือสูงกว่าเศษส่วนเศษส่วนสูงกว่าความแข็ง ตอง [ 20 ]พบว่า การเพิ่มขึ้นของความกระด้างด้วยความเคารพ คาร์บอนเนื้อหาประกอบกับผลของสารละลายแข็งแข็งคาร์บอนอะตอม ขณะเดียวกัน ลิม [ 41 ] จอง [ 42 ] พบว่าความกระด้างเพิ่มขึ้นเม็ดขนาด ดังนั้น เมื่อc2h2 อัตราการไหลเพิ่มขึ้น 10 sccm , ความแข็งของผิวเคลือบ คือสูงสุด เป็นเป็นที่รู้จักกัน , h / H3 E หรือ/ E2 และอัตราส่วนที่เกี่ยวข้องกับความทนทานและการเสียรูปพลาสติกความต้านทานของฉนวน ตามลำดับซึ่งมีความสัมพันธ์กับญาติใกล้ชิด ต้านทานการสึกหรอ [ 43 ]ตามที่เห็นในรูปที่ 6 , crcn เคลือบไว้ที่ 10 sccm แสดงH / E และ H3 สูงสุด/ E2 ) ซึ่งมียอดเยี่ยมเครื่องกลและคุณสมบัติ tribological .