Thin films of aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al) continue to gather considerable interest as transparent conductive oxide(TCO) for a variety of applications, including photovoltaic cells and transparent thin-film transistors [1–3]. In substitution of the more traditionally used indium-tin-oxide (ITO), ZnO:Al allows for the use of inexpensive, non-toxic and earth-abundant ele-ments [4]. Several deposition methods, e.g., sputtering [5], thermal evaporation [6], chemical vapour deposition [7], sol–gel [8], and spray pyrolysis [9] have been reported in the literature for ZnO:Al films. Among them, the direct current (DC) magnetron sputtering deposition remains one of the most attractive technique, asit is a relatively simple and industrially scalable process, and it
ฟิล์มบางอลูมิเนียมเจือสังกะสีออกไซด์ ( ZnO : AL ) ยังคงที่จะรวบรวมความสนใจมากเป็นออกไซด์ Conductive ใส ( TCO ) สำหรับความหลากหลายของการใช้งานรวมทั้งเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดฟิล์มบางทรานซิสเตอร์และโปร่งใส [ 1 - 1 ] ในการใช้ยิ่งใช้ผ้าอินเดียมทินออกไซด์ ( ITO ) , ซิงค์ออกไซด์ : อัลช่วยให้ใช้ของไม่แพง ไม่เป็นพิษ และโลกมากมายเขา ments [ 4 ]แบบหลายวิธี เช่น การสปัตเตอร์ [ 5 ] , การระเหยความร้อน [ 6 ] , ซีวีดี [ 7 ] , โซล - เจลและสเปรย์ไพโรไลซีส [ 8 ] , [ 9 ] ได้รับการรายงานในวรรณคดีสำหรับฟิล์มซิงค์ออกไซด์ : อัล ในหมู่พวกเขา , ไฟฟ้ากระแสตรง ( DC ) แมกนีตรอนสปัตเตอริงสะสมยังคงเป็นหนึ่งของเทคนิคที่น่าสนใจมากที่สุด นี้ค่อนข้างง่าย และทางอุตสาหกรรม ด้านกระบวนการ และมัน
การแปล กรุณารอสักครู่..
