There are three types of heat trans

There are three types of heat transfer in the RTP chamber when
heating: conduction, convection and radiation. The energy balance
of the wafer gives:

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีการถ่ายเทความร้อนในการ RTP chamber เมื่อความร้อน: การนำ การพา และแผ่รังสี สมดุลพลังงานของแผ่นเวเฟอร์ให้:

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มีสามประเภทของการถ่ายเทความร้อนในห้อง RTP
เมื่อมีความร้อน: การนำการพาและการฉายรังสี
สมดุลพลังงานของเวเฟอร์ให้: