While a large amount of literature

While a large amount of literature is available describing the different processes and methods, with a different set of literature detailing the film properties and applications, a short and concise overview of processes and feasible influences on film properties, including recent advances in nanotechnology, can seldom be found. Current overviews could be consulted on more specific details of selected aspects, e.g., for the microstructural evolution during film growth detailing the influence of temperature, reactive species and ion irradiation [21,22], for ionized physical vapor deposition [23] or stress generation and relief processes .

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในขณะที่วรรณกรรมจำนวนมากได้อธิบายกระบวนการต่าง ๆ และวิธีการ มีรายละเอียดคุณสมบัติของฟิล์มและโปรแกรมประยุกต์ วรรณคดีชุดอื่นภาพรวมระยะสั้น และกระชับของกระบวนการและอิทธิพลที่เป็นไปได้ในคุณสมบัติฟิล์ม รวมทั้งความก้าวหน้าล่าสุดนาโนเทคโนโลยี สามารถไม่ใคร่พบ ปัจจุบันภาพรวมอาจจะขอคำปรึกษาในรายละเอียดเฉพาะด้านเลือก เช่น สำหรับวิวัฒนาการระหว่างฟิล์มเติบโตรายละเอียดอิทธิพลของอุณหภูมิ ปฏิกิริยาชนิด และวิธีการฉายรังสีไอออน [21,22], microstructural สำหรับสะสมไอ ionized จริง [23] หรือกระบวนการสร้างและปลดปล่อยความเครียดได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในขณะที่จำนวนมากของวรรณกรรมสามารถอธิบายกระบวนการที่แตกต่างกันและวิธีการที่มีการตั้งค่าที่แตกต่างกันของวรรณกรรมรายละเอียดคุ​​ณสมบัติของฟิล์มและการประยุกต์ใช้ภาพรวมสั้นและกระชับของกระบวนการและอิทธิพลของความเป็นไปได้เกี่ยวกับคุณสมบัติของภาพยนตร์รวมทั้งความก้าวหน้าล่​​าสุดในนาโนเทคโนโลยีสามารถไม่ค่อย จะพบ ภาพรวมในปัจจุบันจะมีการปรึกษาหา​​รือในรายละเอียดมากขึ้นโดยเฉพาะด้านที่เลือกเช่นสำหรับวิวัฒนาการจุลภาคระหว่างการเจริญเติบโตรายละเอียดภาพยนตร์เรื่องอิทธิพลของอุณหภูมิชนิดปฏิกิริยาและการฉายรังสีไอออน [21,22] สำหรับไอออนสะสมไอกายภาพ [23] หรือรุ่นความเครียด และกระบวนการบรรเทา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในขณะที่จำนวนมากของวรรณคดีที่ใช้อธิบายกระบวนการและวิธีการที่ต่างกัน กับการตั้งค่าที่แตกต่างกันของวรรณกรรมรายละเอียดคุณสมบัติและการประยุกต์ใช้ฟิล์ม , สั้นและกระชับ ภาพรวมของกระบวนการ และอิทธิพลที่มีต่อสมบัติของฟิล์ม รวมทั้งความก้าวหน้าล่าสุดในนาโนเทคโนโลยี จะไม่ค่อยพบภาพรวมในปัจจุบันสามารถปรึกษาในรายละเอียดเฉพาะเจาะจงมากขึ้นเฉพาะด้าน เช่น ในวิวัฒนาการโครงสร้างจุลภาคในระหว่างการเจริญเติบโตของรายละเอียดภาพยนตร์ อิทธิพลของอุณหภูมิปฏิกิริยาชนิดไอออนฉายรังสี [ 21,22 ] สำหรับรุ่นสะสมไอทางกายภาพ [ 23 ] หรือการสร้างความเครียดและบรรเทากระบวนการ