the force–motion characteristics wi

the force–motion characteristics will be symmetrical in the XY plane. The micro capacitive sensor contains a floating plate and a fixed plate, the floating plate is supported by four springs and pillars to keep the gap between two plates. The fixed plate is separated into four equal parts. When a vertical force (Fz) is applied to the probing sphere, as is shown in Fig. 2(a), four separated parts are electrically connected by wires to form a common plate, floating plate has a translational motion along z direction to make capacitance change,

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลักษณะบังคับ – เคลื่อนไหวจะสมมาตรในระนาบ XY เซ็นเซอร์ควบคุมไมโครประกอบด้วยแผ่นน้ำและแผ่นถาวร สนับสนุนโดยสปริงสี่เสาเพื่อให้ช่องว่างระหว่างแผ่นสองแผ่นลอย จานคงจะแยกออกเป็นสี่ส่วนเท่ากัน เมื่อบังคับแนวตั้ง (Fz) จะใช้กับทรงกลม probing ดังที่แสดงใน Fig. 2(a) สี่แยกส่วนไฟฟ้าเชื่อมต่อ โดยสายฟอร์มจานทั่วไป ลอยจานมีการเคลื่อนไหว translational ตามทิศทางของ z จะทำให้ความเปลี่ยนแปลง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ลักษณะแรงเคลื่อนไหวจะสมมาตรในระนาบ XY เซ็นเซอร์ capacitive ขนาดเล็กมีลอยแผ่นและแผ่นคงลอยแผ่นได้รับการสนับสนุนโดยสี่น้ำพุและเสาเพื่อให้ช่องว่างระหว่างสองแผ่น แผ่นคงที่จะถูกแยกออกเป็นสี่ส่วนเท่า ๆ กัน เมื่อแรงในแนวตั้ง (Fz) ถูกนำไปใช้ทรงกลมละเอียดตามที่แสดงในรูป 2 (ก), แยกสี่ส่วนมีการเชื่อมต่อไฟฟ้าจากสายในรูปแบบแผ่นทั่วไปแผ่นลอยมีการเคลื่อนไหวตามทิศทางการแปลซีเพื่อให้การเปลี่ยนแปลงความจุ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แรงและการเคลื่อนไหวจะเป็นลักษณะสมมาตรในระนาบ xy . เซ็นเซอร์ capacitive ไมโครที่มีลอยจานและจานคงจานลอยได้รับการสนับสนุนโดยสี่สปริงและเสาเพื่อให้ช่องว่างระหว่างสองแผ่น การซ่อมแผ่นจะแบ่งออกเป็นสี่ส่วนเท่า เมื่อแนวตั้งบังคับ ( FZ ) ที่ใช้กับการแหย่ ทรงกลม ตามที่แสดงในรูปที่ 2 ( ก )สี่แยกชิ้นส่วนไฟฟ้าเชื่อมต่อโดยสายจากจานทั่วไป จานลอยได้เคลื่อนไหวตามทิศทางแห่ง Z เพื่อให้ความจุเปลี่ยนแปลง