We then performed the DP-UV nanoimp

We then performed the DP-UV nanoimprinting using NICT110.
A negative tone mold with a line pattern (500-nm line width and
3000-nm spacing) and a 300-nm pattern height was used. A release
agent (OPTOOL HD-1100TH; Daikin Industries, Japan) which
forms a fluorinated antisticking layer (F-ASL) of a few nm thick was
used [14,15]. The NICT110 was diluted with 1-methoxypropylacetate.
The spin-coated NICT110 was prebaked at 90 C for 30 s and
the resulting film thickness was about 200 nm. The first and second
nanoimprinting pressures were 5 MPa.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แล้วเราทำ nanoimprinting DP-UV ที่ใช้ NICT110ลบเสียงแม่พิมพ์ลายเส้น (ความกว้างบรรทัด 500 nm และระยะ 3000 nm) และใช้ความสูงรูปแบบ 300 nm มีการปล่อยตัวแทน (OPTOOL HD-1100TH อุตสาหกรรมไดกิ้น ญี่ปุ่น) ซึ่งฟอร์ม fluorinated antisticking ชั้น (F-ASL) ของหนากี่ nm มีใช้ [14,15] NICT110 ถูกผสมกับ 1-methoxypropylacetateNICT110 เคลือบหมุนถูก prebaked ที่ C 90 สำหรับ 30 s และความหนาของฟิล์มได้ถูกประมาณ 200 nm หนึ่ง และสองความดัน nanoimprinting 5 แรงได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

จากนั้นเราจะดำเนินการ nanoimprinting DP-UV ใช้ NICT110.
แม่พิมพ์บรรยากาศที่เป็นลบลายเส้น (ความกว้างของเส้น 500 นาโนเมตรและ
ระยะห่าง 3000 นาโนเมตร) และรูปแบบความสูง 300 นาโนเมตรถูกนำมาใช้ ปล่อย
ตัวแทน (OPTOOL HD-1100TH; Daikin Industries, ญี่ปุ่น) ซึ่ง
รูปแบบชั้น antisticking fluorinated (F-ASL) ไม่กี่นาโนเมตรหนา
ใช้ [14,15] NICT110 ถูกเจือจางด้วย 1 methoxypropylacetate.
NICT110 หมุนเคลือบถูก prebaked ที่ 90? C เป็นเวลา 30 วินาทีและ
ความหนาของฟิล์มที่เกิดขึ้นเป็นประมาณ 200 นาโนเมตร ครั้งแรกและครั้งที่สอง
แรงกดดัน nanoimprinting จำนวน 5 MPa

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

จากนั้นเราก็ทำการ dp-uv nanoimprinting ใช้ nict110 .
แม่พิมพ์โทนลบด้วยลายเส้น ( 500 nm ความกว้างของเส้นและ
3000 nm ระยะห่างและความสูง 300 nm รูปแบบใช้ ตัวแทนปล่อย
( optool hd-1100th ; Daikin อุตสาหกรรม ญี่ปุ่น ) ซึ่ง
รูปแบบฟลูออรีน antisticking ชั้น ( f-asl ) ไม่กี่ nm หนาถูกใช้ 14,15
[ ] การ nict110 เจือจางด้วย
1-methoxypropylacetate .หมุนที่เคลือบ nict110 คือ prebaked ที่ 90  C 30 s
ฟิล์มหนาประมาณ 200 นาโนเมตร เป็นครั้งแรกและครั้งที่สอง
nanoimprinting แรงกดดัน 5 MPa