The sheet resistance (data not show

The sheet resistance (data not shown) decreases linearly from 35 Ωsq in the reference layer to 15 Ωsq when using 14 filling layers due to the increase of the total layer thickness.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ต้านทานแผ่น (ข้อมูลไม่แสดง) ลดเชิงเส้นจาก Ωsq 35 ในชั้นการอ้างอิงการ 15 Ωsq เมื่อใช้ 14 ไส้ชั้นเพิ่มความหนารวมชั้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความต้านทานแผ่น (ไม่ได้แสดงข้อมูล) ลดลงจาก 35 เป็นเส้นตรงΩsqในชั้นการอ้างอิงถึง 15 Ωsqเมื่อใช้ 14 ชั้นเติมเนื่องจากการเพิ่มขึ้นของความหนาของชั้นทั้งหมด

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความต้านทานแผ่น ( ข้อมูลไม่แสดง ) ลดน้ำหนักจาก 35 Ω SQ ในการอ้างอิงชั้น 15 ตรΩเมื่อใช้บรรจุ 14 ชั้น เนื่องจากการเพิ่มขึ้นของความหนาของชั้นทั้งหมด