4. Closed-field unbalanced magnetro

4. Closed-field unbalanced magnetron sputtering
Despite the benefits offered by balanced magnetrons,it is still difficult to uniformly coat complex components at acceptable rates from a single source Therefore, in order to commercially exploit this technology, multiple magnetron systems have been introduced. In a multiple magnetron system, the magnetic arrays in adjacent magnetrons can be configured with either identical, or opposite magnetic polarities. In the former case the configuration is described as 'mirrored' and in the latter case 'closed field', and both configurations are shown in Fig 3. In the mirrored case, the field lines are directed towards the chamber walls. Secondary electrons following these lines are lost, resulting in a low plasma density in the substrate region. Conversely, in the closed

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

4 ผลิตกล่องจากกระดาษไม่สมดุลฟิลด์ปิดสปัตเตอร์ แม้ มีประโยชน์ที่นำเสนอ โดยเสสมดุล มันยากยังคงสม่ำเสมอเคลือบชิ้นส่วนที่ซับซ้อนในราคาที่ยอมรับจากแหล่งเดียวดังนั้น เพื่อที่จะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีนี้ในเชิงพาณิชย์ ผลิตกล่องจากกระดาษหลายระบบได้ถูกแนะนำ ในระบบหลายผลิตกล่องจากกระดาษ อาร์เรย์แม่เหล็กในเสติดกันสามารถกำหนดค่าด้วยเหมือน กัน หรือตรงข้าม กับขั้วแม่เหล็กได้ ในอดีตกรณี การกำหนดค่าที่อธิบายว่า 'มิเรอร์' และในกรณีหลัง 'ปิดฟิลด์' และตั้งค่าคอนฟิกทั้งสองจะถูกแสดงในรูปที่ 3 ในกรณีที่มิเรอร์ เส้นจะตรงไปทางผนังห้อง อิเล็กตรอนทุติยภูมิตามบรรทัดเหล่านี้จะหายไป ส่งผลให้ความหนาแน่นต่ำพลาในภูมิภาคพื้นผิว ตรงกันข้าม ในการปิด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

4. ปิดให้บริการในสนามไม่สมดุลแมกสปัตเตอร์
แม้จะมีประโยชน์ที่นำเสนอโดย magnetrons สมดุลก็ยังคงเป็นเรื่องยากที่จะขนองค์ประกอบที่ซับซ้อนอย่างสม่ำเสมอในอัตราที่ได้รับการยอมรับจากแหล่งเดียวดังนั้นเพื่อที่จะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีนี้ในเชิงพาณิชย์ระบบแมกหลายได้รับการแนะนำ ในระบบแมกหลายแผงแม่เหล็ก magnetrons ที่อยู่ติดกันสามารถกำหนดค่าที่มีทั้งที่เหมือนกันหรือตรงข้ามกับขั้วของสนามแม่เหล็ก ในกรณีที่อดีตการตั้งค่าจะอธิบายว่า 'มิร์เรอร์' และในกรณีหลัง 'ปิดสนาม' และการกำหนดค่าทั้งสองจะแสดงในรูปที่ 3. ในกรณีที่กระจกเส้นสนามโดยตรงต่อผนังห้อง อิเล็กตรอนรองต่อไปเส้นเหล่านี้จะหายไปส่งผลให้ความหนาแน่นของพลาสม่าต่ำในภูมิภาคพื้นผิว ตรงกันข้ามในปิด

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

4 . ปิดฟิลด์สมดุลแมกนีตรอนสปัตเตอริงแม้จะมีประโยชน์ที่นำเสนอโดยสามารถ magnetrons สมดุล มันยังยากที่จะเหมือนกันเสื้อส่วนประกอบซับซ้อนที่ยอมรับราคาจากแหล่งเดียว ดังนั้น เพื่อใช้ประโยชน์ในเชิงพาณิชย์ เทคโนโลยีนี้ ระบบตรอนหลายได้รับการแนะนำ ในระบบตรอนแบบหลายอาร์เรย์แม่เหล็กในที่อยู่ติดกันสามารถ magnetrons สามารถปรับแต่งได้ด้วยเหมือนกัน หรือแม่เหล็กขั้วตรงข้าม . ในคดีก่อนการตั้งค่าที่อธิบายเป็น " กระจก " และในกรณีหลังปิดสนาม " " และทั้งสองรูปแบบแสดงในรูปที่ 3 ในกระจกกรณีสนามสายตรงไปที่ผนังห้อง รองอิเล็กตรอนตามบรรทัดเหล่านี้จะหายไป ส่งผลให้ความหนาแน่นของพลาสมาต่ำในหลากหลายภูมิภาค ในทางกลับกัน ใน ปิด