The ionization in a sputtering plas

The ionization in a sputtering plasma relies on several different phenomena. The three most important responsible for the generation of ions in an inert gas plasma are electron impact ionization of neutral atoms, electron impact ionization of an excited atom, and Penning ionization by collision with an electronically excited atom according to


are electron impact ionization

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Ionization ในพลาสม่า sputtering อาศัยปรากฏการณ์หลายแตกต่างกัน สามสำคัญที่สุดคือรับผิดชอบสำหรับการสร้างประจุในพลาสมามีก๊าซเฉื่อย ionization ผลกระทบอิเล็กตรอนของอะตอมที่เป็นกลาง ionization ผลกระทบอิเล็กตรอนของอะตอมตื่นเต้น และ ionization Penning โดยชนกับอะตอมตื่นเต้นทางอิเล็กทรอนิกส์ตาม มีอิเล็กตรอนกระทบ ionization

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ไอออนไนซ์ในพลาสมาสปัตเตอร์อาศัยปรากฏการณ์ที่แตกต่างกัน สามสิ่งที่สำคัญที่สุดสำหรับการสร้างความรับผิดชอบของไอออนในพลาสมาก๊าซเฉื่อยมีอิเล็กตรอนไอออนไนซ์ผลกระทบของอะตอมที่เป็นกลางไอออนไนซ์ผลกระทบอิเล็กตรอนของอะตอมตื่นเต้นและไอออนไนซ์คอกโดยชนกับอะตอมตื่นเต้นอิเล็กทรอนิกส์ตามที่ได้รับผลกระทบไอออนไนซ์อิเล็กตรอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ไอโอไนเซชั่นในพลาสมาสอาศัยหลายปรากฏการณ์ สามที่สำคัญที่สุดต่อรุ่นของไอออนในพลาสมาก๊าซมีอิเล็กตรอนอิสระจากอะตอมที่เป็นกลางต่ออิเล็กตรอนกระทบไอออไนเซชันของอะตอมตื่นเต้นและเขียนไนเซชั่นด้วยการปะทะกับทางอิเล็กทรอนิกส์ตื่นเต้นอะตอมตาม


มีอิเล็กตรอนอิสระ
ผลกระทบ