UV-visible spectroscopy of microsco

UV-visible spectroscopy of microscopic samples is done by integrating an optical microscope with UV-visible optics, white light sources, a monochromator, and a sensitive detector such as a charge-coupled device (CCD) or photomultiplier tube (PMT). As only a single optical path is available, these are single beam instruments. Modern instruments are capable of measuring UV-visible spectra in both reflectance and transmission of micron-scale sampling areas. The advantages of using such instruments is that they are able to measure microscopic samples but are also able to measure the spectra of larger samples with high spatial resolution. As such, they are used in the forensic laboratory to analyze the dyes and pigments in individual textile fibers,[8] microscopic paint chips [9] and the color of glass fragments. They are also used in materials science and biological research and for determining the energy content of coal and petroleum source rock by measuring the vitrinite reflectance. Microspectrophotometers are used in the semiconductor and micro-optics industries for monitoring the thickness of thin films after they have been deposited. In the semiconductor industry, they are used because the critical dimensions of circuitry is microscopic. A typical test of a semiconductor wafer would entail the acquisition of spectra from many points on a patterned or unpatterned wafer. The thickness of the deposited films may be calculated from the interference pattern of the spectra. In addition, ultraviolet-visible spectrophotometry can be used to determine the thickness, along with the refractive index and extinction coefficient of thin films as described in Refractive index and extinction coefficient of thin film materials. A map of the film thickness across the entire wafer can then be generated and used for quality control purposes.[10]

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ก UV สามารถมองเห็นได้ด้วยกล้องจุลทรรศน์อย่างโดยรวมมีกล้องจุลทรรศน์แสง UV เห็นแสง แหล่งแสงสีขาว monochromator กับ และเครื่องตรวจจับที่สำคัญเช่นค่าธรรมเนียม–จุอุปกรณ์ (CCD) หรือหลอด photomultiplier (PMT) เป็นเพียงเส้นทางแสงที่เดียวว่าง เหล่านี้เป็นเครื่องมือคานเดี่ยว เครื่องมือที่ทันสมัยสามารถวัด UV เห็นแรมสเป็คตราทั้งแบบสะท้อนแสงและส่งผ่านพื้นที่สุ่มตัวอย่างขนาดไมครอนได้ ประโยชน์ของการใช้เครื่องมือดังกล่าวได้ว่า พวกเขาสามารถที่จะวัดตัวอย่างด้วยกล้องจุลทรรศน์ แต่สามารถวัดแรมสเป็คตราตัวอย่างขนาดใหญ่ความละเอียดสูงปริภูมิ เช่น พวกเขาจะใช้ในห้องปฏิบัติการทางนิติวิทยาศาสตร์ในการวิเคราะห์สี และเม็ดสีในเส้นใยสิ่งทอแต่ละ อบสีด้วยกล้องจุลทรรศน์ [8] [9] และสีของชิ้นส่วนแก้ว พวกเขาจะใช้วัสดุวิทยาศาสตร์และการวิจัยทางชีวภาพ และใน การกำหนดเนื้อหาพลังงานของหินแหล่งถ่านหินและน้ำมันโดยการวัดแบบสะท้อนแสง vitrinite Microspectrophotometers ใช้ในสารกึ่งตัวนำและไมโครเลนส์อุตสาหกรรมสำหรับการตรวจสอบความหนาของฟิล์มบาง ๆ หลังจากที่ได้รับฝากไว้ ในอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ พวกเขาจะใช้ได้เนื่องจากมิติสำคัญของวงจรด้วยกล้องจุลทรรศน์ การทดสอบโดยทั่วไปของแผ่นเวเฟอร์เป็นสารกึ่งตัวนำจะอันซื้อแรมสเป็คตราจากหลายจุดบนแผ่นเวเฟอร์ที่มีลวดลาย หรือ unpatterned ความหนาของฟิล์มนำฝากอาจคำนวณได้จากรูปแบบการรบกวนของแรมสเป็คตรา นอกจากนี้ spectrophotometry มองเห็นรังสีอัลตราไวโอเลตสามารถใช้เพื่อกำหนดความหนา ดรรชนีและสัมประสิทธิ์สูญพันธุ์ของฟิล์มบางในดรรชนีและสัมประสิทธิ์สูญพันธุ์การผลิตฟิล์มบาง แผนที่ของความหนาฟิล์มข้ามแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมดสามารถแล้วถูกสร้างขึ้น และใช้สำหรับการควบคุมคุณภาพ [10]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สเปกโทรสโกยูวีที่มองเห็นของกลุ่มตัวอย่างกล้องจุลทรรศน์จะกระทำโดยการบูรณาการกล้องจุลทรรศน์แสงด้วยเลนส์ UV-มองเห็นแหล่งกำเนิดแสงสีขาว monochromator และเครื่องตรวจจับที่มีความสำคัญเช่นอุปกรณ์ชาร์จคู่ (CCD) หรือหลอด photomultiplier (PMT) ในฐานะที่เป็นเพียงเส้นทางเดียวที่ออปติคอลที่มีอยู่เหล่านี้เป็นเครื่องมือลำแสงเดียว เครื่องมือที่ทันสมัย​​มีความสามารถในการวัดสเปกตรัมรังสียูวีที่มองเห็นได้ทั้งในการสะท้อนและการส่งพื้นที่สุ่มตัวอย่างขนาดไมครอน ข้อดีของการใช้เครื่องมือดังกล่าวคือพวกเขามีความสามารถที่จะวัดตัวอย่างกล้องจุลทรรศน์ แต่ยังสามารถที่จะวัดสเปกตรัมของกลุ่มตัวอย่างขนาดใหญ่ที่มีความละเอียดเชิงพื้นที่สูง เป็นเช่นนี้พวกเขาจะใช้ในห้องปฏิบัติการทางนิติวิทยาศาสตร์ในการวิเคราะห์สีและสีในแต่ละเส้นใยสิ่งทอ, [8] ชิปสีกล้องจุลทรรศน์ [9] และสีของเศษแก้ว พวกเขายังใช้ในวัสดุวิทยาศาสตร์และการวิจัยทางชีววิทยาและการกำหนดปริมาณพลังงานถ่านหินและแหล่งปิโตรเลียมร็อคโดยการวัดการสะท้อน vitrinite microspectrophotometers ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครเลนส์สำหรับการตรวจสอบความหนาของฟิล์มบางหลังจากที่พวกเขาได้รับการฝาก ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่พวกเขาจะนำมาใช้เพราะมิติที่สำคัญของวงจรคือกล้องจุลทรรศน์ การทดสอบตามแบบฉบับของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะน​​ำมาซึ่งการเข้าซื้อกิจการของสเปกตรัมจากหลายจุดบนแผ่นเวเฟอร์ที่มีลวดลายหรือ unpatterned ความหนาของฟิล์มฝากอาจจะคำนวณจากรูปแบบการรบกวนของสเปกตรัมที่ นอกจากนี้ spectrophotometry อัลตราไวโอเลตมองเห็นสามารถใช้ในการกำหนดความหนาพร้อมกับดัชนีหักเหและค่าสัมประสิทธิ์การสูญเสียของฟิล์มบางตามที่อธิบายไว้ในดัชนีหักเหและค่าสัมประสิทธิ์การสูญเสียของวัสดุฟิล์มบาง แผนที่ของความหนาของฟิล์มทั่วเวเฟอร์ทั้งหมดนั้นจะสามารถสร้างขึ้นและใช้เพื่อวัตถุประสงค์ในการควบคุมคุณภาพ. [10]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

UV มองเห็นสเปกโทรสโกปีของตัวอย่างซึ่งจะกระทำโดยรวมมีกล้องจุลทรรศน์ที่มี UV มองเห็นทัศนศาสตร์ , แหล่ง , โมโนโครเมเตอร์แสงสีขาวและเครื่องตรวจจับความไว เช่น อุปกรณ์ชาร์จคู่ ( CCD ) หรือหลอด ( PMT ) เป็นเพียงหนึ่งเส้นทางแสง สามารถใช้ได้ เหล่านี้เป็นเครื่องมือลำแสงเดี่ยวเครื่องมือที่ทันสมัยสามารถวัดสเปกตรัมที่มองเห็นได้ทั้งในการสะท้อนแสงยูวีและการส่งผ่านของไมครอน ขนาดพื้นที่ตัวอย่าง ข้อดีของการใช้เครื่องมือดังกล่าว คือ ว่า พวกเขาจะสามารถที่จะวัดตัวอย่างขนาดเล็ก แต่ยังสามารถวัดสเปกตรัมของตัวอย่างขนาดใหญ่ที่มีพื้นที่สูงความละเอียด เช่นพวกเขาจะใช้ในนิติเวชวิเคราะห์สีในเส้นใยสิ่งทอบุคคล [ 8 ] [ 9 ] และชิปสีด้วยสี เศษกระจก พวกเขายังใช้ในวัสดุวิทยาศาสตร์และการค้นคว้าวิจัยทางชีวภาพ และในการกำหนดปริมาณพลังงานจากถ่านหินและหินแหล่งปิโตรเลียมโดยการวัดรัมสไตน์สะท้อน .microspectrophotometers ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเลนส์ Micro สำหรับการตรวจสอบความหนาของฟิล์มบางหลังจากที่พวกเขาได้ฝาก ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขาจะใช้ เพราะขนาดมีวงจรมันเล็กมาก การทดสอบโดยทั่วไปของสารกึ่งตัวนำเวเฟอร์จะครอบคลุมการตรวจสอบจากหลายจุดบนลวดลาย หรือ unpatterned เวเฟอร์ความหนาของฟิล์มที่ฝากอาจจะคำนวณจากรูปแบบของการแทรกแซงนี้ . นอกจากนี้ รังสีอัลตราไวโอเลตที่มองเห็นวิธีที่สามารถใช้เพื่อกำหนดความหนาพร้อมกับดรรชนีหักเหและค่าสัมประสิทธิ์การสูญพันธุ์ของฟิล์มบางตามที่อธิบายไว้ในดัชนีหักเหและค่าสัมประสิทธิ์การสูญพันธุ์ของวัสดุฟิล์มบางแผนที่ของฟิล์มความหนาทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ จากนั้นจะสามารถสร้างและใช้เพื่อวัตถุประสงค์การควบคุมคุณภาพ [ 10 ]