Numerical modelling of plasma syste

Numerical modelling of plasma systems is proving an increasingly valuable tool in the understanding of fundamental processes in reactors for surface engineering applications. The present paper discusses some of the fundamental physical and mathematical models used to describe plasma behaviour and their range of validity and applicability to plasma reactors. A number of specific examples which illustrates the way in which these methods may be implemented to model plasmas in dc and rf diode reactors and plasma ‘ball’ microwave reactors are described, with comparison between numerical results, diagnostic measurements and experimental observations from the published literature.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เลขที่แบบจำลองของระบบพลาสมาจะพิสูจน์เครื่องมือมีคุณค่ามากขึ้นในความเข้าใจของกระบวนการพื้นฐานในเตาปฏิกรณ์สำหรับวิศวกรรมพื้นผิว กระดาษปัจจุบันกล่าวถึงบางส่วนของพื้นฐานทางกายภาพ และทางคณิตศาสตร์รุ่นที่ใช้ในการอธิบายพฤติกรรมพลาสมาและช่วงอายุและความเกี่ยวข้องของการเตาปฏิกรณ์พลาสมา จำนวนเฉพาะตัวอย่างที่แสดงวิธีการซึ่งวิธีการเหล่านี้อาจนำไปใช้เพื่อ plasmas รุ่นในเตาปฏิกรณ์ไดโอด dc และ rf และเตาปฏิกรณ์พลาสมา 'ลูก' ไมโครเวฟ ไว้ ด้วยการเปรียบเทียบระหว่างผลลัพธ์เป็นตัวเลข การวินิจฉัยประเมิน และสังเกตทดลองจากเอกสารประกอบการเผยแพร่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การสร้างแบบจำลองเชิงตัวเลขของระบบพลาสม่าจะพิสูจน์เป็นเครื่องมือที่มีคุณค่ามากขึ้นในการทำความเข้าใจของกระบวนการพื้นฐานในเครื่องปฏิกรณ์สำหรับการใช้งานด้านวิศวกรรมพื้นผิว กระดาษในปัจจุบันกล่าวถึงบางส่วนของแบบจำลองทางกายภาพและคณิตศาสตร์พื้นฐานที่ใช้ในการอธิบายพฤติกรรมพลาสมาและช่วงของการถูกต้องตามกฎหมายและการบังคับใช้พลาสม่าเครื่องปฏิกรณ์เพื่อ จำนวนตัวอย่างที่เฉพาะเจาะจงซึ่งแสดงให้เห็นถึงวิธีการที่วิธีการเหล่านี้อาจจะนำมาใช้ในการจำลองพลาสมาใน dc และเครื่องปฏิกรณ์ไดโอด RF และพลาสม่า 'ลูก' เครื่องปฏิกรณ์ไมโครเวฟจะมีคำอธิบายที่มีการเปรียบเทียบระหว่างผลเชิงตัวเลขการวัดการวินิจฉัยและการสังเกตการทดลองจากวรรณกรรมที่ตีพิมพ์ .

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แบบจำลองทางคณิตศาสตร์ของระบบพลาสม่าจะพิสูจน์เป็นเครื่องมือที่มีคุณค่ามากขึ้นในความเข้าใจของกระบวนการพื้นฐานในเครื่องปฏิกรณ์สำหรับการประยุกต์ทางวิศวกรรมพื้นผิว กระดาษปัจจุบันกล่าวถึงบางส่วนของพื้นฐานทางกายภาพและแบบจำลองทางคณิตศาสตร์ที่ใช้อธิบายพฤติกรรมของพวกเขาและช่วงของความถูกต้องและความเกี่ยวข้องกับเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาพลาสมาหมายเลขเฉพาะของตัวอย่างที่แสดงให้เห็นถึงวิธีที่วิธีการเหล่านี้อาจจะใช้แบบจำลองพลาสมาใน DC และ RF เครื่องปฏิกรณ์พลาสมาไดโอดและ ' ลูก ' ไมโครเวฟเครื่องปฏิกรณ์จะอธิบายได้ด้วยการเปรียบเทียบระหว่างผลการคำนวณ การวัด และการวินิจฉัยได้มากที่สุดจากการตีพิมพ์หนังสือ