Furthermore, by comparing the evolu

Furthermore, by comparing the evolution of the diffraction data of the oxynitride films prepared with low gas flows (from 6 to 8 sccm), it is possible to observe some texture change, decreasing the dominant b111N growth to approximately randomly oriented crystals, with the fcc-ZrN structure. This change could be associated with the increase of nitrogen content of the sub-stoichiometric fcc-ZrN structures (see Table 1).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของฟิล์ม oxynitride พร้อมกระแสก๊าซต่ำ (จาก 6 กับ 8 sccm), ก็สามารถสังเกตเนื้อบางเปลี่ยนแปลง ลดการเจริญเติบโต b111N หลักการประมาณโดยการสุ่มเชิงผลึก โครงสร้าง fcc ZrN การเปลี่ยนแปลงนี้อาจเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของไนโตรเจนเนื้อหาโครงสร้าง fcc ZrN stoichiometric ย่อย (ดูตารางที่ 1)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

นอกจากนี้โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของภาพยนตร์ oxynitride เตรียมกับกระแสก๊าซต่ำ (6-8 SCCM) ก็เป็นไปได้ที่จะสังเกตเห็นการเปลี่ยนแปลงบางเนื้อลดลงการเจริญเติบโตที่โดดเด่นในการ b111N ผลึกประมาณมุ่งเน้นการสุ่มกับ FCC โครงสร้าง -ZrN การเปลี่ยนแปลงนี้อาจเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของปริมาณไนโตรเจนในโครงสร้างย่อย stoichiometric FCC-ZRN (ดูตารางที่ 1)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

นอกจากนี้ โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของ oxynitride ภาพยนตร์เตรียมไหลก๊าซต่ำ ( ตั้งแต่ 6 ถึง 8 sccm ) มันเป็นไปได้ที่จะสังเกตบางเนื้อเปลี่ยน ลดการเจริญเติบโต b111n เด่นประมาณสุ่มวางผลึกกับ FCC zrn โครงสร้างการเปลี่ยนแปลงนี้อาจจะเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของปริมาณไนโตรเจนย่อย stoichiometric FCC zrn โครงสร้าง ( ดู ตารางที่ 1



)