After sealing the HTF it was heavil

After sealing the HTF it was heavily
flushed with high purity NH3 gas and its flow was set at 200 sccm.
Subsequently, the furnace was heated at ramp rate of 10 °C/min to
reach the maximum set temperature of 1200 °C.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หลังจากบรรจุ HTF เป็นอย่างมากล้าง มีความบริสุทธิ์สูงก๊าซ NH3 และขั้นตอนการตั้งค่าที่ 200 sccmในเวลาต่อมา เตาถูกความร้อนที่ทางลาดอัตรา 10 ° C/นาที เพื่อถึง 1200 องศาเซลเซียสตั้งค่าอุณหภูมิสูงสุด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หลังจากที่ปิดผนึก HTF มันเป็นอย่างมาก
ล้างด้วยก๊าซ NH3 มีความบริสุทธิ์สูงและการไหลของมันถูกตั้งไว้ที่ 200 SCCM.
ต่อจากนั้นเตาเผาความร้อนในอัตราลาด 10 ° C / นาทีจะ
ถึงอุณหภูมิที่ตั้งไว้สูงสุด 1,200 ° C

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

หลังจากที่ปิดผนึก htf มันหนัก
nh3 กลั้วกับก๊าซความบริสุทธิ์สูงและการไหลของมันถูกตั้งไว้ที่ 200 sccm .
ต่อมาเตาให้ความร้อนที่อัตราทางลาด 10 ° C / มิน

ถึงตั้งอุณหภูมิสูงสุด 200 องศา