solutions. We used a solid hemisphe

solutions. We used a solid hemispherical specimen of singlecrystal
silicon as shown in Fig.1. The radius of the hemisphere
was 22 mm, and its sphericity was less than 10 pm. The surface
was polished to a mirror finish. The surface roughness was 0.005
to 0.007 pm in Ra. All crystallographic orientations appeared on
the hemispherical surface. Measuring the profile before and after
etching and noting the change enabled us to calculate the etching
rate of any orientation. The profile measurement was carried out
using an UPMC550-CARAT (Carl Zeiss Co.) three-dimensional
measuring machine. The surface profile was probed every 2 deg
of latitude ranging from 20 to 90 deg and every 2 deg of longitude
ranging from 0 to 360 deg. The total number of probe points was
6480.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การแก้ไขปัญหา เราใช้สิ่งส่งตรวจครึ่งแข็งของ singlecrystalซิลิคอนดังแสดงในภาพ รัศมีของซีกโลกคือ 22 มม. และ sphericity ที่ถูกน้อยกว่า 10 pm พื้นผิวไม่ขัดกับชัยกระจก ความหยาบผิว 0.005การ 007 0 น.ใน Ra. ทุกแนว crystallographic ปรากฏบนพื้นผิวครึ่ง วัดโพรไฟล์ก่อน และหลังการแกะสลัก และสังเกตการเปลี่ยนแปลงที่ช่วยให้เราสามารถคำนวณการกัดอัตราวางแนวใด ๆ ได้รับการดำเนินการประเมินค่าโดยใช้การ UPMC550 กะรัต (Carl Zeiss จำกัด) แบบสามมิติเครื่องวัด โพรไฟล์ผิวถูกพิสูจน์ทุก 2 องศาเซลเซียสละติจูดตั้งแต่ 20 ถึง 90 องศาเซลเซียสและ 2 ทุกองศาเซลเซียสของลองจิจูดตั้งแต่ 0 ถึง 360 องศาเซลเซียส จำนวนจุดโพรบได้6480

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การแก้ปัญหา เราใช้ชิ้นงานครึ่งวงกลมที่มั่นคงของ singlecrystal
ซิลิกอนดังแสดงในรูปที่ 1 รัศมีของซีกโลกที่
22 มิลลิเมตรและความกลมของมันคือน้อยกว่า 10:00
พื้นผิวที่ได้รับการขัดผิวที่กระจก พื้นผิวที่ขรุขระเป็น 0.005
ที่จะ 0.007 นในระ แนว crystallographic
ทั้งหมดที่ปรากฏบนพื้นผิวครึ่งวงกลม การวัดก่อนและหลังการแกะสลักและสังเกตการเปลี่ยนแปลงช่วยให้เราสามารถคำนวณการแกะสลักอัตราทิศทางใด การวัดรายละเอียดได้ดำเนินการโดยใช้ UPMC550 กะรัต (Carl Zeiss จำกัด ) สามมิติเครื่องวัด รายละเอียดพื้นผิวที่ได้รับการตรวจสอบทุก 2 องศาละติจูดตั้งแต่ 20-90 องศาและทุก 2 องศาลองจิจูดตั้งแต่0-360 องศา จำนวนรวมของจุดที่แสดงความคิดเห็นเป็น6480

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โซลูชั่น เราใช้ตัวอย่างเป็นครึ่งวงกลมแข็งของ singlecrystal
ซิลิคอนดัง” . รัศมีของซีกโลก
22 มิลลิเมตร และบาร์บนชั้นดาดฟ้า น้อยกว่า 10 PM พื้นผิว
ถูกขัดกระจกเสร็จสิ้น ความหยาบผิวคือ 0.005
- PM ในรา การอบรมทางทั้งหมดที่ปรากฏบน
ผิวครึ่งวงกลม . วัดก่อนและหลัง
โปรไฟล์กัดและสังเกตการเปลี่ยนแปลง ช่วยให้เราสามารถคำนวณอัตราการกัด
ทิศทางใด ๆ . ประวัติวัดทำการ
ใช้ upmc550-carat ( Carl Zeiss Co . ) 3
วัดเครื่อง พื้นผิวรายละเอียดถูกตรวจสอบทุก 2 องศา
ละติจูดตั้งแต่ 20 ถึง 90 องศา และทุก 2 องศาลองจิจูด
ตั้งแต่ 0 ถึง 360 องศาจำนวนรวมของจุดตรวจถูก
6480 .