the lithographic tools are classi,e

the lithographic tools are classi,ed in two families:
“parallel writing” (or replication)methods (e.g., optical lithography)
and “sequential writing” (or patterning) methods (e.g.,
focused-electron beam lithography).
In parallel writing, the whole pattern is made simultaneously
using a mask, which dictates the features to be reproduced.
It is easy to understand that sequential lithography is
slower as the pattern is written point by point on the resist
surface and is therefore more expensive.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เครื่องมือสีบนแผ่นเหล็กจะ classi, ed ในสองครอบครัว:"เขียนขนาน" (หรือการจำลองแบบ) วิธีการ (เช่น ออปติคอล lithography)และ "เขียนตามลำดับ" (หรือสร้าง) วิธีการ (เช่นลำแสงอิเล็กตรอนที่มุ่งเน้นการทำลวดลายวงจร)ในการเขียนแบบขนาน รูปทั้งหมดที่ทำพร้อมกันใช้มาสก์ ซึ่งบอกคุณสมบัติที่จะทำซ้ำมันง่ายที่จะเข้าใจว่า จะพิมพ์ตามลำดับช้าลงเป็นรูปแบบการเขียนจุด โดยจุดบนตัวต้านทานพื้นผิวดัง นั้นจึงมีราคาแพงกว่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เครื่องมือหินมีจัดประเภท, เอ็ดในสองครอบครัว:
"การเขียนแบบคู่ขนาน" (หรือจำลองแบบ) วิธีการ (เช่นพิมพ์หินแสง)
และ "การเขียนตามลำดับ" (หรือเลียนแบบ) วิธีการ (เช่น
. ที่มุ่งเน้นอิเล็กตรอนคานพิมพ์หิน)
ในการเขียนแบบคู่ขนาน รูปแบบทั้งที่ทำไปพร้อม ๆ กัน
โดยใช้หน้ากากที่สั่งคุณสมบัติที่จะทำซ้ำ.
มันเป็นเรื่องง่ายที่จะเข้าใจว่าการพิมพ์หินตามลำดับคือ
ช้าลงตามรูปแบบที่เขียนจุดโดยจุดบนต้านทาน
พื้นผิวและดังนั้นจึงมีราคาแพงกว่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เครื่องมือ classi ลิโธกราฟฟิคเป็น เอ็ด ใน สองครอบครัว" การเขียนแบบขนาน " ( ซ้ำ ) วิธีการ ( เช่น แสงพิมพ์หิน )และ " เขียนแบบ " ( หรือภาษา ) วิธีการ ( เช่นโฟกัสลำแสงอิเล็กตรอนพิมพ์หิน )ในการเขียนแบบ , รูปแบบทั้งหมดจะทำพร้อมกันการใช้หน้ากาก ซึ่งสั่งการคุณลักษณะที่จะถูกทำซ้ำ .มันเป็นเรื่องง่ายที่จะเข้าใจว่าลำดับสาแหรกคือช้าเป็นแบบแผนเขียนจุดโดยจุดที่ต้านทานผิวและดังนั้นจึงมีราคาแพงกว่า