varying the O2 flow rate at a fixed

varying the O2 flow rate at a fixed HMDSO monomer and Ar flow rate in radio frequency (RF)

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แตกต่างกันอัตราการไหลของ O2 ที่น้ำยา HMDSO ถาวรและอัตราการไหลของ Ar ในคลื่นความถี่วิทยุ (RF)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่แตกต่างกันอัตราการไหลของ O2 ที่โมโนเมอร์ HMDSO คงที่และอัตราการไหลใน Ar ความถี่วิทยุ (RF)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การเปลี่ยนแปลงอัตราการไหลคงที่ hmdso O2 ที่ monomer และอัตราการไหลของ AR ในความถี่วิทยุ ( RF )