2.2. Synthesis of Al2O3/ZnO ultrath

2.2. Synthesis of Al2O3/ZnO ultrathin nanolaminates
Silicon and glass substrates were pre-cleaned in acetone, ethanol
and deionized water. A custom made ALD reactor was used for the synthesis
of ultrathin Al2O3/ZnO nanolaminates. ALD was performed using
sequential exposures of TMA (DEZ) and H2O separated by a purge of
argon with a flow rate of 100 sccm. The deposition regime for ZnO
and Al2O3 consisted of 0.1 s pulse of TMA (DEZ), 30 s of exposure to
TMA (DEZ), 30 s of purge with argon followed by 2 s pulse of H2O,
30 s of exposure to H2O and finally 40 s purge with argon. Al2O3/ZnO ultrathin
nanolaminates with different number of cycles were deposited
both on Si substrates and glass substrates by ALD (Table 1), the temperature
was fixed to 100 °C.
2.3. Characterization
Structural properties of Al2O3/ZnO nanolaminates were characterized
using Grazing Incidence X-ray Diffraction (GIXRD; Bruker
D5000). BioScope Catalyst (Bruker, USA) atomic force microscope in
contact mode was used for the evaluation of surface morphology.
Sharpened silicon nitride tip (spring constant — 0.35 N/m, resonant frequency
— 65 kHz) was employed. Surface roughness was calculated
using NanoScope 8.10 software.
Optical properties of ultrathin nanolaminates have been studied by
photoluminescence spectroscopy in the spectral range 370–800 nm.
The excitation of luminescence was performed by a solid state laser
source (Nd:YAG, LCS-DTL-374QT, Russia, 355 nm, 13 mW/cm2
). The
registration of the emitted spectra was provided by an experimental
setup described elsewhere [10,11].
All spectroscopic ellipsometry measurements were carried
from 210 nm to 1000 nm wavelength using J. A. Woollam spectral
ellipsometer M-2000× with a rotating compensator. Measurements of
nanolaminates were performed at fixed angle of incident light 70°. For
calculation of optical constants Complete Ease software from J. A.
Woollam was used. Measurement procedure was performed in the
same way as in our previous work [11].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.2. การสังเคราะห์ของ Al2O3/ZnO เฉียบ nanolaminatesซิลิโคนและกระจกพื้นผิวถูกทำความสะอาดไว้ล่วงหน้าในอะซิโตน เอทานอลและจุ เองได้ใช้ ALD ปฏิกรณ์สำหรับการสังเคราะห์ความบางเฉียบ Al2O3/ZnO nanolaminates ALD ดำเนินการโดยใช้คตามลำดับของ TMA (DEZ) และคั่น ด้วยการล้างข้อมูลของ H2Oอาร์กอน มีอัตราการไหล 100 โหวต ระบอบการปกครองสะสมสำหรับ ZnOและประกอบด้วย Al2O3 0.1 s ชีพจรของ TMA (DEZ), 30 s กับแสงTMA (DEZ), 30 ของการล้างข้อมูลด้วยอาร์กอนตาม ด้วย 2 s ชีพจรของ H2O30 s กับ H2O และสุดท้าย 40 s กำจัด ด้วยอาร์กอนแสง Al2O3/ZnO บางเฉียบnanolaminates กับจำนวนรอบต่าง ๆ มาฝากทั้งบนพื้นผิวสีและพื้นผิวแก้วจัดสร้าง โดย ALD (ตาราง 1), อุณหภูมิคงถึง 100 องศาเซลเซียส2.3. สมบัติคุณสมบัติโครงสร้างของ Al2O3/ZnO nanolaminates ถูกลักษณะใช้เล็มหญ้าอุบัติการณ์ X-ray เลี้ยวเบนของแสง (GIXRD BrukerD5000) กล้องจุลทรรศน์แบบแรงอะตอม Catalyst (Bruker สหรัฐอเมริกา) bioScope ในติดต่อโหมดถูกใช้สำหรับการประเมินผลของ surface สัณฐานแนะนำรุนแรงขึ้นซิลิคอนไนไตรด์ (ฤดูใบไม้ผลิคง — 0.35 N/m ความถี่เรโซแนนซ์– 65 kHz) ถูกจ้าง คำนวณพื้นผิวขรุขระโดยใช้ซอฟต์แวร์ NanoScope 8.10มีการศึกษาคุณสมบัติของ nanolaminates เฉียบแสงมาสเปกโทรสโก photoluminescence ในการสเปกตรัมช่วง 370-800 nmกระตุ้นของเรืองแสงทำ โดยเลเซอร์โซลิดสเตทแหล่งที่มา (LCS-DTL - 374 QT รัสเซีย 355, Nd:YAG nm, 13 mW/cm2). การการลงทะเบียนของสเปกตรัม emitted ได้รับจากการทดลองตั้งค่าอธิบายอื่น ๆ [10,11]ดำเนินการวัดสเปคตรัม ellipsometry ได้ทั้งหมดจาก 210 nm ถึง 1000 nm คลื่นใช้ J. A. Woollam สเปกตรัมellipsometer M-2000 ×กับชดเชยการหมุน การตรวจวัดnanolaminates ดำเนินการคงองศาของแสงที่ตกกระทบ 70° สำหรับการคำนวณค่าแสงคงสะดวกซอฟต์แวร์จาก J. A.มีใช้ Woollam ดำเนินการในขั้นตอนการวัดการวิธีเดียวกับในงานของเราก่อนหน้านี้ [11]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.2 การสังเคราะห์ Al2O3 / ZnO บางเฉียบ nanolaminates
ซิลิคอนและกระจกพื้นผิวที่ได้รับการทำความสะอาดก่อนในอะซีโตนเอทานอล
และน้ำปราศจากไอออน เครื่องปฏิกรณ์มรกตทำเองที่ใช้สำหรับการสังเคราะห์
ของ nanolaminates บางเฉียบ Al2O3 / ZnO มรกตได้รับการดำเนินการโดยใช้
ความเสี่ยงตามลำดับของ TMA (DEZ) และ H2O แยกจากกันโดยล้างของ
อาร์กอนที่มีอัตราการไหล 100 SCCM ระบอบการปกครองของพยานสำหรับซิงค์ออกไซด์
และ Al2O3 ประกอบด้วย 0.1 s ชีพจรของ TMA (DEZ) 30 วินาทีจากการสัมผัสกับ
TMA (DEZ) วันที่ 30 ของการล้างด้วยอาร์กอนตามด้วย 2 วินาทีชีพจรของ H2O,
30 วินาทีจากการสัมผัสกับ H2O และในที่สุด ล้าง 40 s กับอาร์กอน Al2O3 / ZnO บางเฉียบ
nanolaminates ที่มีจำนวนแตกต่างกันของรอบมีเงิน
ทั้งบนพื้นผิวสีและพื้นผิวแก้วโดยมรกต (ตารางที่ 1) ที่อุณหภูมิ
คงที่ 100 ° C.
2.3 การศึกษาลักษณะ
คุณสมบัติของโครงสร้าง nanolaminates Al2O3 / ZnO มีลักษณะ
การใช้แทะเล็มอุบัติการณ์ X-ray การเลี้ยวเบน (GIXRD; Bruker
D5000) Bioscope Catalyst (Bruker, สหรัฐอเมริกา) กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมใน
โหมดการติดต่อที่ใช้สำหรับการประเมินผลของการเปลี่ยนรูปร่างของพื้นผิว.
ปลายฝนปลายให้แหลมซิลิคอนไนไตรด์ (ฤดูใบไม้ผลิอย่างต่อเนื่อง - 0.35 N / m สะท้อนความถี่
- 65 kHz) ถูกจ้างมา พื้นผิวที่ขรุขระที่คำนวณ
โดยใช้ซอฟแวร์ 8.10 NanoScope.
สมบัติทางแสงของ nanolaminates บางเฉียบได้รับการศึกษาโดย
photoluminescence สเปกโทรสโกในช่วงสเปกตรัม 370-800 นาโนเมตร.
กระตุ้นการเรืองแสงได้ดำเนินการโดยเลเซอร์สถานะของแข็ง
แหล่งที่มา (Nd: YAG, LCS-DTL- 374QT, Russia, 355 นาโนเมตร 13 mW / cm2
)
ลงทะเบียนของสเปกตรัมที่ปล่อยออกมาถูกจัดให้โดยทดลอง
ติดตั้งที่อธิบายไว้ในที่อื่น ๆ [10,11].
ทุกวัด ellipsometry สเปกโทรสโกได้ดำเนินการ
จาก 210 นาโนเมตรถึง 1000 นาโนเมตรโดยใช้ความยาวคลื่นสเปกตรัม JA Woollam
ellipsometer × M-2000 ด้วยการชดเชยการหมุน วัด
nanolaminates ได้ดำเนินการในมุมคงที่ของแสงที่ตกกระทบ 70 ° สำหรับ
การคำนวณค่าคงที่ออปติคอลซอฟแวร์ที่สมบูรณ์จากความง่ายดาย JA
Woollam ถูกนำมาใช้ ขั้นตอนการวัดได้ดำเนินการใน
แบบเดียวกับในการทำงานของเราก่อนหน้า [11]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2.2 . การสังเคราะห์อนุพันธ์ของซิงค์ออกไซด์ Al2O3 / ultrathin nanolaminatesซิลิคอนและแก้วพื้นผิวถูกก่อนทำความสะอาดในอะซิโตน เอทานอลคล้ายเนื้อเยื่อประสานและน้ำ เองได้ใช้เครื่องปฏิกรณ์ ald สำหรับการสังเคราะห์ของ ultrathin Al2O3 / ZnO nanolaminates . ald คือมีประสิทธิภาพในการลำดับความเสี่ยงของ TMA ( เดซ ) และ H2O โดยแยกจัดของอาร์กอน ด้วยอัตราการไหล 100 sccm . ระบอบการสะสมสำหรับซิงค์ออกไซด์และ จำนวน 0.1 s Al2O3 ชีพจรของ TMA ( เดซ ) , 30 วินาทีในการเปิดรับTMA ( เดซ ) , 30 s Purge กับอาร์กอน ตามด้วย 2 S ชีพจรของ H2O ,30 วินาทีของการ H2O และสุดท้าย 40 s Purge กับอาร์กอน ซิงค์ออกไซด์ Al2O3 / ultrathinnanolaminates ที่มีจำนวนแตกต่างกันของรอบมาฝากทั้งบนพื้นผิวและพื้นผิวโดย ald แก้วศรี ( ตารางที่ 1 ) , อุณหภูมิคงที่ 100 ° C2.3 คุณลักษณะสมบัติเชิงโครงสร้างของ Al2O3 / ZnO nanolaminates เป็นลักษณะการใช้หญ้าเกิดการเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์ ( gixrd ; บรุคเกอร์d5000 ) ตัวเร่งปฏิกิริยา bioscope ( บรุคเกอร์ สหรัฐอเมริกา ) กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมในวิธีการติดต่อที่ใช้สำหรับการประเมินผลของพื้นผิว .ซิลิคอนไนไตรด์ ( เหลาปลายสปริงค่าคงที่ - 0.35 N / M , ความถี่เรโซแนนซ์- 65 kHz ) ที่ใช้ ความหยาบของพื้นผิว คือ คำนวณการใช้นาโนสโคป 8.10 ซอฟต์แวร์สมบัติเชิงแสงของ nanolaminates ultrathin ได้รับการศึกษาโดยโฟโตลูมิเนสเซนซ์สเปกโทรสโกปีในสเปกตรัมช่วง 370 – 800 nm .การกระตุ้นของการกระทำโดยเลเซอร์สถานะของแข็งแหล่งที่มา ( Nd : YAG lcs-dtl-374qt , รัสเซีย , 355 nm 13 mW / cm2 ,) ที่การลงทะเบียนของการปล่อยสเปกตรัมโดยแบ่งเป็นกลุ่มทดลองการติดตั้งอธิบายที่อื่น [ 10,11 ]การวัดทางลิปโซมิตรีทั้งหมดถูกอุ้มจาก 210 nm ถึง 1000 nm ความยาวคลื่นโดยใช้เจ. . woollam สเปกตรัมลิปโซมิเตอร์ m-2000 ×กับหมุนชดเชย . การวัดของnanolaminates ได้มุมของแสงที่คงที่ เหตุการณ์ 70 องศา . สำหรับการคำนวณค่าคงตัวที่สมบูรณ์ง่ายซอฟต์แวร์จาก J . A .woollam ถูกใช้ ขั้นตอนการวัดแสดงในเช่นเดียวกับในก่อนหน้านี้ของเราทำงาน [ 11 ]