RCA clean is used to remove organic

RCA clean is used to remove organic residues from silicon wafers. In the process, it
oxidizes the silicon and leaves a thin oxide on the surface of the wafer. The general
recipe is for RCA-1 cleanser is: 5 parts water (H2O), 1 part 27% ammonium hydroxide
(NH4oH), 1 part 30%hydrogen peroxide (H2O2). Here is how to prepare it.
325 ml DI water
65 ml NH4OH (27%)
65ml H2O3 (30%)
Put 325 ml DI water in a Pyrex beaker, add 65 ml NH4OH (27%) and then heat to 70 + /-
5 deg C on hot plate. Remove from hot plate and add 65 ml H2O2 (30%). Solution will
bubble vigorously after 1-2 minutes, indicating that it is ready for use. Soak the silicon
wafer in the solution for 15 minutes. When finished, transfer the wafer to a container with
overflowing DI water from a tap to rinse the solution. After several water changes,
remove the wafer under flowing water. (Still water surface can contain organic residue
that will redeposit on the water surface when removing wafer.) To dispose of the RCA-1
solution, dilute with cold water then pour down the drain with plenty of cold water to
flush. Old RCA-1 cleaning solution cannot be used since it loses its effectiveness in 24
hours at room temperature (30 minutes at 70 deg. C).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ใช้ RCA สะอาดจะออกตกอินทรีย์รับซิลิคอน ในกระบวนการ มันoxidizes ซิลิคอน และออกจากออกไซด์บาง ๆ บนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ โดยทั่วไปเป็นสูตรสำหรับน้ำยาอาร์ซีเอ-1:5 ส่วนน้ำ (H2O), ไฮดรอกไซด์แอมโมเนีย 27% 1 ส่วน(NH4oH), 1 ส่วน 30% ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ (H2O2) นี่คือวิธีการเตรียมน้ำ 325 ml DI65 ml NH4OH (27%)65 มล H2O3 (30%)ใส่ 325 ml DI น้ำในบีกเกอร์ Pyrex เพิ่ม 65 ml NH4OH (27%) และความร้อนแล้ว ไป 70 + / -5 องศาเซลเซียสบนแผ่นความร้อน เอาออกจากแผ่นความร้อน และเพิ่ม 65 ml H2O2 (30%) จะแก้ปัญหาฟองหลังจาก 1-2 นาที ดั่งบ่งชี้ว่า จะพร้อมสำหรับการใช้ แช่ซิลิคอนขัดแผ่นในโซลูชันสำหรับ 15 นาที เมื่อเสร็จแล้ว โอนแผ่นเวเฟอร์ที่จะบรรจุด้วยเทียบกับ DI น้ำจากก๊อกล้างโซลูชัน หลังจากหลายน้ำเปลี่ยนแปลงเอาแผ่นเวเฟอร์ภายใต้การไหลน้ำ (ผิวน้ำยังอาจประกอบด้วยอินทรีย์สารตกค้างที่จะ redeposit บนผิวน้ำเมื่อเอาแผ่นเวเฟอร์ด้วย) การกำจัดของอาร์ซีเอ-1โซลูชั่น dilute ด้วยน้ำเย็น แล้วเทลงท่อระบายน้ำด้วยน้ำเย็นล้าง ไม่สามารถใช้โซลูชันการล้าง RCA 1 เก่าเนื่องจากสูญเสียประสิทธิผลใน 24ชั่วโมงที่อุณหภูมิห้อง (30 นาทีที่ 70 deg. C)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

อาร์ซีเอที่สะอาดใช้ในการลบตกค้างอินทรีย์จากเวเฟอร์ซิลิกอน ในกระบวนการที่มัน
oxidizes ซิลิกอนและใบออกไซด์บาง ๆ บนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ ทั่วไป
สูตรสำหรับอาร์ซีเอ-1 น้ำยาทำความสะอาดคือ 5 ส่วนน้ำ (H2O) 1 ส่วน 27% แอมโมเนียมไฮดรอกไซ
(NH4oH) 1 ส่วน 30% ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ (H2O2) นี่คือวิธีการเตรียมความพร้อม
325 มลน้ำ DI
65 มล NH4OH (27%)
65ml H2O3 (30%)
ใส่น้ำ DI 325 มลในถ้วยแก้ว Pyrex เพิ่ม 65 มล NH4OH (27%) และจากนั้นความร้อนถึง 70 + / -
5 องศาเซลเซียสบนจานร้อน ลบออกจากจานร้อนและเพิ่ม 65 มล H2O2 (30%) การแก้ปัญหาจะ
ฟองสบู่แรง ๆ หลังจาก 1-2 นาทีแสดงให้เห็นว่ามันเป็นพร้อมใช้งาน แช่ซิลิคอน
เวเฟอร์ในการแก้ปัญหาเป็นเวลา 15 นาที เมื่อเสร็จสิ้นการถ่ายโอนเวเฟอร์เพื่อภาชนะที่มี
น้ำล้น DI จากก๊อกล้างการแก้ปัญหา หลังจากที่การเปลี่ยนแปลงน้ำหลาย
เอาเวเฟอร์ภายใต้น้ำไหล (ยังคงน้ำจะมีสิ่งตกค้างอินทรีย์
ที่จะ redeposit บนพื้นผิวของน้ำเมื่อถอดแผ่นเวเฟอร์.) ที่จะจัดการกับอาร์ซีเอ-1
สารละลายเจือจางด้วยน้ำเย็นแล้วเทลงท่อระบายน้ำมีความอุดมสมบูรณ์ของน้ำเย็นเพื่อ
ล้าง เก่าอาร์ซีเอ-1 น้ำยาทำความสะอาดไม่สามารถใช้เพราะมันสูญเสียประสิทธิภาพใน 24
ชั่วโมงที่อุณหภูมิห้อง (30 นาทีที่อุณหภูมิ 70 องศา. C)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อาร์ซีเอทำความสะอาดใช้ในการเอาสารอินทรีย์จากซิลิคอนเวเฟอร์ ในกระบวนการ มัน
oxidizes ซิลิคอนออกไซด์และใบบางๆ บนพื้นผิวของเวเฟอร์ สูตรทั่วไป
เป็น rca-1 ล้างหน้า : 5 ส่วน น้ำ ( H2O ) 1 ส่วน แอมโมเนียน้ำ 27%
( nh4oh ) 1 ส่วน 30% ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ ( H2O2 ) นี่คือวิธีการเตรียม น้ำ DI

325 ml 65 ml nh4oh ( 27% )

และ h2o3 ( 30 % )ใส่ 325 มล. ในน้ำในบีกเกอร์ Pyrex , เพิ่ม nh4oh 65 ml ( 27% ) และจากนั้นความร้อน 70 / -
5 องศาเซลเซียส บนแผ่นร้อน . เอาจากจานร้อน และเพิ่มแบตเตอรี่ 65 ml ( 30 % ) โซลูชั่นจะ
ฟองแรงหลังจาก 1-2 นาที แสดงว่ามันพร้อมสำหรับการใช้ แช่ในสารละลายซิลิคอนเวเฟอร์
เป็นเวลา 15 นาที เมื่อเสร็จแล้วก็โอนไปยังภาชนะกับ
เวเฟอร์ล้นน้ำ DI จากก๊อกล้างโซลูชั่น หลังจากเปลี่ยนน้ำหลาย
เอาเวเฟอร์ภายใต้น้ำไหล ( ยังผิวน้ำสามารถประกอบด้วยอินทรีย์สารตกค้าง
จะ redeposit บนผิวน้ำเมื่อเอาเวเฟอร์ ) กำจัดสารละลาย rca-1
เจือจางกับน้ำเย็นแล้วเทลงไปในท่อระบายน้ำที่มีความอุดมสมบูรณ์ของน้ำเย็น
Flushเก่า rca-1 น้ำยาทำความสะอาดไม่สามารถใช้เนื่องจากมันสูญเสียประสิทธิภาพใน 24
ชั่วโมงที่อุณหภูมิห้อง ( 30 นาทีที่ 70 องศา C )