Since the AlN deposition is uniform

Since the AlN deposition is uniform and conformal over the bottom electrode, the conformal deposition of top electrode wasachieved too.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจากสะสม AlN ได้สม่ำเสมอ และ conformal ช่วงล่างไฟฟ้า สะสม conformal ของอิเล็กโทรดบน wasachieved เกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เนื่องจากการสะสม ALN เป็นชุดและมาตราส่วนที่ผ่านขั้วไฟฟ้าด้านล่างสะสมมาตราส่วนของอิเล็กโทรดด้านบน wasachieved เกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตั้งแต่การเป็น ALN เครื่องแบบและ conformal มากกว่าขั้วด้านล่าง การเคลือบ conformal ด้านบน ขั้วไฟฟ้า การทดลองด้วย