In addition, the increased ionisati

In addition, the increased ionisation efficiency achieved in the magnetron mode allows the discharge to be maintained at lower operating pressures (typically, 10 ~3 mbar, compared to 10 ~2 mbar) and lower operating voltages (typically,-500V, compared to -2to-3 kV) than is possible in the basic sputtering mode

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

, Ionisation เพิ่มประสิทธิภาพได้ในโหมด magnetron ให้ปล่อยให้รักษาที่ต่ำกว่าความดันปฏิบัติ (ปกติ 10 mbar ~ 3 เมื่อเทียบกับ 10 mbar ~ 2) และการปฏิบัติงานต่ำกว่าแรงดัน (โดยปกติ, - 500V เทียบกับ - 2to - 3 kV) มากกว่าเป็นไปได้ในโหมด sputtering พื้นฐาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

นอกจากนี้มีประสิทธิภาพเพิ่มขึ้น Ionisation ประสบความสำเร็จในโหมดแมกช่วยให้ปล่อยจะได้รับการเก็บรักษาไว้ที่ต่ำกว่าแรงกดดันจากการดำเนินงาน (โดยทั่วไป 10 ~ 3 เอ็มบาร์เมื่อเทียบกับ 10 ~ 2 เอ็มบาร์) และลดแรงดันไฟฟ้าปฏิบัติการ (โดยทั่วไป -500V เมื่อเทียบกับ - 2 ใน 3 kV) กว่าเป็นไปได้ในโหมดสปัตเตอร์พื้นฐาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

นอกจากนี้ การเพิ่มประสิทธิภาพ ionisation ได้ในโหมดตรอนช่วยให้ปล่อยถูกเก็บรักษาในการดําเนินงานลดลงความดัน ( โดยปกติ 10 ~ 3 มิลลิบาร์ , เมื่อเทียบกับ 10 ~ 2 มิลลิบาร์ ) และลดแรงดันไฟฟ้าปฏิบัติการ ( โดยทั่วไป - 500V , เมื่อเทียบกับ - 2to-3 KV ) กว่าที่เป็นไปได้ในโหมดทำงานขั้นพื้นฐาน